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碳基场发射冷阴极材料的研究
被引量:
2
1
作者
钱开友
林仰魁
+2 位作者
徐东
蔡炳初
孙卓
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
2004年第5期12-15,共4页
场发射冷阴极材料作为真空微电子器件的核心部件,在真空微电子场发射的研究与应用中占有极其重要的地位。目前碳基材料金刚石、类金刚石和碳纳米管在场发射冷阴级的研究中居统治地位。阐述了以上3种材料的制备工艺,发射特性,提出了改进...
场发射冷阴极材料作为真空微电子器件的核心部件,在真空微电子场发射的研究与应用中占有极其重要的地位。目前碳基材料金刚石、类金刚石和碳纳米管在场发射冷阴级的研究中居统治地位。阐述了以上3种材料的制备工艺,发射特性,提出了改进其发射性能的措施,并对它们目前存在的问题及其应用前景进行了展望。
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关键词
碳基材料
场发射冷阴极
真空微电子器件
类金刚石
碳纳米管
发射传感器
场发射平板显示器
微波毫米波器件
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职称材料
一种新场发射压力传感器阳极膜结构的模拟与测试
2
作者
钱开友
颜丙勇
+3 位作者
林仰魁
王芸
徐东
蔡炳初
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第3期614-616,共3页
提出了场发射压力传感器阳极变形膜的双层膜结构。计算机模拟证明这种结构与已报道的单层膜相比具有大量程与高灵敏度的优点。对这种结构的形变特性进行了实验测试,考虑到测量误差与湿法刻蚀造成膜表面的不平整因素,测实结果与模拟结果...
提出了场发射压力传感器阳极变形膜的双层膜结构。计算机模拟证明这种结构与已报道的单层膜相比具有大量程与高灵敏度的优点。对这种结构的形变特性进行了实验测试,考虑到测量误差与湿法刻蚀造成膜表面的不平整因素,测实结果与模拟结果较为相符。
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关键词
场发射
压力传感器
阳极变形膜
计算机模拟
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职称材料
题名
碳基场发射冷阴极材料的研究
被引量:
2
1
作者
钱开友
林仰魁
徐东
蔡炳初
孙卓
机构
薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳米科学技术研究院
华东师范大学纳米功能材料与器件应用研究中心
出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
2004年第5期12-15,共4页
基金
上海市科技发展基金(0214nm031)
文摘
场发射冷阴极材料作为真空微电子器件的核心部件,在真空微电子场发射的研究与应用中占有极其重要的地位。目前碳基材料金刚石、类金刚石和碳纳米管在场发射冷阴级的研究中居统治地位。阐述了以上3种材料的制备工艺,发射特性,提出了改进其发射性能的措施,并对它们目前存在的问题及其应用前景进行了展望。
关键词
碳基材料
场发射冷阴极
真空微电子器件
类金刚石
碳纳米管
发射传感器
场发射平板显示器
微波毫米波器件
Keywords
field emission cold cathode
diamond
diamond-like carbon
carbon nanotubes
分类号
TN104 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
一种新场发射压力传感器阳极膜结构的模拟与测试
2
作者
钱开友
颜丙勇
林仰魁
王芸
徐东
蔡炳初
机构
薄膜与微细技术教育部重点实验室
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第3期614-616,共3页
基金
上海市科技发展基金资助(0214nm031)
文摘
提出了场发射压力传感器阳极变形膜的双层膜结构。计算机模拟证明这种结构与已报道的单层膜相比具有大量程与高灵敏度的优点。对这种结构的形变特性进行了实验测试,考虑到测量误差与湿法刻蚀造成膜表面的不平整因素,测实结果与模拟结果较为相符。
关键词
场发射
压力传感器
阳极变形膜
计算机模拟
Keywords
field emission
pressure sensors
anode sensing film
computer simulation
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TP391.9 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
碳基场发射冷阴极材料的研究
钱开友
林仰魁
徐东
蔡炳初
孙卓
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
2004
2
在线阅读
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职称材料
2
一种新场发射压力传感器阳极膜结构的模拟与测试
钱开友
颜丙勇
林仰魁
王芸
徐东
蔡炳初
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2005
0
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职称材料
已选择
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参考文献
引证文献
统计分析
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