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高功能材料—聚硅炔的研究现状 被引量:1
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作者 李高全 陈德本 贺建业 《功能材料》 EI CAS CSCD 1993年第5期385-390,共6页
本文综述了一类新型的高功能材料——聚硅炔的合成、结构、反应以及作为半导体、导电性SiC薄膜、光学波导器和光致抗蚀剂的应用的研究现状。
关键词 聚硅炔 半导体 SIC薄膜 光学波导器
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聚硅烷——高分辨的光致抗蚀剂 被引量:1
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作者 李高全 陈德本 《高分子材料科学与工程》 EI CAS CSCD 北大核心 1993年第3期3-6,共4页
概述了光致抗蚀剂在微电子工业中的作用,着重介绍了聚硅烷光致抗蚀剂的特点,以及聚硅烷紫外、深紫外、X射线。
关键词 聚硅烷 高分辨率 光致抗蚀剂
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聚硅烷——类崭新的非线性光学材料 被引量:8
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作者 陈德本 李高全 周宗华 《化学研究与应用》 CAS CSCD 1993年第2期8-14,共7页
本文重点介绍了聚硅烷这类崭新的非线性光学材料,评述了其优点、研究现状、影响其三阶非线性光学特性的因素以及未来的发展方向.
关键词 聚硅烷 非线性 光学材料 LB薄膜
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