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氯硅烷储罐上增设冷凝器漏水监测装置改造
被引量：
2
1
作者
王钟辉
吴海涛
+2 位作者
周祥顺
黎展荣
涂曦
《现代化工》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第12期83-84,86,共3页
介绍了改良西门子法生产多晶硅过程中起缓冲作用的大型氯硅烷储罐存在的安全隐患,提出了在氯硅烷储罐上增设冷凝器漏水监测装置的方案,给出了该装置的结构与工艺流程,阐述了其工作原理。在近半年的生产运行当中,漏水监测装置起到了很好...
介绍了改良西门子法生产多晶硅过程中起缓冲作用的大型氯硅烷储罐存在的安全隐患,提出了在氯硅烷储罐上增设冷凝器漏水监测装置的方案,给出了该装置的结构与工艺流程,阐述了其工作原理。在近半年的生产运行当中,漏水监测装置起到了很好的监控作用。
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关键词
改良西门子法
多晶硅
氯硅烷储罐
漏水监测装置
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职称材料
题名
氯硅烷储罐上增设冷凝器漏水监测装置改造
被引量：
2
1
作者
王钟辉
吴海涛
周祥顺
黎展荣
涂曦
机构
四川新光硅业科技有限责任公司
出处
《现代化工》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第12期83-84,86,共3页
文摘
介绍了改良西门子法生产多晶硅过程中起缓冲作用的大型氯硅烷储罐存在的安全隐患,提出了在氯硅烷储罐上增设冷凝器漏水监测装置的方案,给出了该装置的结构与工艺流程,阐述了其工作原理。在近半年的生产运行当中,漏水监测装置起到了很好的监控作用。
关键词
改良西门子法
多晶硅
氯硅烷储罐
漏水监测装置
Keywords
modified Siemens process
polysilicon
chlorosilane storage tank
leakage monitoring device
分类号
TQ202 [化学工程—有机化工]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
氯硅烷储罐上增设冷凝器漏水监测装置改造
王钟辉
吴海涛
周祥顺
黎展荣
涂曦
《现代化工》
CAS
CSCD
北大核心
2011
2
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