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基于短波红外偏振成像的集成电路芯片污染缺陷检测
1
作者
贺泽斌
陈昌
+4 位作者
杨君聖
杨秉林
王爽
李克武
吴倩楠
《应用光学》
北大核心
2025年第2期388-394,共7页
针对集成电路芯片污染缺陷高速、高精度的检测需求,设计并研制了一种基于短波红外显微成像技术与偏振测量技术相结合的高精度短波红外偏振显微成像系统。检测光源透射穿过样品,样品偏振光经过显微镜收集,入射到由波片和检偏器构成的偏...
针对集成电路芯片污染缺陷高速、高精度的检测需求,设计并研制了一种基于短波红外显微成像技术与偏振测量技术相结合的高精度短波红外偏振显微成像系统。检测光源透射穿过样品,样品偏振光经过显微镜收集,入射到由波片和检偏器构成的偏振分析装置,从而完成样品偏振图像测量。利用偏振图像融合技术将测量得到的图像进行融合,完成样品偏振图像特征提取,从而实现对集成电路芯片污染的缺陷检测。采用Op-Amp集成芯片对芯片的边缘和中心进行了测试实验。实验结果显示,本系统所测试的缺陷特征清晰、数量完整,能够提供重要依据,确保了集成电路芯片污染缺陷检测的准确性。
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关键词
短波红外
偏振成像
集成电路芯片
偏振图像融合
缺陷检测
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职称材料
坚持新闻的党性原则——驳新闻界的部分资产阶级自由化观点
2
作者
杨秉林
陈军
《学习与实践》
北大核心
1989年第9期5-6,7,11,共4页
几年来,新闻界存在着坚持四项基本原则与资产阶级自由化的严重对立和斗争。在此,笔者对新闻界的部分资产阶级自由化观点作些初浅的分析和批判:一是否定党的新闻事业的无产阶级的阶级性,否定新闻工作的党性原则。
关键词
资产阶级自由化
党性原则
新闻界
四项基本原则
无产阶级
新闻事业
新闻工作
阶级性
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职称材料
浅谈新闻工作者的政治修养
3
作者
杨秉林
《学习与实践》
1986年第7期31-33,共3页
有些年轻同志以为有一支生花妙笔,懂一点新闻摄象技术就可以当好一名新闻工作者,至于政治修养不修养似乎都无所谓,用不着下什么功夫。
关键词
新闻工作者
政治修养
记者
思想政治教育
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职称材料
题名
基于短波红外偏振成像的集成电路芯片污染缺陷检测
1
作者
贺泽斌
陈昌
杨君聖
杨秉林
王爽
李克武
吴倩楠
机构
中北大学半导体与物理学院
中北大学电气与控制工程学院
中北大学前沿交叉科学研究院
中北大学仪器与智能省级未来技术学院
出处
《应用光学》
北大核心
2025年第2期388-394,共7页
基金
国家自然科学基金(62205310,62205309)。
文摘
针对集成电路芯片污染缺陷高速、高精度的检测需求,设计并研制了一种基于短波红外显微成像技术与偏振测量技术相结合的高精度短波红外偏振显微成像系统。检测光源透射穿过样品,样品偏振光经过显微镜收集,入射到由波片和检偏器构成的偏振分析装置,从而完成样品偏振图像测量。利用偏振图像融合技术将测量得到的图像进行融合,完成样品偏振图像特征提取,从而实现对集成电路芯片污染的缺陷检测。采用Op-Amp集成芯片对芯片的边缘和中心进行了测试实验。实验结果显示,本系统所测试的缺陷特征清晰、数量完整,能够提供重要依据,确保了集成电路芯片污染缺陷检测的准确性。
关键词
短波红外
偏振成像
集成电路芯片
偏振图像融合
缺陷检测
Keywords
short-wave infrared
polarization imaging
integrated circuit chip
polarization image fusion
defect detection
分类号
TN206 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
坚持新闻的党性原则——驳新闻界的部分资产阶级自由化观点
2
作者
杨秉林
陈军
出处
《学习与实践》
北大核心
1989年第9期5-6,7,11,共4页
文摘
几年来,新闻界存在着坚持四项基本原则与资产阶级自由化的严重对立和斗争。在此,笔者对新闻界的部分资产阶级自由化观点作些初浅的分析和批判:一是否定党的新闻事业的无产阶级的阶级性,否定新闻工作的党性原则。
关键词
资产阶级自由化
党性原则
新闻界
四项基本原则
无产阶级
新闻事业
新闻工作
阶级性
分类号
G211 [文化科学—新闻学]
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职称材料
题名
浅谈新闻工作者的政治修养
3
作者
杨秉林
出处
《学习与实践》
1986年第7期31-33,共3页
文摘
有些年轻同志以为有一支生花妙笔,懂一点新闻摄象技术就可以当好一名新闻工作者,至于政治修养不修养似乎都无所谓,用不着下什么功夫。
关键词
新闻工作者
政治修养
记者
思想政治教育
分类号
G214 [文化科学—新闻学]
D64 [政治法律—中外政治制度]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于短波红外偏振成像的集成电路芯片污染缺陷检测
贺泽斌
陈昌
杨君聖
杨秉林
王爽
李克武
吴倩楠
《应用光学》
北大核心
2025
0
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职称材料
2
坚持新闻的党性原则——驳新闻界的部分资产阶级自由化观点
杨秉林
陈军
《学习与实践》
北大核心
1989
0
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职称材料
3
浅谈新闻工作者的政治修养
杨秉林
《学习与实践》
1986
0
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