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扫描电镜电子束纳米刻蚀
1
作者
鲁武
顾宁
+3 位作者
陆祖宏
韦钰
沈浩赢
张岚
《东南大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
1994年第1期117-119,共3页
扫描电镜电子束纳米刻蚀鲁武，顾宁，陆祖宏，韦钰（东南大学分子与生物分子电子学实验室，南京２１００１８）沈浩赢，张岚（南京电子器件研究所，南京２１００１６）随着超大规模集成电路集成度的提高，尤其是某些特种器件如高电子迁...
扫描电镜电子束纳米刻蚀鲁武，顾宁，陆祖宏，韦钰（东南大学分子与生物分子电子学实验室，南京２１００１８）沈浩赢，张岚（南京电子器件研究所，南京２１００１６）随着超大规模集成电路集成度的提高，尤其是某些特种器件如高电子迁移率场效应管、高频声表面波器件的出...
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关键词
SEM
电子束
刻蚀
VLSI
纳米量级
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职称材料
题名
扫描电镜电子束纳米刻蚀
1
作者
鲁武
顾宁
陆祖宏
韦钰
沈浩赢
张岚
机构
东南大学分子与生物分子电子学实验室
出处
《东南大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
1994年第1期117-119,共3页
文摘
扫描电镜电子束纳米刻蚀鲁武，顾宁，陆祖宏，韦钰（东南大学分子与生物分子电子学实验室，南京２１００１８）沈浩赢，张岚（南京电子器件研究所，南京２１００１６）随着超大规模集成电路集成度的提高，尤其是某些特种器件如高电子迁移率场效应管、高频声表面波器件的出...
关键词
SEM
电子束
刻蚀
VLSI
纳米量级
Keywords
electron beams
scanning electron microscope
lithography
分类号
TN47 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
扫描电镜电子束纳米刻蚀
鲁武
顾宁
陆祖宏
韦钰
沈浩赢
张岚
《东南大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
1994
0
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