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题名多晶硅真空区熔提纯技术研究
被引量：5
- 1
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作者
栾国旗
张殿朝
闫萍
高颖
马玉通
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机构
中国电子科技集团公司第四十六研究所
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出处
《电子工业专用设备》
2010年第8期16-19,共4页
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文摘
对真空单晶用多晶硅真空区熔提纯技术进行了分析,通过理论实践相结合,对真空区熔提纯过程中的提纯速率、熔区长度、提纯次数以及其它工艺参数进行了分析,制定了获得目标电阻率、型号、直径的有效区熔提纯工艺。
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关键词
多晶硅
提纯
提纯速率
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Keywords
Polysilicon
Purification
Rate of purification
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分类号
TN304.051
[电子电信—物理电子学]
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题名线切割硅片表面探究
被引量：1
- 2
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作者
栾国旗
杨士超
马玉通
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机构
中国电子科技集团公司第四十六研究所
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出处
《电子工业专用设备》
2013年第10期6-8,共3页
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文摘
硅片的表面损伤层,关系到切割后破片率及面的形状等。通过对硅片表面分析,发现硅片表面呈蜂窝状,有大孔、小孔和微孔。硅片侧面边缘呈山峰山沟状,并伴随有裂纹,从外向里分为表面镶嵌层和缺陷应力层。通过对硅片表面损伤的形成机理研究,发现通过以下调整可以减小表面损伤和提高表面质量:一是减小切割时的晶体所受到的垂直压力;二是调整碳化硅的直径分布系数,圆度系数,堆积密度。
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关键词
损伤层
硅片
破片率
SIC砂
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Keywords
Surface damage
Wafer
Wafer broken rate
Carborundum
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分类号
TN305.1
[电子电信—物理电子学]
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题名多线切割中温度对悬浮液的影响
- 3
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作者
栾国旗
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机构
中国电子科技集团公司第四十六研究所
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出处
《电子工业专用设备》
2012年第2期15-18,共4页
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文摘
多线切割在光伏以及半导体行业中有着广泛的应用,多线切割所用的悬浮液有着非常重要的作用,性能优良的悬浮液兼有切削、粘滞、冷却三大功能,可以有效提高硅片质量,提高生产效率。研究其特性主要是温度对其的影响,说明在科研生产中,悬浮液要控制在适宜的温度范围内,才能有效控制晶片质量。
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关键词
多线切割
悬浮液
黏度
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Keywords
Multi-wire slicing
Suspension solution
Viscosity
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分类号
TN305.1
[电子电信—物理电子学]
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