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溅射靶材对TiAlN涂层形貌、结构和力学性能的影响 被引量:7
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作者 梁俊才 周武平 +2 位作者 张凤戈 穆健刚 赵海波 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第7期714-719,共6页
采用粉末冶金和真空熔炼方法制备了原子比为Ti50Al50的合金靶材,利用磁控溅射工艺在同一工艺参数下制备了TiAlN涂层,借助扫描电镜、原子力显微镜、X射线衍射仪、纳米压痕和结合强度实验,研究了溅射靶材对TiAlN涂层的形貌、结构和力学性... 采用粉末冶金和真空熔炼方法制备了原子比为Ti50Al50的合金靶材,利用磁控溅射工艺在同一工艺参数下制备了TiAlN涂层,借助扫描电镜、原子力显微镜、X射线衍射仪、纳米压痕和结合强度实验,研究了溅射靶材对TiAlN涂层的形貌、结构和力学性能的影响。结果表明:粉末靶材中Ti和Al以单质相存在,Ti镶嵌于Al基体周围,熔炼靶材中形成了TiAl和Ti3Al合金化片层组织;由于两种靶材在组织结构和导热性能上的不同导致其溅射产额、靶材温度和溅射金属离子能量等都出现了明显的差异;对涂层的影响表现为,相比于熔炼靶材涂层,粉末靶材涂层的沉积速率高44%,表面粗糙度低24%,涂层表面熔滴数目和尺寸较小;粉末靶材涂层呈现Ti2AlN相等轴晶生长方式,熔炼靶材涂层由于沉积温度较高表现为Ti2AlN相和TiN相,以等轴晶和柱状晶混合生长;相结构的不同导致涂层的硬度和结合强度出现差异,粉末靶材涂层硬度为25.69 GPa,结合强度属于HF-3,熔炼靶材涂层的硬度为28.22 GPa,结合强度属于HF-5。 展开更多
关键词 溅射靶材 TIALN涂层 形貌 结构 硬度 结合强度
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热处理对Co-Cr-Ta合金靶材磁性能的影响 被引量:2
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作者 穆健刚 张凤戈 +4 位作者 李建奎 梁俊才 王铁军 周武平 赵栋梁 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第11期1267-1271,共5页
基于磁控溅射磁性薄膜存在铁磁性靶材难以正常溅射的问题,本文从改善靶材的制备工艺,提高靶材表面漏磁率出发,结合Co-Cr-Ta合金的差示扫描量热法曲线,采用不同的热处理制度对Co-Cr-Ta合金进行了热处理,并测定了不同热处理制度下Co-Cr-T... 基于磁控溅射磁性薄膜存在铁磁性靶材难以正常溅射的问题,本文从改善靶材的制备工艺,提高靶材表面漏磁率出发,结合Co-Cr-Ta合金的差示扫描量热法曲线,采用不同的热处理制度对Co-Cr-Ta合金进行了热处理,并测定了不同热处理制度下Co-Cr-Ta合金的相结构、织构和靶材表面的漏磁率,发现热处理后,Co-Cr-Ta合金的主相由面心立方的Co相转变为密排六方的Co相,形成c轴趋于平行轧制面的{1 2 10}和{10 10}线织构,靶材表面的漏磁率增大5倍,并且漏磁率随热处理保温时间的延长而增大,得出了最佳热处理保温时间。Co-Cr-Ta合金经过热处理后,发生相变并形成{1 2 10}和{10 10}的线织构,是漏磁率增高的根本原因。 展开更多
关键词 铁磁性靶材 磁记录 热处理 漏磁率
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电磁场对电弧离子镀沉积AlTiN涂层的影响 被引量:2
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作者 张权 邹长伟 +2 位作者 梁俊才 耿东森 王启民 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第6期666-671,共6页
主要研究电磁场对电弧离子镀沉积AlTiN涂层的影响。通过改变电磁场的电压,研究阴极弧斑在不同电磁场下的运动现象以及AlTiN涂层的微观结构和力学性能。结果表明阴极弧斑的运动受磁场电压的影响。增加磁场电压,弧斑更多的在电弧靶中心区... 主要研究电磁场对电弧离子镀沉积AlTiN涂层的影响。通过改变电磁场的电压,研究阴极弧斑在不同电磁场下的运动现象以及AlTiN涂层的微观结构和力学性能。结果表明阴极弧斑的运动受磁场电压的影响。增加磁场电压,弧斑更多的在电弧靶中心区域聚集。AlTiN涂层的大颗粒分布、沉积速率、微观结构和硬度相应地受电磁场电压的影响。文章对相关机理进行了研究。 展开更多
关键词 电弧离子镀 阴极电弧移动 AlTiN涂层 微观结构 力学性能
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钛铝靶材的相结构对涂层的结构和性能的影响 被引量:2
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作者 穆健刚 梁俊才 +2 位作者 张凤戈 王铁军 赵栋梁 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2014年第18期143-146,共4页
研究了完全合金化和完全未合金化钛铝靶材的结构,并研究了采用磁控溅射法,通氮气与不通氮气条件下沉积涂层的成分、结构和性能,探讨了不同相结构钛铝靶材与其沉积涂层在成分、结构和性能之间的关系。
关键词 靶材 涂层 磁控溅射
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Ti靶微观组织对TiN涂层性能的影响 被引量:1
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作者 穆健刚 梁俊才 +3 位作者 王铁军 赵栋梁 张凤戈 赵海波 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2018年第2期208-211,216,共5页
研究了四种不同微观组织的Ti靶,以及同一条件下在硬质合金基底上磁控溅射得到的Ti N涂层,采用SEM、EDX、XRD、纳米硬度计和原子力显微镜对涂层进行了分析。结果表明:等轴晶钛靶材的晶粒尺寸越细小,涂层中氮含量越高,涂层表面的颗粒越多... 研究了四种不同微观组织的Ti靶,以及同一条件下在硬质合金基底上磁控溅射得到的Ti N涂层,采用SEM、EDX、XRD、纳米硬度计和原子力显微镜对涂层进行了分析。结果表明:等轴晶钛靶材的晶粒尺寸越细小,涂层中氮含量越高,涂层表面的颗粒越多,表面的粗糙度越大,涂层颗粒尺寸越大,纳米硬度越小;纳米硬度的大小与涂层的相结构关系密切;采用魏氏组织钛靶溅射得到的Ti N涂层性能最优。 展开更多
关键词 硬质涂层 TI N涂层 钛靶材
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不同相结构Ti_(33)Al_(67)靶材磁控溅射薄膜对比研究
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作者 穆健刚 梁俊才 +3 位作者 张凤戈 王铁军 周武平 赵栋梁 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第2期184-188,共5页
采用磁控溅射的方法,选用化学成分相同而相结构完全不同的两种靶材在硬质合金基体上沉积薄膜,使用X射线衍射、扫描电镜、X射线能谱仪和压痕法分别测量了薄膜的相结构、表面形貌、薄膜的化学成分和薄膜与基体的结合力,结果表明,未合金化... 采用磁控溅射的方法,选用化学成分相同而相结构完全不同的两种靶材在硬质合金基体上沉积薄膜,使用X射线衍射、扫描电镜、X射线能谱仪和压痕法分别测量了薄膜的相结构、表面形貌、薄膜的化学成分和薄膜与基体的结合力,结果表明,未合金化靶材中Al和Ti在溅射过程中部分发生了化合反应生成了Al2Ti相,但还有密排六方的Ti相存在,未合金化靶材薄膜的晶粒大于合金化靶材薄膜的晶粒,薄膜结合强度优于合金化靶材薄膜。本文认为两种靶材的薄膜在沉积过程中生长机理不同,未合金化靶材薄膜与基体有很好的润湿性,以层状结构生长,而合金化靶薄膜与基体的润湿性差,岛状生长倾向明显。 展开更多
关键词 薄膜 磁控溅射 生长机理 相结构
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不同微观组织Ti靶对TiN薄膜微观结构和性能的影响
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作者 穆健刚 梁俊才 +3 位作者 王铁军 张凤戈 周武平 赵栋梁 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2017年第24期181-184,189,共5页
采用四种不同微观组织的钛靶,在同一沉积条件下在高速钢基底上磁控溅射得到氮化钛薄膜。研究了该四种氮化钛薄膜的表面形貌、表面粗糙度、表面颗粒、断口形貌、薄膜厚度、纳米硬度和相结构等。结果表明:随着等轴晶钛靶的晶粒尺寸的增大... 采用四种不同微观组织的钛靶,在同一沉积条件下在高速钢基底上磁控溅射得到氮化钛薄膜。研究了该四种氮化钛薄膜的表面形貌、表面粗糙度、表面颗粒、断口形貌、薄膜厚度、纳米硬度和相结构等。结果表明:随着等轴晶钛靶的晶粒尺寸的增大,氮化钛薄膜的表面粗糙度减小,表面颗粒尺寸、薄膜中氮含量、柱状晶尺寸、薄膜厚度、硬度均先变小后变大。魏氏组织钛靶沉积得到的氮化钛薄膜具有表面光滑、表面颗粒细小、柱状晶细小、硬度居中等特点。薄膜的硬度主要与薄膜中Ti N(111)的择优取向程度有关,择优取向度越高,硬度越高。 展开更多
关键词 硬质涂层 氮化钛薄膜 微观结构 高速钢
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轨道交通牵引电机用关键磁性材料的研究进展 被引量:2
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作者 梁俊才 章潇慧 +6 位作者 孙梅玉 裴中正 柳柏杉 王雅伦 杨为三 李要君 陈强 《材料导报》 CSCD 北大核心 2023年第S01期309-312,共4页
牵引电机作为牵引电传动系统的核心部件,负责为列车运行提供动力,对列车的安全高效运行起着举足轻重的作用。随着高速列车向着互联互通、永磁牵引、全自动驾驶和智慧高铁等方向发展,牵引电机经历了直流→交流异步→永磁同步的三次效能迭... 牵引电机作为牵引电传动系统的核心部件,负责为列车运行提供动力,对列车的安全高效运行起着举足轻重的作用。随着高速列车向着互联互通、永磁牵引、全自动驾驶和智慧高铁等方向发展,牵引电机经历了直流→交流异步→永磁同步的三次效能迭代,其中磁性材料的技术发展为牵引电机的轻量化、智能化和高效率升级起到了巨大的推动作用。对牵引电机中磁性材料的应用情况进行综述,并针对我国轨道交通牵引电机的发展需求,对关键磁性材料的性能要求和发展趋势做了总结和展望。 展开更多
关键词 轨道交通 牵引电机 永磁材料 软磁材料
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高朋丝瓜
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作者 梁俊才 《农村新技术》 2009年第10期29-29,共1页
高朋丝瓜植株长势和分枝性较强,叶片深绿色。从播种至始收秋季需44天,春季需82天,延续采收期秋季37天,春季48天,全生育期秋季81天,春季130天。其雌性较强,第一朵雌花着生节位9.4~18.5节,第一个瓜坐节位13.8~21.5节。瓜形呈... 高朋丝瓜植株长势和分枝性较强,叶片深绿色。从播种至始收秋季需44天,春季需82天,延续采收期秋季37天,春季48天,全生育期秋季81天,春季130天。其雌性较强,第一朵雌花着生节位9.4~18.5节,第一个瓜坐节位13.8~21.5节。瓜形呈棍棒形,瓜色浅绿。瓜长46.4,47.3厘米,横径4.86~4.95厘米。瓜外皮上有较多的花斑,棱沟较浅,棱色绿白。单瓜重330.3—351.7克,单株产量1.59~1.73千克。 展开更多
关键词 丝瓜 植株长势 全生育期 单株产量 分枝性 秋季 采收期 单瓜重
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