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AlN-SiC微波衰减材料的高频介电性能研究 被引量:2
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作者 杨艳玲 鲁燕萍 +3 位作者 杜斌 杨华猛 杨振涛 刘征 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2013年第1期60-64,共5页
分别采用SPS和无压烧结工艺制备了AlN-SiC微波衰减材料。采用网络分析仪及扫描电镜检测仪,研究了衰减材料在X波段和Ku波段的介电性能及微观结构。研究结果表明:SPS制备的样品相对密度达到98%,介电性能在X波段ε'为14.01~13.98,tgδ... 分别采用SPS和无压烧结工艺制备了AlN-SiC微波衰减材料。采用网络分析仪及扫描电镜检测仪,研究了衰减材料在X波段和Ku波段的介电性能及微观结构。研究结果表明:SPS制备的样品相对密度达到98%,介电性能在X波段ε'为14.01~13.98,tgδ为0.158~0.163,在Ku波段ε'为11.48~10.96,tgδ为0.18~0.17;采用无压烧结制备的样品密度仅为理论密度的95%,在X波段的ε'为26.97~24.26,tgδ为0.326~0.327。探讨了两种烧结方式制备样品的损耗机理。 展开更多
关键词 AlN—SiC微波衰减材料 损耗机理 SPS烧结
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