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Mg膜厚度对Mg_2Si半导体薄膜结构及方块电阻的影响
1
作者
杨云良
廖杨芳
+4 位作者
姚震震
肖清泉
张宝晖
章竞予
谢泉
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第7期525-530,共6页
采用射频磁控溅射系统和热处理系统制备了Mg2Si半导体薄膜。首先在Si衬底上溅射不同厚度的Mg膜,然后在真空退火炉中进行低真空热处理4 h制备一系列Mg2Si半导体薄膜。采用台阶仪、X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)对Mg2Si薄膜样品...
采用射频磁控溅射系统和热处理系统制备了Mg2Si半导体薄膜。首先在Si衬底上溅射不同厚度的Mg膜,然后在真空退火炉中进行低真空热处理4 h制备一系列Mg2Si半导体薄膜。采用台阶仪、X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)对Mg2Si薄膜样品的结构、表面形貌、剖面进行表征,研究了Mg膜厚度对Mg2Si半导体薄膜生成的影响。结果表明,在Si衬底上制备出以Mg2Si(220)为主的单一相Mg2Si薄膜,且Mg2Si(220)的衍射峰强度随着Mg膜厚度的增加先增大后减小,Mg膜为2.52μm时,制备的Mg2Si薄膜表现出了良好的结晶度和平整度。最后,研究了Mg膜厚度对Mg2Si薄膜方块电阻的影响。
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关键词
磁控溅射
热处理
Mg2Si薄膜
薄膜厚度
方块电阻
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职称材料
A1掺杂半导体Mg_2Si薄膜的制备及光学带隙研究
被引量:
5
2
作者
王善兰
廖杨芳
+4 位作者
房迪
吴宏仙
肖清泉
杨云良
谢泉
《量子电子学报》
CSCD
北大核心
2017年第5期635-640,共6页
用磁控溅射方法在Si衬底上制备了A1掺杂Mg_2Si薄膜,通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)和分光光度计研究了掺杂含量对Mg2Si薄膜组分、表面形貌、粗糙度及光学带隙值的影响。XRD结果表明随着A1掺杂量的增加,Mg2Si...
用磁控溅射方法在Si衬底上制备了A1掺杂Mg_2Si薄膜,通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)和分光光度计研究了掺杂含量对Mg2Si薄膜组分、表面形貌、粗糙度及光学带隙值的影响。XRD结果表明随着A1掺杂量的增加,Mg2Si衍射峰先增强后减弱。SEM及AFM的结果表明随掺杂量的增加,结晶度先增加后降低,晶粒尺寸减小,粗糙度先增加后降低.得到掺杂后薄膜间接跃迁带隙范围为0.423~0.495 eV,直接跃迁带隙范围为0.72~0.748 eV,掺杂前薄膜间接跃迁带隙和直接跃迁带隙分别为0.53 eV、0.833 eV.
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关键词
材料
MgzSi薄膜
A1掺杂
光学带隙
显微
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职称材料
关于换算系数(K)计算公式的讨论
3
作者
杨云良
《铀矿冶》
CAS
1996年第1期62-66,共5页
换算系数(K)的公式是否合理,直接影响出窿矿石铀含量的分析质量和矿石的分选质量。本文对换算系数(K)计算公式进行了讨论。
关键词
换算系数
计算公式
铀矿石
分选质量
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职称材料
复合桥面混凝土铺装质量控制
4
作者
杨云良
潘维新
《城市道桥与防洪》
2011年第9期209-210,222,共3页
该文列举复合桥面水泥混凝土铺装的质量通病,并分析原因,提出解决方案。
关键词
复合桥面
水泥混凝土铺装
铺装厚度
质量控制
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职称材料
地下室外墙单面模板支撑施工设计
5
作者
武长勇
杨云良
+2 位作者
孙志军
蔡志勇
李艳芳
《建筑施工》
2008年第9期814-814,816,共2页
在地下室中模板只能单面支撑时,介绍了外墙内侧单面模板支撑体系,既确保混凝土垂直度满足规范要求,又省工、省料,且不影响施工进度的施工方案。
关键词
地下室
单面支撑
模板支撑体系
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职称材料
题名
Mg膜厚度对Mg_2Si半导体薄膜结构及方块电阻的影响
1
作者
杨云良
廖杨芳
姚震震
肖清泉
张宝晖
章竞予
谢泉
机构
贵州大学大数据与信息工程学院新型光电子材料与技术研究所
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第7期525-530,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目(61264004)
贵州省科技攻关资助项目(黔科合GY字[2011]3015)
+9 种基金
贵州省科技创新人才团队建设专项资金资助项目(黔科合人才团队[2011]4002)
贵州省国际科技合作资助项目(黔科合外G字[2012]7004
[2013]7003)
贵州省教育厅"125"重大科技专项资助项目(黔教合重大专项字[2012]003)
贵阳市科技计划资助项目(筑科合同[2012101]2-16)
贵州省自然科学基金资助项目(黔科合J字[2014]2052)
贵州省青年英才培养工程资助项目(黔省专合字[2012]152)
贵州省科技厅
贵州大学联合资金资助项目(黔科合LH字[2014]7610)
贵州大学研究生创新基金资助项目(研理工2014004)
文摘
采用射频磁控溅射系统和热处理系统制备了Mg2Si半导体薄膜。首先在Si衬底上溅射不同厚度的Mg膜,然后在真空退火炉中进行低真空热处理4 h制备一系列Mg2Si半导体薄膜。采用台阶仪、X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)对Mg2Si薄膜样品的结构、表面形貌、剖面进行表征,研究了Mg膜厚度对Mg2Si半导体薄膜生成的影响。结果表明,在Si衬底上制备出以Mg2Si(220)为主的单一相Mg2Si薄膜,且Mg2Si(220)的衍射峰强度随着Mg膜厚度的增加先增大后减小,Mg膜为2.52μm时,制备的Mg2Si薄膜表现出了良好的结晶度和平整度。最后,研究了Mg膜厚度对Mg2Si薄膜方块电阻的影响。
关键词
磁控溅射
热处理
Mg2Si薄膜
薄膜厚度
方块电阻
Keywords
magnetron sputtering
heat treatment
Mg2Si film
film thickness
sheet resistance
分类号
TN304.055 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
A1掺杂半导体Mg_2Si薄膜的制备及光学带隙研究
被引量:
5
2
作者
王善兰
廖杨芳
房迪
吴宏仙
肖清泉
杨云良
谢泉
机构
贵州大学大数据与信息工程学院新型光电子材料与技术研究所
贵州师范大学物理与电子科学学院
出处
《量子电子学报》
CSCD
北大核心
2017年第5期635-640,共6页
基金
国家自然科学基金
61264004
+6 种基金
贵州省自然科学基金
[2014]2052
[2013]2209
贵州省国际科技合作项目
[2013]7003
贵州大学研究生创新基金
2016068~~
文摘
用磁控溅射方法在Si衬底上制备了A1掺杂Mg_2Si薄膜,通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)和分光光度计研究了掺杂含量对Mg2Si薄膜组分、表面形貌、粗糙度及光学带隙值的影响。XRD结果表明随着A1掺杂量的增加,Mg2Si衍射峰先增强后减弱。SEM及AFM的结果表明随掺杂量的增加,结晶度先增加后降低,晶粒尺寸减小,粗糙度先增加后降低.得到掺杂后薄膜间接跃迁带隙范围为0.423~0.495 eV,直接跃迁带隙范围为0.72~0.748 eV,掺杂前薄膜间接跃迁带隙和直接跃迁带隙分别为0.53 eV、0.833 eV.
关键词
材料
MgzSi薄膜
A1掺杂
光学带隙
显微
Keywords
materials
Mg2Si thin films
Al doping
optical band gap
microscopy
分类号
TB303 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
关于换算系数(K)计算公式的讨论
3
作者
杨云良
机构
核工业总公司七一九矿
出处
《铀矿冶》
CAS
1996年第1期62-66,共5页
文摘
换算系数(K)的公式是否合理,直接影响出窿矿石铀含量的分析质量和矿石的分选质量。本文对换算系数(K)计算公式进行了讨论。
关键词
换算系数
计算公式
铀矿石
分选质量
Keywords
Conversion coefficient Calculation formula
分类号
TD926.3 [矿业工程—选矿]
TD958 [矿业工程—选矿]
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职称材料
题名
复合桥面混凝土铺装质量控制
4
作者
杨云良
潘维新
机构
义乌市宏胜市政工程有限公司
出处
《城市道桥与防洪》
2011年第9期209-210,222,共3页
文摘
该文列举复合桥面水泥混凝土铺装的质量通病,并分析原因,提出解决方案。
关键词
复合桥面
水泥混凝土铺装
铺装厚度
质量控制
Keywords
compound deck,cement concrete pavement,pavement thickness,quality control
分类号
U443.33 [建筑科学—桥梁与隧道工程]
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职称材料
题名
地下室外墙单面模板支撑施工设计
5
作者
武长勇
杨云良
孙志军
蔡志勇
李艳芳
机构
浙江中成建工集团有限公司
出处
《建筑施工》
2008年第9期814-814,816,共2页
文摘
在地下室中模板只能单面支撑时,介绍了外墙内侧单面模板支撑体系,既确保混凝土垂直度满足规范要求,又省工、省料,且不影响施工进度的施工方案。
关键词
地下室
单面支撑
模板支撑体系
分类号
TU755.2 [建筑科学—建筑技术科学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
Mg膜厚度对Mg_2Si半导体薄膜结构及方块电阻的影响
杨云良
廖杨芳
姚震震
肖清泉
张宝晖
章竞予
谢泉
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2015
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
A1掺杂半导体Mg_2Si薄膜的制备及光学带隙研究
王善兰
廖杨芳
房迪
吴宏仙
肖清泉
杨云良
谢泉
《量子电子学报》
CSCD
北大核心
2017
5
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
关于换算系数(K)计算公式的讨论
杨云良
《铀矿冶》
CAS
1996
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
4
复合桥面混凝土铺装质量控制
杨云良
潘维新
《城市道桥与防洪》
2011
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
5
地下室外墙单面模板支撑施工设计
武长勇
杨云良
孙志军
蔡志勇
李艳芳
《建筑施工》
2008
0
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职称材料
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