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题名压电力传感器中晶轴偏转产生的维间耦合研究
被引量：1
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作者
张军
王郁赫
任宗金
李新阳
滕玄德
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机构
大连理工大学高性能精密制造全国重点实验室
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出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2023年第4期614-618,共5页
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基金
国家自然科学基金资助项目(52075097,5217052316)
国家科技重大专项基金资助项目(J2019-V-0011-0106)。
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文摘
针对压电式石英力传感器的维间耦合现象,从敏感材料测量原理出发开展研究。结合优化算法,以控制维间耦合为目标,建立了石英晶轴偏转与传感器维间耦合的公式关系,计算了石英晶轴偏转角度的容差范围,并通过有限元仿真验证了公式精度。结果表明,晶轴偏转对传感器维间耦合影响较大,建立的公式在一定范围内可较高精度地计算维间耦合输出,为高精度压电传感器的研究提供了参考。
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关键词
压电力传感器
测量精度
有限元仿真
维间耦合
晶轴偏转
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Keywords
piezoelectric force sensor
measurement accuracy
FEM
inter-dimension coupling
quartz crystal shaft deflection
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分类号
TN384
[电子电信—物理电子学]
TH823
[机械工程—精密仪器及机械]
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