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题名可拉伸应变传感器材料与器件研究进展
被引量：1
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作者
沈康馨
陈宝中
梁瑞斌
兰林锋
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机构
华南理工大学材料科学与工程学院
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出处
《材料研究与应用》
CAS
2023年第5期787-798,共12页
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基金
国家自然科学基金项目(62022034)
国家重点研发计划项目(2022YFB3603805)。
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文摘
随着可穿戴设备市场越来越大,越来越多的目光聚焦到了可拉伸传感器上。由于可拉伸应变传感器具有拉伸应变范围大、灵敏度高、响应速度快、稳定性高、耐久性好等优点,在医学健康、运动检测、智能机器人、人机交互、虚拟现实娱乐技术等领域中有着巨大的应用潜力。从可拉伸应变传感器出发,归纳了该领域的理论知识和研究应用进展,首先,介绍了应变传感器实现可拉伸的两种方式,并按照传感器的传感机理对其进行分类。随后,介绍了用于制备可拉伸应变传感器的新型材料和应变传感器的相关性能参数,并总结了近几年来可拉伸应变传感器的相关进展。最后,根据可拉伸应变传感器的发展现状和应用,概况了可拉伸应变传感器目前仍存在的问题以及今后研究的方向。
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关键词
可拉伸应变传感器
工作原理
传感器材料
器件性能
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Keywords
stretchable strain sensors
working principle
sensor materials
device performances
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分类号
TP212.1
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名氧化铟基透明导电薄膜的研究进展
被引量：5
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作者
林剑荣
杜永权
梁瑞斌
陈建文
肖鹏
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机构
佛山科学技术学院物理与光电工程学院
佛山科学技术学院电子信息工程学院
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出处
《材料研究与应用》
CAS
2022年第3期353-361,共9页
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基金
广东省科技创新战略专项资金项目(2020B1212030010)
国家自然科学基金青年基金项目(61804029)。
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文摘
透明导电氧化物(TCO)薄膜因其兼具透明和导电的特性,被广泛应用于各个领域中。氧化铟(In_(2)O_(2))基TCO薄膜,因其高透明度、低电阻率、高迁移率和良好的化学稳定性而备受关注。综述了In_(2)O_(2)基TCO薄膜的研究进展,介绍了TCO薄膜种类及其常见的制备方法,归纳分析了锡掺In_(2)O_(2)(ITO)、钼掺In_(2)O_(2)(IMO)、钨掺In_(2)O_(2)(IWO)、钛掺In_(2)O_(2)(InTiO)等几种典型的In_(2)O_(2)基TCO薄膜研究现状,并对TCO薄膜未来的发展趋势进行了总结和展望。
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关键词
透明导电薄膜
掺杂氧化铟
磁控溅射
柔性
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Keywords
transparent conductive film
doped indium oxide
magnetron sputtering
flexibility
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分类号
O484.5
[理学—固体物理]
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