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微型平面式气体火花开关的设计和制作 被引量：6
1
作者 周镇威 杨卓青 +2 位作者 丁桂甫 陆闻静 沈慧 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第5期1256-1260,共5页
基于表面微加工技术,设计并制作了一种微型平面式气体火花开关,其尺寸仅为1.5cm×0.5cm,对制作的微型火花开关进行电路测试,得到其输出电流峰值约为3 450A,上升时间164ns。结合实验结果,对开关器件进行电路系统仿真并提取参数,得到... 基于表面微加工技术,设计并制作了一种微型平面式气体火花开关,其尺寸仅为1.5cm×0.5cm,对制作的微型火花开关进行电路测试,得到其输出电流峰值约为3 450A,上升时间164ns。结合实验结果,对开关器件进行电路系统仿真并提取参数,得到系统电感为26.5nH,电阻为0.066Ω,与传统机械结构的立体式火花开关相比,器件参数得到显著优化。 展开更多
关键词 火花隙开关 脉冲功率 微型平面化 微机电集成制造
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通过可动触点延长接触时间的新型微冲击开关 被引量：5
2
作者 蔡豪刚 丁桂甫 +2 位作者 杨卓青 周镇威 汪红 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2009年第7期147-152,共6页
基于非硅表面微加工技术,设计并制造了一种用于振动监测的新型微机电系统(MEMS)冲击开关。开关主要由三部分构成:作为可动电极的质量块,作为固定电极的十字梁,和位于质量块中心的具有延时作用的可动触点。通过ANSYS有限元仿真,对器件进... 基于非硅表面微加工技术,设计并制造了一种用于振动监测的新型微机电系统(MEMS)冲击开关。开关主要由三部分构成:作为可动电极的质量块,作为固定电极的十字梁,和位于质量块中心的具有延时作用的可动触点。通过ANSYS有限元仿真,对器件进行模态分析,考察了器件的横向抗干扰能力;并提取了器件的物理参数(如弹簧弹性系数和系统有效质量),以用于Simulink动态仿真。通过动态仿真验证了器件的工作原理,并与传统微冲击开关进行了比较。使用落锤试验对所制造出的微冲击开关进行测试,加载脉宽1ms的半正弦冲击加速度,测得其阈值约为145g,并且接触时间可稳定在50μs以上。测试结果与仿真符合较好,证明了新型设计可以有效地增强接触效果,所建模型可以较准确地描述器件的动态响应。 展开更多
关键词 微冲击开关 微机电系统 可动触点 接触时间
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提高微结构表面在镀液中的润湿性 被引量：3
3
作者 李光杨 汪红 +3 位作者 谭姣姣 杨卓青 姚锦元 丁桂甫 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2010年第11期708-712,717,共6页
为提高微结构在氨基磺酸镍镀液中的润湿性,研究了在该镀液中加入十二烷基硫酸钠(SDS)作为润湿剂和对微结构表面进行氧等离子体改性这两种方法的效果。测试了4种含不同SDS浓度的氨基磺酸镍镀液的极化曲线。运用傅里叶变化红外光谱分析(FT... 为提高微结构在氨基磺酸镍镀液中的润湿性,研究了在该镀液中加入十二烷基硫酸钠(SDS)作为润湿剂和对微结构表面进行氧等离子体改性这两种方法的效果。测试了4种含不同SDS浓度的氨基磺酸镍镀液的极化曲线。运用傅里叶变化红外光谱分析(FTIR),对不同改性时间下的光刻胶表面成分进行了表征。提出了一种表征微结构润湿情况的方法。实验证明,添加SDS不影响镍在氨基磺酸镍溶液中的析出电位。FTIR的测试结果表明,通过氧等离子体改性在光刻胶表面引入了亲水的羟基,从而增强了由光刻胶构造的微结构的润湿性。研究发现,深宽比为1、线宽为50μm的微结构阵列经过氧等离子体改性5s后,在15min之内可被含SDS0.5kg/m3的氨基磺酸镍镀液完全浸润。 展开更多
关键词 光刻胶 表面改性 接触角 润湿性 微结构
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宋代词曲音乐形式的技术特点分析--以李清照《如梦令》为例
4
作者 杨卓青 《黄河之声》 2024年第24期80-83,共4页
宋代词作为中国古典文学与音乐相结合的艺术高峰,展现了文学性与音乐性的高度融合。词牌作为词作的核心构成,不仅规定了作品的结构与节奏,更赋予了其鲜明的旋律特性。李清照的《如梦令》是婉约词派的代表之作,充分体现了宋代词曲艺术的... 宋代词作为中国古典文学与音乐相结合的艺术高峰,展现了文学性与音乐性的高度融合。词牌作为词作的核心构成,不仅规定了作品的结构与节奏,更赋予了其鲜明的旋律特性。李清照的《如梦令》是婉约词派的代表之作,充分体现了宋代词曲艺术的精髓。通过短小篇幅的巧妙布局与意象表达,作品将自然景象与个人情感完美结合,达成了音乐表现与文学价值的双重艺术成就。文章从宋代词曲音乐形式的总体特点入手,以《如梦令》为例,深入探讨词牌规范与旋律设计对作品的影响,并通过对文本层次感、节奏感及意境音乐化呈现的分析,揭示其文学与音乐融合的内在逻辑。《如梦令》在宋代音乐文化的基础上,通过依字行腔、押韵规律、节奏调配等技术,展现了音乐与情感的细腻共鸣。 展开更多
关键词 宋代词曲 音乐形式 李清照 如梦令 技术特点
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高温ITO薄膜应变计制备及压阻性能 被引量：5
5
作者 杨伸勇 张丛春 +5 位作者 杨卓青 李红芳 姚锦元 黄漫国 汪红 丁桂甫 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第4期145-150,共6页
高温薄膜应变计被广泛应用于极端条件热端构件的应变测量。ITO薄膜应变计通常能够应用于1000℃以上的应变测量,为了研究ITO薄膜的显微结构、XPS光谱、阻温特性及压阻响应,采用磁控溅射在陶瓷基底上制备了ITO薄膜应变计,并在高温纯N2中... 高温薄膜应变计被广泛应用于极端条件热端构件的应变测量。ITO薄膜应变计通常能够应用于1000℃以上的应变测量,为了研究ITO薄膜的显微结构、XPS光谱、阻温特性及压阻响应,采用磁控溅射在陶瓷基底上制备了ITO薄膜应变计,并在高温纯N2中热处理ITO薄膜。结果表明,其电阻温度系数稳定在-750×10-6℃-1,在1200℃下测试其应变特性,测得电阻漂移率为0.0018 h-1,应变因子为16。ITO薄膜在高温下具有稳定的电阻温度系数和低漂移率,为高温端部件应变的测量提供了可能。 展开更多
关键词 ITO薄膜应变计 热处理 高温应变测量 电阻温度系数
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一种新型三维多方向敏感的非硅微机械惯性开关 被引量：5
6
作者 朱斌 杨卓青 +2 位作者 陈文国 丁桂甫 赵小林 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2013年第5期104-107,118,共5页
基于非硅表面微加工技术,设计并制造一种新型三维多方向敏感的微惯性开关。选用弹簧-质量块-阻尼的典型碰撞结构,主要由可动电极悬臂梁弹簧—质量块系统、水平固定电极、垂直复合柔性固定电极三部分组成。利用ANSYS有限元软件对器件进... 基于非硅表面微加工技术,设计并制造一种新型三维多方向敏感的微惯性开关。选用弹簧-质量块-阻尼的典型碰撞结构,主要由可动电极悬臂梁弹簧—质量块系统、水平固定电极、垂直复合柔性固定电极三部分组成。利用ANSYS有限元软件对器件进行模态和动力学碰撞仿真分析,并对该微机械惯性开关进行落锤冲击试验,结果表明,在水平和竖直方向的阈值均为50～60g,接触时间可稳定在40μs以上。 展开更多
关键词 惯性开关 微机电系统 多向敏感
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Su-8胶-金属复合材料电热微驱动器 被引量：1
7
作者 陈婧 丁桂甫 杨卓青 《微纳电子技术》 CAS 2008年第12期706-711,共6页
针对以金属嵌入式Su-8光刻胶作为新型弯曲梁式微驱动器结构材料的特点,在仿真分析过程中,考虑了狭小空气间隙中热传导机制的影响。分析结果表明,器件的工作电压随着悬空高度的增加而降低;当悬空高度达到270μm时,可忽略热传导机制。在... 针对以金属嵌入式Su-8光刻胶作为新型弯曲梁式微驱动器结构材料的特点,在仿真分析过程中,考虑了狭小空气间隙中热传导机制的影响。分析结果表明,器件的工作电压随着悬空高度的增加而降低;当悬空高度达到270μm时,可忽略热传导机制。在微加工工艺流程中,引入新的牺牲层材料,显著提升了工艺流程的兼容性和加工效果的稳定性。在此基础上研制的新型电热微驱动器实测位移由11.5μm增大至13.9μm,这一结果与传统多晶硅材料弯曲梁式微驱动器的驱动位移5μm相比有显著提高,而能耗亦从180mW降至21.6mW,器件性能得到改善。 展开更多
关键词 电热微驱动器 薄层空气热传导 Cu牺牲层 非硅表面微加工 微机电系统
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适用于微加工工艺的纳米多孔铜制备方法
8
作者 岳恒 张丛春 +4 位作者 李建华 杨卓青 汪红 丁桂甫 赵小林 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2014年第1期53-58,共6页
主要研究了一种适用于微加工工艺的纳米多孔铜（NPC）制备方法。采用酸性柠檬酸铜锌电镀体系制备出Cu68Zn32前驱合金，通过改变前驱合金在盐酸中去合金的时间可以对NPC的微观形貌及孔径分布进行有效控制。研究结果表明，在0．05mol／L... 主要研究了一种适用于微加工工艺的纳米多孔铜（NPC）制备方法。采用酸性柠檬酸铜锌电镀体系制备出Cu68Zn32前驱合金，通过改变前驱合金在盐酸中去合金的时间可以对NPC的微观形貌及孔径分布进行有效控制。研究结果表明，在0．05mol／L的盐酸中腐蚀6h后制备的NPC孔径为80～120nm，而系带尺寸为20～40nm，利用BET法测得其比表面积为8．12m2／g。另外，应用微加工工艺制备出边长为50μm方形微阵列，验证了该NPC制备工艺与微加工工艺有较好的兼容性，为NPC的图形化与集成制造提供一种有效的工艺方案。 展开更多
关键词 电沉积 前驱合金 纳米多孔铜(NPC) 去合金 微加工工艺
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电厂用锅炉水冷壁辐射过热器管弯头开裂原因分析 被引量：7
9
作者 刘瑞堂 侯彦芬 +1 位作者 王忠华 杨卓青 《哈尔滨工程大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期105-109,共5页
研究了某电厂500MW锅炉水冷壁辐过管弯头在服役条件下受力特征、显微组织变化和变形规律,探讨了其开裂原因.研究认为弯头管子表面裂纹属于热疲劳裂纹.炉管在热循环过程中的变形约束是引起热疲劳开裂的主要原因.在蠕变可以进行的温度下,... 研究了某电厂500MW锅炉水冷壁辐过管弯头在服役条件下受力特征、显微组织变化和变形规律,探讨了其开裂原因.研究认为弯头管子表面裂纹属于热疲劳裂纹.炉管在热循环过程中的变形约束是引起热疲劳开裂的主要原因.在蠕变可以进行的温度下,弯头管子受弯矩作用,“中性轴”上的横向应力升高,引起管子蠕变变形、截面椭圆化,而蠕变变形和再结晶过程等对热疲劳损伤起到促进作用.还应用“破裂前渗漏”准则评定了弯头管子的安全性,认为辐射过热器管设计符合破裂前渗漏准则,并有相当大的安全欲度. 展开更多
关键词 电厂锅炉 失效分析 热疲劳 弯头 破裂前渗漏准则
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集成柔性撑鼻器的双通路可穿戴MEMS呼吸监测微系统
10
作者 赵文浒 王嘉祥 +3 位作者 胡致远 苏开明 李铁 杨卓青 《电子学报》 2025年第3期790-799,共10页
呼吸作为维持生命的关键生理过程,与呼吸暂停、哮喘等多种呼吸系统疾病密切相关.为了满足日益增长的健康监测需求,本文创新性地提出了一种集成柔性撑鼻器的双通路可穿戴MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)呼吸监测微系统.该微系统... 呼吸作为维持生命的关键生理过程,与呼吸暂停、哮喘等多种呼吸系统疾病密切相关.为了满足日益增长的健康监测需求,本文创新性地提出了一种集成柔性撑鼻器的双通路可穿戴MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)呼吸监测微系统.该微系统集成了柔性撑鼻器、呼吸传感器和信号处理模块,能够持续实时监测鼻腔内气流.传感器的敏感单元采用折叠式金属电阻结构,通过平面MEMS技术沉积在玻璃基底上,基于热阻效应,实现信号测量.传感器嵌入柔性撑鼻器后,可同时监测鼻腔内左右两侧的呼吸信号,尤其适合长时间连续监测.通过信号模拟及性能测试,结果表明该传感器在灵敏度、响应速度和抗干扰能力上表现出色,并且在模拟呼吸暂停和哮喘等疾病的测试中,传感器能够准确区分正常与异常的呼吸信号,可用于进一步分析各种呼吸疾病.基于此,本文开发了一种集成柔性撑鼻器的双通路可穿戴MEMS呼吸监测装置,旨在实现连续、实时且长时间的呼吸监测,特别适用于睡眠期间的异常呼吸筛查与健康监控.此外,该系统还能捕捉人体鼻周期的变化信息,为深入分析呼吸模式和生理节律提供了新的数据维度,展现了在长期健康管理中的潜在应用价值. 展开更多
关键词 呼吸监测 微机电系统 可穿戴设备 热阻效应 呼吸疾病 呼吸传感器
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