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DC磁控溅射制备的TiN_x薄膜组分及性能分析
1
作者
李海翼
赖珍荃
+1 位作者
朱秀榕
胡敏
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第4期245-247,共3页
利用DC磁控溅射法在p-Si(111)衬底上制备了TiNx薄膜.利用X射线能谱仪(EDX)、X射线衍射(XRD)、紫外/可见分光光度计、四探针电阻率测试仪等分析了薄膜的组分、结构和光电特性.结果表明,薄膜中N/Ti原子比接近于1;衬底温度对薄膜的择优取...
利用DC磁控溅射法在p-Si(111)衬底上制备了TiNx薄膜.利用X射线能谱仪(EDX)、X射线衍射(XRD)、紫外/可见分光光度计、四探针电阻率测试仪等分析了薄膜的组分、结构和光电特性.结果表明,薄膜中N/Ti原子比接近于1;衬底温度对薄膜的择优取向影响显著,240℃附近是TiNx薄膜结晶择优取向由(111)向(200)转变的临界点;薄膜在近红外波段平均反射率随衬底温度的升高,先增大后减小;薄膜的电阻率随着衬底温度的升高而显著降低.
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关键词
氮化钛薄膜
磁控溅射
反射率
电阻率
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职称材料
光谱仪CCD数据采集中SoPC系统设计及USB2.0 IP核的实现
被引量:
4
2
作者
席忠红
李海翼
《电子器件》
CAS
2011年第6期700-704,共5页
提出针对光谱仪器的CCD数据采集SoPC系统,采用并行A/D及异步FIFO转换和缓冲数据。利用Verilog HDL硬件描述语言编写驱动模块,把CCD、A/D和FIFO输入的驱动控制集成与一体,得到严格的时序保证;建立Avalon StreamingSource接口部件,为FIFO...
提出针对光谱仪器的CCD数据采集SoPC系统,采用并行A/D及异步FIFO转换和缓冲数据。利用Verilog HDL硬件描述语言编写驱动模块,把CCD、A/D和FIFO输入的驱动控制集成与一体,得到严格的时序保证;建立Avalon StreamingSource接口部件,为FIFO输入提供流数据;调用SLS USB20HR软核实现USB2.0接口;实现NIOSⅡ数据采集软件设计、编译和调试。
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关键词
CCD
FPGA
SOPC
NIOS
Ⅱ
IP核
USB2.0
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职称材料
用辅助常微分方程求解复合KdV方程的行波解(英文)
3
作者
席忠红
李海翼
《应用数学》
CSCD
北大核心
2013年第4期876-880,共5页
利用辅助常微分方程得到复合KdV方程的精确行波解.辅助常微分方程法的核心思路是:部分复杂非线性波动方程的行波解可以通过求解一些简单的、可解的微分方程——辅助常微分方程的方法得到解决.
关键词
复合KdV方程
非线性偏微分方程
辅助微分方程
行波解
非线性微分方程
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职称材料
氮气含量对硅基AlN薄膜结构及性能的影响
4
作者
刘永智
李海翼
《物理实验》
2012年第2期10-13,共4页
研究了直流磁控溅射法沉积AlN薄膜过程中氮气含量对AlN薄膜结构及性能的影响.实验结果表明:当真空腔的氩气含量较低时,薄膜呈非晶态,在红外波段的傅里叶变换光谱中没有明显的吸收峰,当氮气流量为75%时薄膜中出现明显的六方AlN(100)和AlN...
研究了直流磁控溅射法沉积AlN薄膜过程中氮气含量对AlN薄膜结构及性能的影响.实验结果表明:当真空腔的氩气含量较低时,薄膜呈非晶态,在红外波段的傅里叶变换光谱中没有明显的吸收峰,当氮气流量为75%时薄膜中出现明显的六方AlN(100)和AlN(110)衍射峰,在波数为670~700cm-1处有强烈的吸收峰;增加氮气含量,薄膜又呈现出非晶状态.薄膜的表面粗糙度和颗粒大小都随氮气含量的增加先增大后减小..
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关键词
ALN薄膜
氮气含量
直流磁控溅射
非晶态
吸收
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职称材料
题名
DC磁控溅射制备的TiN_x薄膜组分及性能分析
1
作者
李海翼
赖珍荃
朱秀榕
胡敏
机构
南昌大学物理系
出处
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第4期245-247,共3页
基金
国家自然科学基金资助(No.50730007)
同济大学波与材料微结构重点实验室开放基金资助(No.200602)
文摘
利用DC磁控溅射法在p-Si(111)衬底上制备了TiNx薄膜.利用X射线能谱仪(EDX)、X射线衍射(XRD)、紫外/可见分光光度计、四探针电阻率测试仪等分析了薄膜的组分、结构和光电特性.结果表明,薄膜中N/Ti原子比接近于1;衬底温度对薄膜的择优取向影响显著,240℃附近是TiNx薄膜结晶择优取向由(111)向(200)转变的临界点;薄膜在近红外波段平均反射率随衬底温度的升高,先增大后减小;薄膜的电阻率随着衬底温度的升高而显著降低.
关键词
氮化钛薄膜
磁控溅射
反射率
电阻率
Keywords
TiN thin films
magnetron sputtering
reflectance
resistivity
分类号
O469 [理学—凝聚态物理]
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职称材料
题名
光谱仪CCD数据采集中SoPC系统设计及USB2.0 IP核的实现
被引量:
4
2
作者
席忠红
李海翼
机构
甘肃民族师范学院物理与水电工程系
出处
《电子器件》
CAS
2011年第6期700-704,共5页
文摘
提出针对光谱仪器的CCD数据采集SoPC系统,采用并行A/D及异步FIFO转换和缓冲数据。利用Verilog HDL硬件描述语言编写驱动模块,把CCD、A/D和FIFO输入的驱动控制集成与一体,得到严格的时序保证;建立Avalon StreamingSource接口部件,为FIFO输入提供流数据;调用SLS USB20HR软核实现USB2.0接口;实现NIOSⅡ数据采集软件设计、编译和调试。
关键词
CCD
FPGA
SOPC
NIOS
Ⅱ
IP核
USB2.0
Keywords
CCD
FPGA
SoPC
NIOSⅡ
IP core
USB2.0
分类号
O436 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
用辅助常微分方程求解复合KdV方程的行波解(英文)
3
作者
席忠红
李海翼
机构
甘肃民族师范学院物理与水电工程系
出处
《应用数学》
CSCD
北大核心
2013年第4期876-880,共5页
基金
Supported by the Foundation of President of Gansu Normal University for Nationalities (12-17)
文摘
利用辅助常微分方程得到复合KdV方程的精确行波解.辅助常微分方程法的核心思路是:部分复杂非线性波动方程的行波解可以通过求解一些简单的、可解的微分方程——辅助常微分方程的方法得到解决.
关键词
复合KdV方程
非线性偏微分方程
辅助微分方程
行波解
非线性微分方程
Keywords
Compound KdV equation Nonlinear ordinary differential equation Sub ODE method
Travelling wave solution ~ Nonlinear partial differential equation
分类号
O411.1 [理学—理论物理]
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职称材料
题名
氮气含量对硅基AlN薄膜结构及性能的影响
4
作者
刘永智
李海翼
机构
甘肃民族师范学院物理与水电工程系
出处
《物理实验》
2012年第2期10-13,共4页
文摘
研究了直流磁控溅射法沉积AlN薄膜过程中氮气含量对AlN薄膜结构及性能的影响.实验结果表明:当真空腔的氩气含量较低时,薄膜呈非晶态,在红外波段的傅里叶变换光谱中没有明显的吸收峰,当氮气流量为75%时薄膜中出现明显的六方AlN(100)和AlN(110)衍射峰,在波数为670~700cm-1处有强烈的吸收峰;增加氮气含量,薄膜又呈现出非晶状态.薄膜的表面粗糙度和颗粒大小都随氮气含量的增加先增大后减小..
关键词
ALN薄膜
氮气含量
直流磁控溅射
非晶态
吸收
Keywords
AIN thin film Nz pressure DC magnetron reactive sputtering amorphous absorp-tion
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
DC磁控溅射制备的TiN_x薄膜组分及性能分析
李海翼
赖珍荃
朱秀榕
胡敏
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
光谱仪CCD数据采集中SoPC系统设计及USB2.0 IP核的实现
席忠红
李海翼
《电子器件》
CAS
2011
4
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
用辅助常微分方程求解复合KdV方程的行波解(英文)
席忠红
李海翼
《应用数学》
CSCD
北大核心
2013
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
4
氮气含量对硅基AlN薄膜结构及性能的影响
刘永智
李海翼
《物理实验》
2012
0
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职称材料
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