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RTP改善超薄SiO_2膜特性的研究
1
作者
熊大菁
江思思
姜宏
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1997年第4期34-36,共3页
超薄ＳｉＯ２膜经快速热处理（ＲａｐｉｄＴｈｅｒｍａｌＰｒｏｃｅｓｉｎｇ——ＲＴＰ）后，电特性得到了改善，本研究用超薄ＲＴＰＳｉＯ２膜制作ＭＯＳ电容、ｈ－ＮＭＯＳＦＥＴ中作栅介质层及ＦＬＯＴＯＸ－Ｅ２ＰＲＯＭ中作隧道氧...
超薄ＳｉＯ２膜经快速热处理（ＲａｐｉｄＴｈｅｒｍａｌＰｒｏｃｅｓｉｎｇ——ＲＴＰ）后，电特性得到了改善，本研究用超薄ＲＴＰＳｉＯ２膜制作ＭＯＳ电容、ｈ－ＮＭＯＳＦＥＴ中作栅介质层及ＦＬＯＴＯＸ－Ｅ２ＰＲＯＭ中作隧道氧化层，取得了一些实验结果，从结果中可以看出具有实用价值。
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关键词
RTP
热氮化
二氧化硅
氮氧化硅
ULSI
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职称材料
福建省滨海耐盐药用资源与利用建议
被引量：
2
2
作者
张淼
黄菲
+4 位作者
黄巧婷
江思思
徐惠龙
刘小芬
杨成梓
《中国现代中药》
CAS
2023年第2期263-274,共12页
整理福建省第四次中药资源普查结果发现,福建省滨海耐盐药用资源有109科276种,其中海洋藻类21科41种、维管植物54科164种、海洋动物33科70种、海洋来源矿物1类1种;国家二级重点保护野生植物3种、外来入侵植物27种。普查团队对福建省滨...
整理福建省第四次中药资源普查结果发现,福建省滨海耐盐药用资源有109科276种,其中海洋藻类21科41种、维管植物54科164种、海洋动物33科70种、海洋来源矿物1类1种;国家二级重点保护野生植物3种、外来入侵植物27种。普查团队对福建省滨海沙生药用植物资源种类、综合性价值、外来物种中药化进行调查。福建省耐盐药用资源的开发利用仍处于基础阶段,有待进一步挖掘特色资源类群的多元价值,加强福建滨海滩涂及不同盐渍化程度地域耐盐药用资源的保护与利用,推动闽产耐盐药材的规范化生产与规模化发展,促进该区域特色经济发展和乡村振兴。
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关键词
福建省
耐盐药用资源
资源调查
开发
利用
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职称材料
题名
RTP改善超薄SiO_2膜特性的研究
1
作者
熊大菁
江思思
姜宏
机构
清华大学微电子学研究所
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1997年第4期34-36,共3页
文摘
超薄ＳｉＯ２膜经快速热处理（ＲａｐｉｄＴｈｅｒｍａｌＰｒｏｃｅｓｉｎｇ——ＲＴＰ）后，电特性得到了改善，本研究用超薄ＲＴＰＳｉＯ２膜制作ＭＯＳ电容、ｈ－ＮＭＯＳＦＥＴ中作栅介质层及ＦＬＯＴＯＸ－Ｅ２ＰＲＯＭ中作隧道氧化层，取得了一些实验结果，从结果中可以看出具有实用价值。
关键词
RTP
热氮化
二氧化硅
氮氧化硅
ULSI
分类号
TN304.21 [电子电信—物理电子学]
TN470.5 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
福建省滨海耐盐药用资源与利用建议
被引量：
2
2
作者
张淼
黄菲
黄巧婷
江思思
徐惠龙
刘小芬
杨成梓
机构
福建中医药大学药学院
出处
《中国现代中药》
CAS
2023年第2期263-274,共12页
基金
国家中医药管理局全国中药资源普查项目(财社[2019] 39号)
国家中医药管理局科研专项(201407002)
国家中医药公共卫生服务补助专项(财社[2017] 66号)。
文摘
整理福建省第四次中药资源普查结果发现,福建省滨海耐盐药用资源有109科276种,其中海洋藻类21科41种、维管植物54科164种、海洋动物33科70种、海洋来源矿物1类1种;国家二级重点保护野生植物3种、外来入侵植物27种。普查团队对福建省滨海沙生药用植物资源种类、综合性价值、外来物种中药化进行调查。福建省耐盐药用资源的开发利用仍处于基础阶段,有待进一步挖掘特色资源类群的多元价值,加强福建滨海滩涂及不同盐渍化程度地域耐盐药用资源的保护与利用,推动闽产耐盐药材的规范化生产与规模化发展,促进该区域特色经济发展和乡村振兴。
关键词
福建省
耐盐药用资源
资源调查
开发
利用
Keywords
Fujian province
salt-tolerant medicinal resources
resource survey
development
utilization
分类号
R282 [医药卫生—中药学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
RTP改善超薄SiO_2膜特性的研究
熊大菁
江思思
姜宏
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1997
0
在线阅读
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职称材料
2
福建省滨海耐盐药用资源与利用建议
张淼
黄菲
黄巧婷
江思思
徐惠龙
刘小芬
杨成梓
《中国现代中药》
CAS
2023
2
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