TDR-70A型单晶炉的维护与常见故障分析 被引量：2

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作者 李留臣 杨润 《电子工业专用设备》 2003年第1期51-56,共6页

随着大规模集成电路和太阳能光伏电池的飞速发展,越来越多的TDR-70A型单晶炉投入了市场应用,为了充分发挥设备的能力,有必要对设备的维护及故障的排除有更深的了解,结合设备的结构特点阐述了TDR-70A型单晶炉的维护与常见故障分析,供大... 随着大规模集成电路和太阳能光伏电池的飞速发展,越来越多的TDR-70A型单晶炉投入了市场应用,为了充分发挥设备的能力,有必要对设备的维护及故障的排除有更深的了解,结合设备的结构特点阐述了TDR-70A型单晶炉的维护与常见故障分析,供大家参考。 展开更多

关键词 TDR-70A型 单晶炉 维护 人工晶体 故障维修 硅单晶生产设备

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人工晶体生长设备业机遇与挑战并存

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作者 李留臣 《现代电子技术》 2004年第23期i002-i002,共1页

西安理工大学晶体生长设备厂成立于1961年．主要生产人工晶体生长设备，在此领域拥有卓越声誉。

关键词 机遇与挑战 声誉 成立 生产 卓越 设备 西安理工大学 人工晶体 并存

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TDR(L)-J50型光学炉的维护与常见故障分析

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作者 李留臣 董淑梅 +1 位作者 高京慧 赵秦延 《电子工业专用设备》 2004年第3期82-84,共3页

本文介绍了TDR(L)-J50型光学晶体生长设备的结构原理、性能特点,重点介绍了其常见故障产生的原因及预处理方法。

关键词 TDR(L)—J50 光学炉 维护 故障检修 光学晶体 晶体生长

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TDR—80型单晶炉的研制

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作者 李留臣 耀飞黔 《电子工业专用设备》 1999年第4期25-27,共3页

介绍TDR—80 型单晶炉的设计思路及工作原理,并结合单晶炉的特殊工艺要求。

关键词 TDR-80型 半导体材料 单晶 单晶炉

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单晶炉真空炉室的设计

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作者 李留臣 《电子工业专用设备》 2000年第4期39-41,共3页

真空炉室是单晶炉的主要部件之一 ,硅单晶的生长工艺过程都是在真空炉室内进行的。着重介绍单晶炉真空炉室的结构设计及其制造工艺。

关键词 单晶炉 真空炉室 半导体材料 冶炼 硅单晶

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晶体生长设备的真空系统设计

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作者 李留臣 《电子工业专用设备》 2004年第6期51-53,共3页

阐述了降低真空系统漏气率的一些措施,包括真空系统设计中的结构设计、密封形式的选择、密封材质的选用等,提出了一种新型的静密封结构,提高了真空系统的密封性能。

关键词 真空 密封 漏气率 密封结构

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退火对Ni/3C-SiC欧姆接触的影响 被引量：1

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作者 蒲红斌 陈治明 +1 位作者 封先锋 李留臣 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2005年第1期52-55,共4页

采用溅射法在液相外延 3 C-Si C上制备 Ni电极 ,并利用圆形传输线法研究了退火温度对欧姆接触特性的影响 ,实验表明对于 Ni/n-Si C金半接触 ,经过 80 0～ 1 0 0 0°C高温退火 5分钟后 ,肖特基整流特性退化为欧姆接触 ,表现出良好的... 采用溅射法在液相外延 3 C-Si C上制备 Ni电极 ,并利用圆形传输线法研究了退火温度对欧姆接触特性的影响 ,实验表明对于 Ni/n-Si C金半接触 ,经过 80 0～ 1 0 0 0°C高温退火 5分钟后 ,肖特基整流特性退化为欧姆接触 ,表现出良好的欧姆接触特性 ,且随退火温度的提高 ,接触电阻进一步下降 ,1 0 0 0°C退火后 ,可获得最低的接触电阻为 5 .0× 1 0 - 5Ω· cm2。 展开更多

关键词 圆形传输线法 欧姆接触 接触电阻率

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TDR-70型单晶炉的研制 被引量：6

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作者 杨润 李留臣 《电子工业专用设备》 2001年第2期45-48,共4页

介绍了TDR - 70型单晶炉的性能参数及工作原理 ,结合拉制单晶的特殊工艺要求 ,分析了其主要结构及特点。

关键词 单晶炉 结构 磁流体密封 翻板阀 TDR-70型 单晶控制

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国产太阳能硅单晶生长设备的应用研究 被引量：2

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作者 杨润 李留臣 《电子工业专用设备》 2003年第4期53-55,共3页

介绍了TDR-70型单晶炉的设计特点,及在太阳能光伏电池生产中的应用。

关键词 单晶炉 单晶硅 太阳能光伏电池

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单晶炉上应用磁流体动密封技术的研制

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作者 石建兴 李留臣 杨润 《电子工业专用设备》 1999年第4期28-31,共4页

介绍应用磁流体密封原理设计密封装置,指出制造过程中应注意的问题。

关键词 单晶炉 磁流体 密封

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我国硅单晶生长设备的现状与发展 被引量：2

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作者 李留臣 冯 《电子工业专用设备》 2007年第3期5-7,13,共4页

在世界太阳能光伏发电产业发展的带动下,我国的太阳能光伏发电产业得到了高速度的发展,相关支撑业的市场迅速扩大,在整个产业链中,作为太阳能电池材料制备的关键设备-硅单晶生长设备发挥了至关重要的作用。对于太阳能光伏发电产业的持... 在世界太阳能光伏发电产业发展的带动下,我国的太阳能光伏发电产业得到了高速度的发展,相关支撑业的市场迅速扩大,在整个产业链中,作为太阳能电池材料制备的关键设备-硅单晶生长设备发挥了至关重要的作用。对于太阳能光伏发电产业的持续发展,硅单晶生长设备仍将要发挥重要的作用。 展开更多

关键词 硅单晶生长设备 单晶炉 太阳能电池 光伏发电

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单晶炉设计之我见 被引量：2

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作者 李留臣 《电子工业专用设备》 2008年第3期20-23,共4页

硅单晶生长设备——单晶炉是一种高技术含量的电子专用设备,由于太阳能光伏产业的飞速发展,设备的需求量不断扩大,对设备的性能要求更高,进行设备开发设计时不但要了解硅单晶生长的工艺要求,还要掌握机械、电子、计算机、真空、热动力... 硅单晶生长设备——单晶炉是一种高技术含量的电子专用设备,由于太阳能光伏产业的飞速发展,设备的需求量不断扩大,对设备的性能要求更高,进行设备开发设计时不但要了解硅单晶生长的工艺要求,还要掌握机械、电子、计算机、真空、热动力学等方面的专业知识,只有将相关先进技术有机地集成在一起,才能够形成先进合理、可靠实用的单晶炉设备。 展开更多

关键词 单晶炉 晶体生长设备 真空

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DRF-J45型镓单晶炉的开发与设计

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作者 袁长路 李伯军 +1 位作者 李杰 李留臣 《电子工业专用设备》 2012年第7期40-43,共4页

当前镓提纯方法大部分采用电解法,电解法生产出的镓晶体纯度不高,常常形成个别杂质元素超标。为了提高其晶体纯度,需采用晶体提拉法来进一步弥补并提升镓晶体提纯工艺方法。从分析镓单晶炉生长的工艺特点出发,简要介绍镓单晶生长设备的... 当前镓提纯方法大部分采用电解法,电解法生产出的镓晶体纯度不高,常常形成个别杂质元素超标。为了提高其晶体纯度,需采用晶体提拉法来进一步弥补并提升镓晶体提纯工艺方法。从分析镓单晶炉生长的工艺特点出发,简要介绍镓单晶生长设备的设计思想以及新近开发设计的新型镓单晶炉的机械结构及电气控制系统。 展开更多

关键词 镓单晶炉 工艺特点 轴冷系统 机械结构 电气控制

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