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刻蚀深度对GaN基微尺寸LED芯片RC特性的影响
被引量：
4
1
作者
杨倬波
黄华茂
+1 位作者
施伟
王洪
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第9期1297-1304,共8页
隔离槽的制作是实现阵列芯片单元独立的有效方法。本文采用感应耦合等离子体干法刻蚀(ICP)和具有高刻蚀比的Si O2与光刻胶混合掩膜在Ga N基微尺寸LED上制备了3种深度的隔离槽和6种不同的芯片尺寸结构。通过电致发光(EL)和电容计表征不...
隔离槽的制作是实现阵列芯片单元独立的有效方法。本文采用感应耦合等离子体干法刻蚀(ICP)和具有高刻蚀比的Si O2与光刻胶混合掩膜在Ga N基微尺寸LED上制备了3种深度的隔离槽和6种不同的芯片尺寸结构。通过电致发光(EL)和电容计表征不同刻蚀深度对LED芯片电学性能和电容大小的影响。实验结果表明,小尺寸的芯片有着更高的电流承受密度和更小的电容值,隔离槽刻蚀深度的增加能降低电容和电阻,从而使RC时间常数得到降低。有源层直径为120μm的芯片从仅有Mesa刻蚀到完全刻蚀到蓝宝石衬底,其RC调制带宽从155 MHz增大到176 MHz。减小芯片尺寸和完全刻蚀到蓝宝石衬底能有效减小芯片RC常数。这些工作将有助于Ga N基LED的未来设计和制造,以提高高频可见光通信的调制带宽和光功率。
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关键词
深刻蚀隔离槽
微尺寸LED芯片
电容
RC常数
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职称材料
激光诱导前向转移中传输过程对银浆薄膜均匀度影响研究
2
作者
陈炀
单译琳
+2 位作者
杨倬波
李海
张宪民
《机床与液压》
北大核心
2022年第7期12-16,共5页
激光诱导太阳能正面电极化过程中,银浆薄膜的运输方式和速度都会对最终形成的栅线形貌产生影响。为合理设计机械转运装置,针对规模印刷中直线运输和环形运输两种典型转运方式,建立简化的银浆薄膜有限元模型,并使其在一定加速度下运动,...
激光诱导太阳能正面电极化过程中,银浆薄膜的运输方式和速度都会对最终形成的栅线形貌产生影响。为合理设计机械转运装置,针对规模印刷中直线运输和环形运输两种典型转运方式,建立简化的银浆薄膜有限元模型,并使其在一定加速度下运动,探究银浆薄膜的自愈特性;在3种不同转运速度曲线下(线性加速,指数形加速,S形加速)对银浆薄膜均匀度进行仿真实验。结果表明:在相同的速度下,由于离心力的存在,环形运输方式所导致的均匀度变化比直线运输方式更严重;在直线运输中,最大速度较低时,薄膜在3种速度曲线下的变形程度相似;随着速度增大,薄膜在线性加速曲线下的变形最小,并且指数形加速和S形加速都出现了银浆溅出的情况。在印刷光伏硅片正面栅线时,对银浆薄膜进行线性加速下的直线运输能保持其较好均匀性。
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关键词
激光诱导前向转移
银浆薄膜
均匀度
加速曲线
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职称材料
题名
刻蚀深度对GaN基微尺寸LED芯片RC特性的影响
被引量：
4
1
作者
杨倬波
黄华茂
施伟
王洪
机构
华南理工大学电子与信息学院广东省光电工程技术研究开发中心
广州现代产业技术研究院
出处
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第9期1297-1304,共8页
基金
广东省应用型科技研发专项资金(2015B010127013
2016B010123004)
+8 种基金
广东省科技计划(2014B010119002
2017B010112003
2016A010103011
2017A050501006)
广州市科技计划(201504291502518
201604046021
2016100100 38)
中央高校基本科研业务费专项资金(2017PY019
2015ZM131)资助项目~~
文摘
隔离槽的制作是实现阵列芯片单元独立的有效方法。本文采用感应耦合等离子体干法刻蚀(ICP)和具有高刻蚀比的Si O2与光刻胶混合掩膜在Ga N基微尺寸LED上制备了3种深度的隔离槽和6种不同的芯片尺寸结构。通过电致发光(EL)和电容计表征不同刻蚀深度对LED芯片电学性能和电容大小的影响。实验结果表明,小尺寸的芯片有着更高的电流承受密度和更小的电容值,隔离槽刻蚀深度的增加能降低电容和电阻,从而使RC时间常数得到降低。有源层直径为120μm的芯片从仅有Mesa刻蚀到完全刻蚀到蓝宝石衬底,其RC调制带宽从155 MHz增大到176 MHz。减小芯片尺寸和完全刻蚀到蓝宝石衬底能有效减小芯片RC常数。这些工作将有助于Ga N基LED的未来设计和制造,以提高高频可见光通信的调制带宽和光功率。
关键词
深刻蚀隔离槽
微尺寸LED芯片
电容
RC常数
Keywords
deep etching isolation
micro-LED chip
capacitance
RC constant
分类号
TN303 [电子电信—物理电子学]
TN304 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
激光诱导前向转移中传输过程对银浆薄膜均匀度影响研究
2
作者
陈炀
单译琳
杨倬波
李海
张宪民
机构
华南理工大学广东省精密装备与制造技术重点实验室
出处
《机床与液压》
北大核心
2022年第7期12-16,共5页
文摘
激光诱导太阳能正面电极化过程中,银浆薄膜的运输方式和速度都会对最终形成的栅线形貌产生影响。为合理设计机械转运装置,针对规模印刷中直线运输和环形运输两种典型转运方式,建立简化的银浆薄膜有限元模型,并使其在一定加速度下运动,探究银浆薄膜的自愈特性;在3种不同转运速度曲线下(线性加速,指数形加速,S形加速)对银浆薄膜均匀度进行仿真实验。结果表明:在相同的速度下,由于离心力的存在,环形运输方式所导致的均匀度变化比直线运输方式更严重;在直线运输中,最大速度较低时,薄膜在3种速度曲线下的变形程度相似;随着速度增大,薄膜在线性加速曲线下的变形最小,并且指数形加速和S形加速都出现了银浆溅出的情况。在印刷光伏硅片正面栅线时,对银浆薄膜进行线性加速下的直线运输能保持其较好均匀性。
关键词
激光诱导前向转移
银浆薄膜
均匀度
加速曲线
Keywords
Laser induced forward transfer
Silver paste film
Uniformity
Acceleration curve
分类号
TS853.4 [轻工技术与工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
刻蚀深度对GaN基微尺寸LED芯片RC特性的影响
杨倬波
黄华茂
施伟
王洪
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018
4
在线阅读
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职称材料
2
激光诱导前向转移中传输过程对银浆薄膜均匀度影响研究
陈炀
单译琳
杨倬波
李海
张宪民
《机床与液压》
北大核心
2022
0
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职称材料
已选择
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