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基于微加热器平台的高性能甲烷传感器 被引量:3
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作者 郭联峰 许宗珂 +1 位作者 段国韬 李铁 《郑州大学学报(工学版)》 CAS 北大核心 2016年第3期40-43,共4页
设计制造了基于微型加热器平台(MHP)的甲烷气体传感器.微加热器平台因其功耗低、体积小等特点可广泛应用于半导体气体传感器中.微加热器平台的制作是基于IC兼容的MEMS工艺完成的,利用模板法在MHP上原位制备二氧化锡(SnO_2)有序多孔薄膜... 设计制造了基于微型加热器平台(MHP)的甲烷气体传感器.微加热器平台因其功耗低、体积小等特点可广泛应用于半导体气体传感器中.微加热器平台的制作是基于IC兼容的MEMS工艺完成的,利用模板法在MHP上原位制备二氧化锡(SnO_2)有序多孔薄膜得到微纳融合气体传感器.利用这种方法制造的传感器功耗仅39 m W,响应时间2 s,对714 mg/m^3甲烷的响应可达到1.19,对甲烷的探测下限可达18 mg/m^3.此高性能、低成本的传感器有望在生产生活、安全监控等方面得到广泛应用. 展开更多
关键词 甲烷传感器 微加热器平台 原位制备二氧化锡 模板法 微纳融合
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AuNRs@ZIF-8的制备及其表面增强拉曼散射光谱研究
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作者 袁阳涛 米佳佳 +3 位作者 王曼 罗媛媛 段国韬 石建平 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2023年第6期87-94,共8页
表面增强拉曼光谱(Surface enhanced Raman spectroscopy,SERS)是一种分子光谱,具有快速、高灵敏和指纹识别的特性,在分析化学、生物医学等领域有着重要的应用。然而,在溶液样品中一些检测分子很难被SERS基底所吸附,导致分子拉曼信号增... 表面增强拉曼光谱(Surface enhanced Raman spectroscopy,SERS)是一种分子光谱,具有快速、高灵敏和指纹识别的特性,在分析化学、生物医学等领域有着重要的应用。然而,在溶液样品中一些检测分子很难被SERS基底所吸附,导致分子拉曼信号增强困难。为此,本文提出了一种ZIF-8材料包覆金纳米棒(AuNRs)的核壳结构(AuNRs@ZIF-8)来实现拉曼信号增强,既可利用金纳米颗粒的表面等离激元增强特性,又可利用ZIF-8这种多孔MOFs材料的吸附性能,从而实现溶液样品的高灵敏拉曼检测。我们首先采用晶种法制备了均一性良好的AuNRs,然后对其进行聚乙烯吡咯烷酮(PVP)修饰,最后加入金属有机框架ZIF-8前驱体,得到AuNRs@ZIF-8核壳纳米结构。该结构对罗丹明(R6G)的SERS检测灵敏度很高,检测限可低至10^(-9) mol/L,并且线性关系和均一性均良好。此外,我们通过测试该结构吸收R6G前后的UV-Vis吸收光谱进一步证实了核壳纳米结构的生成和对目标分子的有效吸附。 展开更多
关键词 SERS AuNRs@ZIF-8 核壳纳米结构 光吸收 吸附性
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紫外光驱动微纳结构薄膜的气敏特性研究
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作者 苏星松 周飞 +2 位作者 许宗珂 李圆圆 段国韬 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第4期625-629,共5页
采用基于有机模板的溶液浸渍-无损转移法制备ZnO微纳多孔有序薄膜,研究了在不同紫外光强度照射下和不同尺寸孔径的ZnO微纳多孔有序薄膜对NO_2气敏性能的影响。结果表明,以500 nm聚苯乙烯(PS)球为模板制备的ZnO微纳多孔薄膜传感器,在0.35... 采用基于有机模板的溶液浸渍-无损转移法制备ZnO微纳多孔有序薄膜,研究了在不同紫外光强度照射下和不同尺寸孔径的ZnO微纳多孔有序薄膜对NO_2气敏性能的影响。结果表明,以500 nm聚苯乙烯(PS)球为模板制备的ZnO微纳多孔薄膜传感器,在0.35 m W/cm^3紫外光照射下具有较高的灵敏度、较快的响应和恢复时间。随着紫外光强度的增强和孔径尺寸的增大,ZnO微纳多孔薄膜传感器的灵敏度降低;且在紫外光照射下ZnO微纳有序多孔薄膜对乙醇、甲醛、H_2S、SO_2和CH_4等气体具有很好的选择性。 展开更多
关键词 气敏性能 微纳有序多孔薄膜 灵敏度 紫外光 ZNO
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