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离子注入多晶Si浅结工艺在双极集成电路中的应用
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作者 来永春 王大椿 +7 位作者 张通和 罗晏 沈京华 林振金 谢葆珍 刘有宝 卢英华 边江 《北京师范大学学报(自然科学版)》 CAS 1986年第3期44-53,共10页
本文用背散射技术、霍尔效应和X光衍射法测量As离子注入多晶Si浅结工艺在制备D.I2902电路中的基本参数:As在多晶Si中的扩散系数、电阻率、迁移率和晶粒大小。对影响电路参数的多晶Si与单晶Si之间的界面氧化层、多晶Si厚度和晶粒大小作... 本文用背散射技术、霍尔效应和X光衍射法测量As离子注入多晶Si浅结工艺在制备D.I2902电路中的基本参数:As在多晶Si中的扩散系数、电阻率、迁移率和晶粒大小。对影响电路参数的多晶Si与单晶Si之间的界面氧化层、多晶Si厚度和晶粒大小作了较详细的分析,指出极薄界面氧化层的存在影响As从多晶Si向单晶Si的扩散,也有利于发射效率的提高。最后给出D.I2902电路的工艺流程和基本电参数。 展开更多
关键词 界面氧化层 浅结工艺 SI 双极集成电路 晶粒大小 背散射分析 光衍射 霍尔效应 离子注入 双极晶体管
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Tl-Ba-Ca-Cu-O系超导体相结构和掺Mn影响的电镜研究
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作者 林明柱 周善元 +7 位作者 李永良 唐为华 涂青云 桑丽华 刘振兴 任燕如 林振金 孟宪仁 《北京师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 1989年第A04期25-28,共4页
Tl-Ba-Ca-Cu-O系超导体多相同时存在,多至6相,均属四方晶系钙钛矿结构,其中(2223)(2212)相共生,其衍射谱给出c≈33A的假象.加Mn可以部分取代Tl,但增加Mn的含量将失去高温超导性.
关键词 超导体 Tl-Ba-Ca-Cu-O体系 电子衍射 四方品系相 加锰
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N在GaP及P在GaN中的溶解极限的计算
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作者 吴小山 杨锡震 +1 位作者 林振金 李智 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1994年第2期116-121,共6页
本文根据化学反应的吉布斯自由能及VanVechten等人的介电理论计算了N在GaP中的溶解度及P在GaN中的溶解度.计算结果表明,N在GaP中有一个相当好的溶解度,在这个溶解度下,GaP(1-x)Nx合金的能带可以发... 本文根据化学反应的吉布斯自由能及VanVechten等人的介电理论计算了N在GaP中的溶解度及P在GaN中的溶解度.计算结果表明,N在GaP中有一个相当好的溶解度,在这个溶解度下,GaP(1-x)Nx合金的能带可以发生有意义的变化,我们的计算结果可以很好地说明最近一些作者所作的有关实验报道. 展开更多
关键词 溶解极限 溶解度 磷化镓 氮化镓
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离子注入GaAs_(x-1)P_x(X■0.39)LED中深能级的研究
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作者 杨锡震 丁维清 林振金 《北京师范大学学报(自然科学版)》 CAS 1981年第4期33-38,共6页
一、引言近年来,国内外发光二极管(LED)及其所用材料中深能级的检测和研究取得了不少成果。研究表明:某些深能级的存在所引起的载流子复合的“旁路”,是限制LED效率提高的一个重要因素。热激电流(TSC)是检测深能级,研究材料中杂质、缺... 一、引言近年来,国内外发光二极管(LED)及其所用材料中深能级的检测和研究取得了不少成果。研究表明:某些深能级的存在所引起的载流子复合的“旁路”,是限制LED效率提高的一个重要因素。热激电流(TSC)是检测深能级,研究材料中杂质、缺陷的一种简便方法,[1—3,12]都曾用这种方法研究过GaAsP LED中的深能级。在LED生产中, 展开更多
关键词 深能级 LED x-1)P_x 热激电流 载流子复合 发光二极管 发光中心 样品架 发光带 复合发光
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GaAs_(1-x)P_x∶N间接能隙材料的光致发光谱 被引量:1
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作者 丁维清 林振金 +1 位作者 杨锡震 蔡萃丽 《北京师范大学学报(自然科学版)》 CAS 1981年第2期59-66,共8页
前言近年来,对GaAs1-xPx材料的发光性质,国外已进行了许多研究。尤其是关于等电子杂质氮的参与对发光性质的影响,引起了更多人的注意,通过离子注入氮的掺杂,又使研究的范围向间接能隙区推进。以上这些研究所围绕的中心问题,在应用上,主... 前言近年来,对GaAs1-xPx材料的发光性质,国外已进行了许多研究。尤其是关于等电子杂质氮的参与对发光性质的影响,引起了更多人的注意,通过离子注入氮的掺杂,又使研究的范围向间接能隙区推进。以上这些研究所围绕的中心问题,在应用上,主要是发光二极管(LED)的发光效率和发光波长两方面。而GaAsP材料正是目前国内以致国际制造LED的重要材料,对它进行研究是有一定意义的。 展开更多
关键词 等电子杂质 发光二极管 能隙 发光效率 x)P_x 发光性质 发光波长 发光强度 流明效率 国际制造
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铊钡钙铜氧超导体的红外光谱
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作者 刘汉朋 孟宪仁 +4 位作者 任燕如 林明柱 涂清云 桑莉华 林振金 《北京师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 1989年第2期38-42,共5页
给出2组 Tl-Ba-Ca-Cu-O 超导材料的超导转变温度,叙述它们的红外光谱测试,首次报导了 Tl 系超导体的红外吸收光谱,并进行了分析,认为有3个特征峰.峰 P_2(约530cm^(-1))与峰 P_2(约490cm^(-1))的差值可作为超导性能的标志,差值越小,T_c ... 给出2组 Tl-Ba-Ca-Cu-O 超导材料的超导转变温度,叙述它们的红外光谱测试,首次报导了 Tl 系超导体的红外吸收光谱,并进行了分析,认为有3个特征峰.峰 P_2(约530cm^(-1))与峰 P_2(约490cm^(-1))的差值可作为超导性能的标志,差值越小,T_c 值越高.0.1eV 左右的低能电子激发和850cm^(-1)左右的吸收峰也与 T_c 有某种关系.从光谱图也认证新材料有良好的抗潮湿稳定性. 展开更多
关键词 铊钡钙铜 氧化物 超导体 化合物
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离子注入重掺N的GaP中过带隙发光谱
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作者 冯建东 林振金 +3 位作者 杨锡震 刘玉梁 王世润 田德恒 《北京师范大学学报(自然科学版)》 CAS 1988年第2期47-50,共4页
为了取得蓝色发光材料,我们研究了GaP-GaN固溶体.在GaP外延片的衬底上进行了离子注入重掺N,获得了不同于GaP结构的晶体.X射线衍射花样表明,注N^+的GaP结构变成纤锌矿格子,这恰似GaN的结构.通过快速退火,进行了光致发光测量,无论退火前... 为了取得蓝色发光材料,我们研究了GaP-GaN固溶体.在GaP外延片的衬底上进行了离子注入重掺N,获得了不同于GaP结构的晶体.X射线衍射花样表明,注N^+的GaP结构变成纤锌矿格子,这恰似GaN的结构.通过快速退火,进行了光致发光测量,无论退火前和后都得到了过带隙的发光. 展开更多
关键词 光致发光 离子注入 X射线衍射 快速退火
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