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双电容接口式微机械陀螺的信号检测方法
被引量：
2
1
作者
莫冰
刘晓为
+3 位作者
谭晓昀
尹亮
丁学伟
汤佳郁
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第05B期2236-2239,共4页
在研究双电容接口式微机械陀螺结构与分析传统差分电容检测方法对其驱动力的影响的基础上,提出了一种适合于该陀螺的新型信号检测方法,此方法具有两个显著特点:第一,能够使公共电容极板偏置到零电压,消除其对驱动力的影响,进而提高微机...
在研究双电容接口式微机械陀螺结构与分析传统差分电容检测方法对其驱动力的影响的基础上,提出了一种适合于该陀螺的新型信号检测方法,此方法具有两个显著特点:第一,能够使公共电容极板偏置到零电压,消除其对驱动力的影响,进而提高微机械陀螺的系统灵敏度;第二,能够消除直流电压的不匹配以及失调电压对输出信号的影响.最后,通过HSPICE软件仿真验证了该方法的可行性.
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关键词
微机械陀螺
驱动力
双电容接口
信号检测
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职称材料
题名
双电容接口式微机械陀螺的信号检测方法
被引量：
2
1
作者
莫冰
刘晓为
谭晓昀
尹亮
丁学伟
汤佳郁
机构
哈尔滨工业大学MEMS中心
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第05B期2236-2239,共4页
文摘
在研究双电容接口式微机械陀螺结构与分析传统差分电容检测方法对其驱动力的影响的基础上,提出了一种适合于该陀螺的新型信号检测方法,此方法具有两个显著特点:第一,能够使公共电容极板偏置到零电压,消除其对驱动力的影响,进而提高微机械陀螺的系统灵敏度;第二,能够消除直流电压的不匹配以及失调电压对输出信号的影响.最后,通过HSPICE软件仿真验证了该方法的可行性.
关键词
微机械陀螺
驱动力
双电容接口
信号检测
Keywords
micromachined gyroscope
driving force
double capacitive output
signal detecting
分类号
TN492 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
双电容接口式微机械陀螺的信号检测方法
莫冰
刘晓为
谭晓昀
尹亮
丁学伟
汤佳郁
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2006
2
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