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S—枪磁控溅射源的研制及其特性
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作者 杨占文 李自鹏 刘福侠 《真空与低温》 1994年第1期29-33,共5页
S-枪是一种先进的真空溅射镀膜器件,可用于进行多种真空镀膜工艺。详细介绍了研制S-枪的结构状况及其工作特性。
关键词 S-枪 真空溅射 镀膜器件
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漾濞泡核桃壳制活性炭试验 被引量:18
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作者 莫树门 张裕农 +4 位作者 暴江山 茶跃泉 杨占文 项缙农 项瑞雄 《云南林业科技》 1997年第1期54-61,共8页
漾濞泡核桃壳是经加工取仁后的剩余物,占核桃重量的42%~46%。本研究在于摸索其制造活性炭炭化和活化的工艺条件,试验结果表明;漾濞泡核桃壳经过炭化、水蒸汽活化,可制成净水用颗粒活性炭、味精脱色用颗粒活性炭和粉状活性炭... 漾濞泡核桃壳是经加工取仁后的剩余物,占核桃重量的42%~46%。本研究在于摸索其制造活性炭炭化和活化的工艺条件,试验结果表明;漾濞泡核桃壳经过炭化、水蒸汽活化,可制成净水用颗粒活性炭、味精脱色用颗粒活性炭和粉状活性炭等3个品种,主要技术指标都符合国家标准;漾濞泡核桃壳容易活化,不但活化温度低,而且活化时间也短,温度在810℃时活化150min就能制得碘值在1000mg/g以上的优质活性炭;漾濞泡核桃壳较薄,宜于制造小颗粒活性炭。 展开更多
关键词 漾濞泡核桃 活性炭 核桃壳
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一种有待推广的镀膜器件——S-枪磁控溅射源 被引量:1
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作者 杨占文 《合肥工业大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 1989年第1期75-78,共4页
S—枪是真空溅射镀膜源的后起之秀,属于磁控溅射。该枪在工作真空环境下利用氩气为溅射气体,施加正交电磁场,产生辉光放电,并在靶表面上空形成电子阱,约束二次电子沿一定轨迹运动,从而达到高速、低温溅射镀膜的目的。本文介绍了该枪的... S—枪是真空溅射镀膜源的后起之秀,属于磁控溅射。该枪在工作真空环境下利用氩气为溅射气体,施加正交电磁场,产生辉光放电,并在靶表面上空形成电子阱,约束二次电子沿一定轨迹运动,从而达到高速、低温溅射镀膜的目的。本文介绍了该枪的工作原理和特点,以及近年来在国内外应用的情况。 展开更多
关键词 镀膜 器件 枪磁控 溅射源
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