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硅基超薄多孔氧化铝膜的制备
被引量：
7
1
作者
杨昊炜
张璋
+2 位作者
段晓楠
俞宏坤
金庆原
《物理化学学报》
SCIE
CAS
CSCD
北大核心
2008年第2期313-316,共4页
将二次阳极氧化法应用于硅基铝膜的制备,在草酸溶液中得到了厚度可控的硅基超薄多孔氧化铝膜(PAM),厚度小于100nm.实验中记录了氧化电流随时间的实时变化曲线,发现硅衬底的氧化电流在大幅下降前有一小幅波动.对应于Al/Si界面的氧化过程...
将二次阳极氧化法应用于硅基铝膜的制备,在草酸溶液中得到了厚度可控的硅基超薄多孔氧化铝膜(PAM),厚度小于100nm.实验中记录了氧化电流随时间的实时变化曲线,发现硅衬底的氧化电流在大幅下降前有一小幅波动.对应于Al/Si界面的氧化过程中,孔洞底部之间的残留铝岛被优先氧化,可将此作为终止铝氧化的标志.扫描电镜(SEM)观察表明,二次氧化提高了孔洞分布的均匀性,使得孔在一定的区域内呈现有序六角分布.这种模板可进一步用于硅基纳米器件和纳米结构的制备.
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关键词
多孔氧化铝膜
硅基
超薄
生长机理
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职称材料
浅谈溢油污染对海洋环境的危害
被引量：
8
2
作者
杨昊炜
柴田
《天津航海》
2007年第4期13-15,共3页
文章分析了海上溢油对海洋环境和社会环境造成的危害和影响,论述了海上溢油的防止措施及对策。
关键词
溢油污染
海洋环境
危害
措施
对策
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职称材料
题名
硅基超薄多孔氧化铝膜的制备
被引量：
7
1
作者
杨昊炜
张璋
段晓楠
俞宏坤
金庆原
机构
复旦大学材料科学系
复旦大学光科学与工程系
出处
《物理化学学报》
SCIE
CAS
CSCD
北大核心
2008年第2期313-316,共4页
文摘
将二次阳极氧化法应用于硅基铝膜的制备,在草酸溶液中得到了厚度可控的硅基超薄多孔氧化铝膜(PAM),厚度小于100nm.实验中记录了氧化电流随时间的实时变化曲线,发现硅衬底的氧化电流在大幅下降前有一小幅波动.对应于Al/Si界面的氧化过程中,孔洞底部之间的残留铝岛被优先氧化,可将此作为终止铝氧化的标志.扫描电镜(SEM)观察表明,二次氧化提高了孔洞分布的均匀性,使得孔在一定的区域内呈现有序六角分布.这种模板可进一步用于硅基纳米器件和纳米结构的制备.
关键词
多孔氧化铝膜
硅基
超薄
生长机理
Keywords
Porous alumina membrane
Silicon substrate
Ultra thin
Formation mechanism
分类号
O614.31 [理学—无机化学]
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职称材料
题名
浅谈溢油污染对海洋环境的危害
被引量：
8
2
作者
杨昊炜
柴田
机构
南通海事局
集美大学航海学院
出处
《天津航海》
2007年第4期13-15,共3页
文摘
文章分析了海上溢油对海洋环境和社会环境造成的危害和影响,论述了海上溢油的防止措施及对策。
关键词
溢油污染
海洋环境
危害
措施
对策
分类号
U698.7 [交通运输工程—港口、海岸及近海工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
硅基超薄多孔氧化铝膜的制备
杨昊炜
张璋
段晓楠
俞宏坤
金庆原
《物理化学学报》
SCIE
CAS
CSCD
北大核心
2008
7
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职称材料
2
浅谈溢油污染对海洋环境的危害
杨昊炜
柴田
《天津航海》
2007
8
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职称材料
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