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题名新型氧化物半导体气敏传感器的研究进展
被引量：6
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作者
林毓韬
徐涛
程定峰
柳清菊
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机构
云南大学云南省高校纳米材料与技术重点实验室
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出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第23期45-48,58,共5页
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基金
国家自然科学基金(51062017)
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文摘
空气质量日益恶化问题引起了人们的重视。为了监控空气质量,研究者开发了很多种类的气敏传感器,其中氧化物半导体气敏传感器具有灵敏度高、制造成本低和信号测量手段简单等优点,成为了目前的主流产品。综述了该类型新型传感器的研究进展,介绍了其气敏机理、结构和制作方法,并概述了其存在的问题及今后的发展趋势。
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关键词
氧化物半导体
掺杂
气敏传感器
灵敏度
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Keywords
oxide semiconductor, doped, gas sensor, sensitivity
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分类号
X851
[环境科学与工程—环境工程]
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题名丙酮气敏传感器研究进展
被引量：1
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作者
林毓韬
张谨
邓宇翔
张裕敏
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机构
昆明冶金高等专科学校机械工程学院
云南大学云南省高校纳米材料与技术重点实验室
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出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第A01期410-414,共5页
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基金
云南省应用基础研究计划项目青年项目(2014FD062)
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文摘
近年来,丙酮对人们生活的影响越来越明显,所以对特定空气环境中丙酮含量检测装置的研究也势在必行。在各种检测装置中,氧化物半导体气敏传感器以灵敏度高、简便快捷、成本低廉而备受关注。综述了丙酮敏感氧化物半导体气敏传感器的研究进展,介绍了其敏感机理,并对现阶段研究中需要注意的问题以及一些新的研究方向进行了概述。
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关键词
丙酮
氧化物半导体
气体敏感
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Keywords
acetone
oxide semiconductor
gas-sensing
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分类号
TB34
[一般工业技术—材料科学与工程]
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