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透明导电薄膜的红外可见光兼容隐身的厚度依赖性研究
1
作者
杨季薇
董玲
+6 位作者
谷东
徐华蕊
赵昀云
杨涛
李海平
李杰
朱归胜
《人工晶体学报》
2025年第9期1614-1621,共8页
采用直流(DC)磁控溅射法,通过对透明导电薄膜氧化铟锡(ITO)进行结构调控,分析其中的载流子浓度、迁移率等变化,着重探究了薄膜的厚度对红外波段反射率的影响,诠释了薄膜厚度与光电性能之间的构效关系。通过设定特定的溅射功率、衬底温...
采用直流(DC)磁控溅射法,通过对透明导电薄膜氧化铟锡(ITO)进行结构调控,分析其中的载流子浓度、迁移率等变化,着重探究了薄膜的厚度对红外波段反射率的影响,诠释了薄膜厚度与光电性能之间的构效关系。通过设定特定的溅射功率、衬底温度、气氛控制ITO薄膜的薄膜厚度,得到了100~500 nm厚度的薄膜,实现了高(400)取向、高红外反射率、高可见光透过率的氧化铟锡薄膜的制备。构建的特殊膜层厚度,构成了协同的载流子浓度与迁移率,缓解了一部分漫反射的影响,在膜厚为400 nm时,平均可见光透过率为89.51%,实现了2.5~15μm宽谱段97.37%的平均红外反射率。且所得薄膜品质因数高达815.19×10^(-4)Ω^(-1),显著优于已报道的透明导电薄膜体系,解决了可见光与红外兼容隐身的问题,为频谱兼容光学隐身材料及智能窗的制备提供了新的思路。
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关键词
氧化铟锡薄膜
直流磁控溅射
红外隐身
厚度
光电性能
霍尔参数
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职称材料
基于ITO/Al/ITO结构的红外-可见光兼容隐身薄膜制备与性能研究
2
作者
谷东
董玲
+4 位作者
杨季薇
李海平
李杰
朱归胜
徐华蕊
《人工晶体学报》
2025年第9期1607-1613,共7页
红外-可见光兼容隐身材料因突破单波段隐身材料的局限,能够应对多波段侦察技术而备受关注。本文利用直流磁控溅射制备了具有不同厚度Al间隔层的ITO/Al/ITO复合薄膜。通过多膜层间的表面和界面效应及多波段光学耦合等光学效应协同作用,...
红外-可见光兼容隐身材料因突破单波段隐身材料的局限,能够应对多波段侦察技术而备受关注。本文利用直流磁控溅射制备了具有不同厚度Al间隔层的ITO/Al/ITO复合薄膜。通过多膜层间的表面和界面效应及多波段光学耦合等光学效应协同作用,获得了一种可见光高透过与红外高反射的ITO/Al/ITO复合薄膜。XRD表征结果显示,Al层的插入改善了ITO薄膜的结晶性。良好的晶体结构有助于载流子的运动,与载流子迁移率为11.1 cm^(2)·V^(-1)·s^(-1)的双层ITO薄膜相比,复合薄膜的载流子迁移率提升到24.2 cm^(2)·V^(-1)·s^(-1)。Al层溅射时间9和12 s的复合薄膜的可见光透过率和红外光反射率均大于80%。
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关键词
ITO/Al/ITO复合薄膜
磁控溅射
红外-可见光兼容隐身
高透过率
载流子迁移率
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职称材料
题名
透明导电薄膜的红外可见光兼容隐身的厚度依赖性研究
1
作者
杨季薇
董玲
谷东
徐华蕊
赵昀云
杨涛
李海平
李杰
朱归胜
机构
桂林电子科技大学材料科学与工程学院
出处
《人工晶体学报》
2025年第9期1614-1621,共8页
基金
国家自然科学基金(62364007,U21A2065)
广西科技计划(桂科AA21077018,桂科AD23023013,桂科AB23075218)
桂林市科学研究与技术开发计划项目(20220120-1)。
文摘
采用直流(DC)磁控溅射法,通过对透明导电薄膜氧化铟锡(ITO)进行结构调控,分析其中的载流子浓度、迁移率等变化,着重探究了薄膜的厚度对红外波段反射率的影响,诠释了薄膜厚度与光电性能之间的构效关系。通过设定特定的溅射功率、衬底温度、气氛控制ITO薄膜的薄膜厚度,得到了100~500 nm厚度的薄膜,实现了高(400)取向、高红外反射率、高可见光透过率的氧化铟锡薄膜的制备。构建的特殊膜层厚度,构成了协同的载流子浓度与迁移率,缓解了一部分漫反射的影响,在膜厚为400 nm时,平均可见光透过率为89.51%,实现了2.5~15μm宽谱段97.37%的平均红外反射率。且所得薄膜品质因数高达815.19×10^(-4)Ω^(-1),显著优于已报道的透明导电薄膜体系,解决了可见光与红外兼容隐身的问题,为频谱兼容光学隐身材料及智能窗的制备提供了新的思路。
关键词
氧化铟锡薄膜
直流磁控溅射
红外隐身
厚度
光电性能
霍尔参数
Keywords
indium tin oxide thin film
DC magnetron sputtering
infrared stealth
thickness
optical property
Hall parameter
分类号
O78 [理学]
O484 [理学—晶体学]
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职称材料
题名
基于ITO/Al/ITO结构的红外-可见光兼容隐身薄膜制备与性能研究
2
作者
谷东
董玲
杨季薇
李海平
李杰
朱归胜
徐华蕊
机构
桂林电子科技大学材料科学与工程学院
出处
《人工晶体学报》
2025年第9期1607-1613,共7页
基金
国家自然科学基金(62354007,U21A2065)
广西科技计划项目(AD23023013,AA21077018)
桂林市创新平台和人才计划(20220120-1)。
文摘
红外-可见光兼容隐身材料因突破单波段隐身材料的局限,能够应对多波段侦察技术而备受关注。本文利用直流磁控溅射制备了具有不同厚度Al间隔层的ITO/Al/ITO复合薄膜。通过多膜层间的表面和界面效应及多波段光学耦合等光学效应协同作用,获得了一种可见光高透过与红外高反射的ITO/Al/ITO复合薄膜。XRD表征结果显示,Al层的插入改善了ITO薄膜的结晶性。良好的晶体结构有助于载流子的运动,与载流子迁移率为11.1 cm^(2)·V^(-1)·s^(-1)的双层ITO薄膜相比,复合薄膜的载流子迁移率提升到24.2 cm^(2)·V^(-1)·s^(-1)。Al层溅射时间9和12 s的复合薄膜的可见光透过率和红外光反射率均大于80%。
关键词
ITO/Al/ITO复合薄膜
磁控溅射
红外-可见光兼容隐身
高透过率
载流子迁移率
Keywords
ITO/Al/ITO composite film
magnetron sputtering
infrared-visible compatible stealth
high transmittance
carrier mobility
分类号
O78 [理学]
O484 [理学—晶体学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
透明导电薄膜的红外可见光兼容隐身的厚度依赖性研究
杨季薇
董玲
谷东
徐华蕊
赵昀云
杨涛
李海平
李杰
朱归胜
《人工晶体学报》
2025
在线阅读
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职称材料
2
基于ITO/Al/ITO结构的红外-可见光兼容隐身薄膜制备与性能研究
谷东
董玲
杨季薇
李海平
李杰
朱归胜
徐华蕊
《人工晶体学报》
2025
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