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高效大功率LED用蓝宝石图形衬底制备的研究进展 被引量:5
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作者 桂全宏 周福强 +4 位作者 汪桂根 崔林 黎凌华 严帅 韩杰才 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第21期2886-2892,共7页
近年来,图形化的蓝宝石衬底在改善GaN晶体外延生长质量以及提升LED器件发光提取效率方面作用显著,引起了广泛的研究兴趣。综述了蓝宝石图形衬底的制备方法(干法刻蚀、湿法刻蚀、外延生长法),并较系统地介绍了蓝宝石图形衬底表面周期性... 近年来,图形化的蓝宝石衬底在改善GaN晶体外延生长质量以及提升LED器件发光提取效率方面作用显著,引起了广泛的研究兴趣。综述了蓝宝石图形衬底的制备方法(干法刻蚀、湿法刻蚀、外延生长法),并较系统地介绍了蓝宝石图形衬底表面周期性图形参数(图形形貌、图案尺寸、图形占位比及其深度)对LED发光薄膜及器件的影响及其机理,最后对蓝宝石图形衬底的发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 蓝宝石图形衬底 GAN LED
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PECVD法制备不同衬底微晶硅薄膜的研究 被引量:4
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作者 桂全宏 佘星欣 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第3期599-604,610,共7页
采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法分别在玻璃衬底和p型薄膜硅衬底上制备了微晶硅薄膜。使用拉曼谱仪、紫外-可见分光光度计、傅里叶红外光谱仪等对微晶硅薄膜进行检测,重点研究了硅烷浓度、衬底温度对薄膜沉积速率和晶化率的影响... 采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法分别在玻璃衬底和p型薄膜硅衬底上制备了微晶硅薄膜。使用拉曼谱仪、紫外-可见分光光度计、傅里叶红外光谱仪等对微晶硅薄膜进行检测,重点研究了硅烷浓度、衬底温度对薄膜沉积速率和晶化率的影响。实验结果表明:两种衬底上薄膜的沉积速率均随硅烷浓度的增大、衬底温度的升高而变大。硅烷浓度对两种衬底的薄膜晶化率影响规律相同,即均随其升高而降低;但两种衬底的衬底温度影响规律存在差别:对玻璃衬底而言,温度升高,样品晶化率减小;而p型薄膜硅衬底则在温度升高时,样品晶化率先增大后减小。此外还发现,晶化率与薄膜光学性能及含氧量存在较密切关联。 展开更多
关键词 微晶硅薄膜 沉积速率 晶化率
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硼掺杂四面体非晶碳薄膜的光学特性研究
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作者 桂全宏 骆琳 +4 位作者 汪桂根 张化宇 韩杰才 李厚训 严帅 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2013年第5期109-112,共4页
采用过滤阴极真空电弧技术制备了不同硼含量的掺杂四面体非晶碳薄膜(ta-C:B)。使用椭偏仪和紫外-可见光分度计测试了薄膜的折射率、消光系数、透过率和反射率。结果表明,硼含量小于2.13%时,硼含量增加,薄膜折射率缓慢增大;消光系数基本... 采用过滤阴极真空电弧技术制备了不同硼含量的掺杂四面体非晶碳薄膜(ta-C:B)。使用椭偏仪和紫外-可见光分度计测试了薄膜的折射率、消光系数、透过率和反射率。结果表明,硼含量小于2.13%时,硼含量增加,薄膜折射率缓慢增大;消光系数基本保持不变。当硼含量继续增加到3.51%和6.04%时,折射率分别迅速增加至2.65和2.71,相应的消光系数增大至0.092和0.154;而薄膜的光学带隙从2.29eV缓慢减小至1.97eV,后又迅速降至1.27eV。同时ta-C:B膜的透过率逐渐减小,反射率逐渐增大,表明硼的掺入降低了薄膜的透光性能。ta-C:B膜光学性能的变化,除了与sp3杂化碳的含量有关外,还取决于薄膜中sp2杂化碳的空间分布特点。 展开更多
关键词 薄膜 硼掺杂四面体非晶碳膜 椭圆偏振光谱法 光学特性
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民营科技企业融资的困境和出路 被引量:2
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作者 桂全宏 詹原瑞 《企业经济》 北大核心 2004年第8期134-135,共2页
在目前的市场环境下,银行、资本市场和政府对解决民营科技企业融资难的问题起着积极的作用,但也存在一定的局限性,仍不能从根本上解决企业融资难的问题。在市场经济条件下,解决问题的出路还在市场,目前当务之急是建立完善的社会信用体系... 在目前的市场环境下,银行、资本市场和政府对解决民营科技企业融资难的问题起着积极的作用,但也存在一定的局限性,仍不能从根本上解决企业融资难的问题。在市场经济条件下,解决问题的出路还在市场,目前当务之急是建立完善的社会信用体系,完善的社会信用体系有助于从根本上解决企业融资难的问题。 展开更多
关键词 民营科技企业 融资 社会信用体系
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