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高功能材料—聚硅炔的研究现状
被引量:
1
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作者
李高全
陈德本
贺建业
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
1993年第5期385-390,共6页
本文综述了一类新型的高功能材料——聚硅炔的合成、结构、反应以及作为半导体、导电性SiC薄膜、光学波导器和光致抗蚀剂的应用的研究现状。
关键词
聚硅炔
半导体
SIC薄膜
光学波导器
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职称材料
聚硅烷——高分辨的光致抗蚀剂
被引量:
1
2
作者
李高全
陈德本
《高分子材料科学与工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1993年第3期3-6,共4页
概述了光致抗蚀剂在微电子工业中的作用,着重介绍了聚硅烷光致抗蚀剂的特点,以及聚硅烷紫外、深紫外、X射线。
关键词
聚硅烷
高分辨率
光致抗蚀剂
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职称材料
聚硅烷——类崭新的非线性光学材料
被引量:
8
3
作者
陈德本
李高全
周宗华
《化学研究与应用》
CAS
CSCD
1993年第2期8-14,共7页
本文重点介绍了聚硅烷这类崭新的非线性光学材料,评述了其优点、研究现状、影响其三阶非线性光学特性的因素以及未来的发展方向.
关键词
聚硅烷
非线性
光学材料
LB薄膜
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职称材料
题名
高功能材料—聚硅炔的研究现状
被引量:
1
1
作者
李高全
陈德本
贺建业
机构
四川大学化学系
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
1993年第5期385-390,共6页
文摘
本文综述了一类新型的高功能材料——聚硅炔的合成、结构、反应以及作为半导体、导电性SiC薄膜、光学波导器和光致抗蚀剂的应用的研究现状。
关键词
聚硅炔
半导体
SIC薄膜
光学波导器
Keywords
polysilyne
semiconductors
SiC thin film
optical waveguide
photoresists
分类号
TN304.5 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
聚硅烷——高分辨的光致抗蚀剂
被引量:
1
2
作者
李高全
陈德本
机构
四川大学化学系
出处
《高分子材料科学与工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1993年第3期3-6,共4页
基金
国家自然科学基金
文摘
概述了光致抗蚀剂在微电子工业中的作用,着重介绍了聚硅烷光致抗蚀剂的特点,以及聚硅烷紫外、深紫外、X射线。
关键词
聚硅烷
高分辨率
光致抗蚀剂
Keywords
polysilanes, high-resolution, photoresists, micro-processing technology, contrast enhancement layer (CEL).
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
聚硅烷——类崭新的非线性光学材料
被引量:
8
3
作者
陈德本
李高全
周宗华
机构
四川大学化学系
出处
《化学研究与应用》
CAS
CSCD
1993年第2期8-14,共7页
文摘
本文重点介绍了聚硅烷这类崭新的非线性光学材料,评述了其优点、研究现状、影响其三阶非线性光学特性的因素以及未来的发展方向.
关键词
聚硅烷
非线性
光学材料
LB薄膜
Keywords
Polysilane
Nonlinear optical material
Complex
LB thin film
分类号
TN204 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
高功能材料—聚硅炔的研究现状
李高全
陈德本
贺建业
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
1993
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
聚硅烷——高分辨的光致抗蚀剂
李高全
陈德本
《高分子材料科学与工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1993
1
在线阅读
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职称材料
3
聚硅烷——类崭新的非线性光学材料
陈德本
李高全
周宗华
《化学研究与应用》
CAS
CSCD
1993
8
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职称材料
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