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高重复性脉冲电磁气阀(FMGV-2) 被引量:4
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作者 吴成 江德仪 +1 位作者 杨思泽 沈志刚 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1990年第2期115-121,共7页
本文描述的背压式脉冲电磁气阀,背压气室和工作气体的气库是互相隔开的,气库气压P_N、背压气压P_b 和充电电压V_(?)三个参数能独立变化,充气量从5×10^(-4)Pam^3到0.5Pam^(?)连续可调。阀的开启时间为20~800μs。实验中未观察到阀... 本文描述的背压式脉冲电磁气阀,背压气室和工作气体的气库是互相隔开的,气库气压P_N、背压气压P_b 和充电电压V_(?)三个参数能独立变化,充气量从5×10^(-4)Pam^3到0.5Pam^(?)连续可调。阀的开启时间为20~800μs。实验中未观察到阀多次开闭现象,阀的打开时间和充气量重复性很好,其最大相对误差不超过2%。理论分析很好地描述了阀的动力学过程。理论计算和实验结果符合得很好。 展开更多
关键词 脉冲电磁气阀 电磁气阀 气阀
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脉冲送气等离子体枪的实验 被引量:4
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作者 吴成 江德仪 +3 位作者 袁定朴 杨思泽 沈志刚 李椿萱 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 1989年第3期178-183,共6页
用双探针和光谱方法测量了脉冲送气同轴等离子体枪产生的高速等离子体的性质。同轴枪的储能电容器的充电电压1.5—4.0kV,等离子体的电子温度为10—20eV,定向能量为40—310eV,等离子体密度为5×10^(13)—7×10^(14)cm^(-3)。
关键词 等离子体枪 脉冲电磁阀
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FMGV-1型快速电磁阀 被引量:1
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作者 吴成 沈志刚 +2 位作者 李大万 江德仪 杨思泽 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 1989年第2期103-106,共4页
本文描述的快速电磁阀,采用了背压和橡皮弹力关闭阀门,储能电容器通过紧靠可动阀体圆盘的驱动线圈临界阻尼放电打开阀门。阀门启动时间为100~200μs,打开时间为200~800μs。进气量可在大范围内连续可调。当背压和气库气压分别为P_b=P_... 本文描述的快速电磁阀,采用了背压和橡皮弹力关闭阀门,储能电容器通过紧靠可动阀体圆盘的驱动线圈临界阻尼放电打开阀门。阀门启动时间为100~200μs,打开时间为200~800μs。进气量可在大范围内连续可调。当背压和气库气压分别为P_b=P_N=1×10~5Pa时,实验重复五十次,进气量的均方误差不大于3%。 展开更多
关键词 电磁阀 FMGV-1 阀体 储能电容器 背压 弹簧式 橡皮弹 进气量 驱动线圈 临界阻尼
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用于大面积薄膜研究的微波等离子体装置
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作者 任育峰 姚鑫兹 +1 位作者 杨思泽 江德仪 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 1995年第2期54-58,共5页
本文详细介绍了自行研制成功的电子回旋共振微波等离子体装置的结构、性能和技术指标。并应用高斯计、法拉第筒和朗缪探针对装置的磁场位形分布和等离子体的电流及密度进行了测量。
关键词 微波等离子体 装置 大面积薄膜 ECR 沉积
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