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Parylene薄膜及其在MEMS中的应用
被引量：
7
1
作者
王亚军
刘景全
+2 位作者
杨春生
沈修成
郭忠元
《微纳电子技术》
CAS
2008年第7期403-410,415,共9页
介绍了聚合物Parylene,包括其制备工艺和Parylene薄膜的图形化。着重介绍了Parylene在微流体系统的应用,包括微阀、微泵和微通道;在可植入微系统中的应用,包括人工耳蜗和视网膜假体。近来的研究表明,基于Parylene的MEMS微器件广泛应用...
介绍了聚合物Parylene,包括其制备工艺和Parylene薄膜的图形化。着重介绍了Parylene在微流体系统的应用,包括微阀、微泵和微通道;在可植入微系统中的应用,包括人工耳蜗和视网膜假体。近来的研究表明,基于Parylene的MEMS微器件广泛应用在各种MEMS微结构、微传感器和微驱动器上,Parylene在各种完全集成微系统应用中将具有更加诱人的前景。
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关键词
聚对二甲苯
微阀
微泵
微通道
人工耳蜗
视网膜假体
微机电系统
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职称材料
题名
Parylene薄膜及其在MEMS中的应用
被引量：
7
1
作者
王亚军
刘景全
杨春生
沈修成
郭忠元
机构
上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室
出处
《微纳电子技术》
CAS
2008年第7期403-410,415,共9页
基金
微米/纳米加工技术国家级重点实验室基金(9140C7903020806)
校国防科技发展基金资助项目(07GFH-GB01-030)
文摘
介绍了聚合物Parylene,包括其制备工艺和Parylene薄膜的图形化。着重介绍了Parylene在微流体系统的应用,包括微阀、微泵和微通道;在可植入微系统中的应用,包括人工耳蜗和视网膜假体。近来的研究表明,基于Parylene的MEMS微器件广泛应用在各种MEMS微结构、微传感器和微驱动器上,Parylene在各种完全集成微系统应用中将具有更加诱人的前景。
关键词
聚对二甲苯
微阀
微泵
微通道
人工耳蜗
视网膜假体
微机电系统
Keywords
Parylene
microvalve
micropump
microchannel
artificial cochlear
retinal prosthesis
MEMS
分类号
TM211 [一般工业技术—材料科学与工程]
TH703 [机械工程—精密仪器及机械]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
Parylene薄膜及其在MEMS中的应用
王亚军
刘景全
杨春生
沈修成
郭忠元
《微纳电子技术》
CAS
2008
7
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