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图形化蓝宝石衬底GaN基LED的研究进展 被引量:9
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作者 周仕忠 林志霆 +1 位作者 王海燕 李国强 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第6期417-424,共8页
蓝宝石衬底作为发光二极管最常用的衬底,经过不断发展,在克服其与GaN间晶格失配和热膨胀失配问题上,研究人员不断提出解决方案。近期发展起来的图形化衬底技术,除了能减少生长在蓝宝石衬底上GaN之间的差排缺陷,提高磊晶质量以解决失配问... 蓝宝石衬底作为发光二极管最常用的衬底,经过不断发展,在克服其与GaN间晶格失配和热膨胀失配问题上,研究人员不断提出解决方案。近期发展起来的图形化衬底技术,除了能减少生长在蓝宝石衬底上GaN之间的差排缺陷,提高磊晶质量以解决失配问题,更能提高LED的出光效率。从衬底图形的形状、尺寸、制备工艺出发,回顾了图形化蓝宝石衬底GaN基LED的研究进展,详细介绍了近年来关于图形化衬底技术与其他技术在提高LED性能方面的结合,总结了图形化蓝宝石衬底应用于大尺寸芯片的优势,并对其未来在大功率照明市场的应用进行了展望。 展开更多
关键词 蓝宝石 图形化衬底 发光二极管(LED) GAN 制备工艺
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H_2气氛对采用MOCVD法在Si衬底上外延生长AlN薄膜性能的影响
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作者 杨美娟 林云昊 +2 位作者 王文樑 林志霆 李国强 《材料研究与应用》 CAS 2016年第1期10-15,共6页
采用金属有机化合物气相沉积法(MOCVD)在Si(111)衬底上外延生长AlN薄膜,用高分辨X射线衍射、扫描电子显微镜和原子力显微镜对外延生长所得AlN薄膜的性能进行表征,并研究了适量H_2的引入对AlN薄膜的晶体结构和表面形貌的影响.结果表明:... 采用金属有机化合物气相沉积法(MOCVD)在Si(111)衬底上外延生长AlN薄膜,用高分辨X射线衍射、扫描电子显微镜和原子力显微镜对外延生长所得AlN薄膜的性能进行表征,并研究了适量H_2的引入对AlN薄膜的晶体结构和表面形貌的影响.结果表明:在Si衬底上外延生长AlN薄膜过程中引入适量H_2,有利于提高AlN岛间愈合程度,薄膜表面缺陷减少,表面粗糙度由4.0nm减少至2.1nm;适量H_2的引入可使AlN薄膜的(0002)和(10-12)面的X射线摇摆曲线的半峰宽(FWHM)值从0.7"及1.1"分别减小到0.6"和0.9",即刃型穿透位错密度和螺型穿透位错密度减少. 展开更多
关键词 SI衬底 ALN薄膜 H2 MOCVD
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Design of patterned sapphire substrates for GaN-based light-emitting diodes
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作者 王海燕 林志霆 +2 位作者 韩晶磊 钟立义 李国强 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第6期17-24,共8页
A new method for patterned sapphire substrate (PSS) design is developed and proven to be reliable and cost-effective. As progress is made with LEDs' luminous efficiency, the pattern units of PSS become more complic... A new method for patterned sapphire substrate (PSS) design is developed and proven to be reliable and cost-effective. As progress is made with LEDs' luminous efficiency, the pattern units of PSS become more complicated, and the effect of complicated geometrical features is almost impossible to study systematically by experiments only. By employing our new method, the influence of pattern parameters can be systematically studied, and various novel patterns are designed and optimized within a reasonable time span, with great improvement in LEDs' light extraction efficiency (LEE). Clearly, PSS pattern design with such a method deserves particular attention. We foresee that GaN-based LEDs on these newly designed PSSs will achieve more progress in the coming years. 展开更多
关键词 light-emitting diode (LED) patterned sapphire substrate (PSS) pattern design computer simula-tion
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