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微加速度传感器的结构刚度分析新法
被引量：
1
1
作者
刘妤
温志渝
+1 位作者
杨红韵
张流强
《力学与实践》
CSCD
北大核心
2006年第4期68-72,95,共6页
微传感器结构刚度是优化传感器结构尺寸、研究传感器动态响应特性的一个重要参数．目前多采用有限元分析获取这一参数,但该方法难于给出一个物理思想比较明确的解析表达式．针对自主开发设计的一种具有复杂微结构的加速度传感器,提出综...
微传感器结构刚度是优化传感器结构尺寸、研究传感器动态响应特性的一个重要参数．目前多采用有限元分析获取这一参数,但该方法难于给出一个物理思想比较明确的解析表达式．针对自主开发设计的一种具有复杂微结构的加速度传感器,提出综合运用力法和能量法原理求解其主轴刚度,并通过仿真分析验证了理论推导．理论计算与仿真分析的结果有较好的一致性．该方法可推广应用于具有对称、静不定微结构的加速度传感器的刚度分析．
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关键词
微加速度传感器
微结构
力法
能量法
主轴刚度
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职称材料
题名
微加速度传感器的结构刚度分析新法
被引量：
1
1
作者
刘妤
温志渝
杨红韵
张流强
机构
重庆大学光电工程学院
重庆工学院汽车学院
出处
《力学与实践》
CSCD
北大核心
2006年第4期68-72,95,共6页
基金
国家自然科学基金项目(10176040)资助.
文摘
微传感器结构刚度是优化传感器结构尺寸、研究传感器动态响应特性的一个重要参数．目前多采用有限元分析获取这一参数,但该方法难于给出一个物理思想比较明确的解析表达式．针对自主开发设计的一种具有复杂微结构的加速度传感器,提出综合运用力法和能量法原理求解其主轴刚度,并通过仿真分析验证了理论推导．理论计算与仿真分析的结果有较好的一致性．该方法可推广应用于具有对称、静不定微结构的加速度传感器的刚度分析．
关键词
微加速度传感器
微结构
力法
能量法
主轴刚度
Keywords
microaccelerometer, microstructure, force method, energy method, stiffness
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TG659 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微加速度传感器的结构刚度分析新法
刘妤
温志渝
杨红韵
张流强
《力学与实践》
CSCD
北大核心
2006
1
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