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圆光栅直径误差检测中信号的处理方法
被引量：
1
1
作者
龚亲文
吕文松
游素芳
《光学工程》
CSCD
1989年第5期44-50,共7页
为了比较真实地测量出圆光栅直径误差φi及刻线位置误差θi,本文指出了对被测盘信号进行差放处理的必要性。从理论进行了分析,并用实验进行了验证。
关键词
圆光栅
直径误差
检测
信号处理理
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职称材料
直流电路系统测试圆光栅的分析与应用
2
作者
龚亲文
余光清
游素芳
《光电工程》
CAS
CSCD
1996年第S1期99-103,共5页
分析了采用直流电路系统测试圆光栅直径误差 Φi(或刻线误差 θi)时所产生的差异等问题 ,讲述了能较真实准确地得出圆光栅 Φi(或 θi)这一单项误差指标的测试与数据处理方法。
关键词
光栅检验
误差测量
直径测量
直流电路
圆光栅
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职称材料
题名
圆光栅直径误差检测中信号的处理方法
被引量：
1
1
作者
龚亲文
吕文松
游素芳
机构
中国科学院光电技术研究所
出处
《光学工程》
CSCD
1989年第5期44-50,共7页
文摘
为了比较真实地测量出圆光栅直径误差φi及刻线位置误差θi,本文指出了对被测盘信号进行差放处理的必要性。从理论进行了分析,并用实验进行了验证。
关键词
圆光栅
直径误差
检测
信号处理理
分类号
TH741.603 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
直流电路系统测试圆光栅的分析与应用
2
作者
龚亲文
余光清
游素芳
机构
中国科学院光电技术研究所
出处
《光电工程》
CAS
CSCD
1996年第S1期99-103,共5页
文摘
分析了采用直流电路系统测试圆光栅直径误差 Φi(或刻线误差 θi)时所产生的差异等问题 ,讲述了能较真实准确地得出圆光栅 Φi(或 θi)这一单项误差指标的测试与数据处理方法。
关键词
光栅检验
误差测量
直径测量
直流电路
圆光栅
Keywords
Grating testing,Error measurement,Diameter measurement,DC circuit,Circular gratings.
分类号
O436.1 [机械工程—光学工程]
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作者
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1
圆光栅直径误差检测中信号的处理方法
龚亲文
吕文松
游素芳
《光学工程》
CSCD
1989
1
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职称材料
2
直流电路系统测试圆光栅的分析与应用
龚亲文
余光清
游素芳
《光电工程》
CAS
CSCD
1996
0
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