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短中波红外探测系统宽波段高透过率薄膜 被引量:5
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作者 付秀华 张功 +3 位作者 张静 刘冬梅 杨伟声 木锐 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2019年第10期205-210,共6页
短中波红外探测系统能够同时响应短波红外及中波红外两个波段,可以满足复杂探测环境的使用要求,在军用及民用方面获得了广泛应用。为提高红外探测器的精度,缩短响应时间,需要研制满足系统要求的宽波段高透过率薄膜。结合Baumesiter减反... 短中波红外探测系统能够同时响应短波红外及中波红外两个波段,可以满足复杂探测环境的使用要求,在军用及民用方面获得了广泛应用。为提高红外探测器的精度,缩短响应时间,需要研制满足系统要求的宽波段高透过率薄膜。结合Baumesiter减反射膜设计理论,对变尺度算法的评价函数进行了优化,建立了新型加权评价函数模型,在2.6~3.3μm的水吸收波段,根据模型设计了低敏感度高容差的膜系结构。并针对水吸收波段优化制备技术,研究了不同离子源辅助沉积参数对MgF2光谱特性的影响,同时采用阶梯性退火工艺,得到了一种有效降低水吸收的方法。最终所制备的薄膜在1.5~5μm波段范围内光谱透过率大于96.5%。 展开更多
关键词 光学薄膜 减反射膜 离子束辅助沉积 水吸收峰 红外探测
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碲镉汞红外焦平面器件表面复合膜层钝化技术 被引量:6
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作者 韩福忠 耿松 +4 位作者 史琪 袁授章 杨伟声 蒋俊 汤金春 《红外技术》 CSCD 北大核心 2015年第10期864-867,共4页
碲镉汞(Hg1-xCdxTe)红外器件的制备过程中,表面钝化工艺对于器件性能具有很大影响。通过实验,研究了溅射功率、靶基距、基片摆动角度等工艺参数对碲镉汞衬底上制备的CdTe/ZnS复合钝化膜层质量的影响。实验结果表明,当CdTe与ZnS溅射靶功... 碲镉汞(Hg1-xCdxTe)红外器件的制备过程中,表面钝化工艺对于器件性能具有很大影响。通过实验,研究了溅射功率、靶基距、基片摆动角度等工艺参数对碲镉汞衬底上制备的CdTe/ZnS复合钝化膜层质量的影响。实验结果表明,当CdTe与ZnS溅射靶功率分布为140 W与350 W,靶基距为40cm,基片摆动角度为±30°时,中心2英寸区域膜层非均匀性达到±3%以内,同时钝化膜层表面粗糙度与附着能力获得了较大改善。 展开更多
关键词 碲镉汞 红外探测器 表面钝化 膜层非均匀性
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Ge基底LaF3-ZnS-Ge高耐用中波红外增透膜 被引量:9
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作者 程海娟 于晓辉 +7 位作者 彭浪 普群雁 蔡毅 李茂忠 杨伟声 白玉琢 赵劲松 王岭雪 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2019年第11期251-257,共7页
研究了LaF3材料的蒸发特性及其在2.5~12μm红外波段的光学常数,并将LaF3晶体作为低折射率材料在Ge基底上制备了中波红外3.7~4.8μm波段高耐用性增透膜。SEM照片显示,基于LaF3材料的高耐用性增透膜表面纳米晶粒分布均匀致密,表面光洁度... 研究了LaF3材料的蒸发特性及其在2.5~12μm红外波段的光学常数,并将LaF3晶体作为低折射率材料在Ge基底上制备了中波红外3.7~4.8μm波段高耐用性增透膜。SEM照片显示,基于LaF3材料的高耐用性增透膜表面纳米晶粒分布均匀致密,表面光洁度高。利用傅里叶变换红外光谱仪测试了其光谱特性,在3.7~4.8μm波段,峰值透射率达到99.4%,双面镀膜平均透射率由47.7%提高到98.8%。牢固度、耐久性等环境试验结果显示,膜层在保持高的光学性能的同时还可以在较为严苛的恶劣环境中使用。 展开更多
关键词 LAF3 高耐用性 增透膜 中波红外
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LaF3作低折射率膜料制备Ge基底高性能长波红外增透膜 被引量:1
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作者 程海娟 杨伟声 +5 位作者 蔡毅 于晓辉 李汝劼 王柯 赵劲松 王岭雪 《红外技术》 CSCD 北大核心 2020年第8期758-762,共5页
为改善Ge基底红外长波增透膜的耐恶劣环境性,研究了LaF3晶体作为低折射率材料的膜系设计过程和制备工艺。通过优化膜系结构和分段制备LaF3层技术获得了高光学性能的多层增透膜。在8~12μm波段,峰值透过率达到98.3%,双面镀膜平均透过率从... 为改善Ge基底红外长波增透膜的耐恶劣环境性,研究了LaF3晶体作为低折射率材料的膜系设计过程和制备工艺。通过优化膜系结构和分段制备LaF3层技术获得了高光学性能的多层增透膜。在8~12μm波段,峰值透过率达到98.3%,双面镀膜平均透过率从48.4%提高到96.2%。力学性能、环境试验结果显示,基于LaF3材料的长波高效增透膜在保持高的光能量透过的同时还可以经受较为恶劣的环境测试。 展开更多
关键词 LAF3 长波红外 高性能增透膜
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硫化锌体材料制备及其光学性能研究进展 被引量:5
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作者 吴绍华 赵劲松 +6 位作者 赵跃进 杨伟声 姜杰 李茂忠 董汝昆 母婷婷 郑丽和 《红外技术》 CSCD 北大核心 2022年第5期453-461,共9页
多光谱波段透过型ZnS体材料在整流罩、红外透镜、红外窗口等领域具有广泛应用。本文全面梳理和总结了ZnS体材料制备技术的最新研究进展,包括热压技术、化学气相沉积+热等静压技术等。分析了不同制备方法对ZnS体材料光学性能的影响因素... 多光谱波段透过型ZnS体材料在整流罩、红外透镜、红外窗口等领域具有广泛应用。本文全面梳理和总结了ZnS体材料制备技术的最新研究进展,包括热压技术、化学气相沉积+热等静压技术等。分析了不同制备方法对ZnS体材料光学性能的影响因素。最后展望了ZnS体材料的未来发展方向。 展开更多
关键词 硫化锌体材料 红外光学窗口 热压法 化学气相沉积 热等静压
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