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DC磁控溅射制备的TiN_x薄膜组分及性能分析
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作者 李海翼 赖珍荃 +1 位作者 朱秀榕 胡敏 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第4期245-247,共3页
利用DC磁控溅射法在p-Si(111)衬底上制备了TiNx薄膜.利用X射线能谱仪(EDX)、X射线衍射(XRD)、紫外/可见分光光度计、四探针电阻率测试仪等分析了薄膜的组分、结构和光电特性.结果表明,薄膜中N/Ti原子比接近于1;衬底温度对薄膜的择优取... 利用DC磁控溅射法在p-Si(111)衬底上制备了TiNx薄膜.利用X射线能谱仪(EDX)、X射线衍射(XRD)、紫外/可见分光光度计、四探针电阻率测试仪等分析了薄膜的组分、结构和光电特性.结果表明,薄膜中N/Ti原子比接近于1;衬底温度对薄膜的择优取向影响显著,240℃附近是TiNx薄膜结晶择优取向由(111)向(200)转变的临界点;薄膜在近红外波段平均反射率随衬底温度的升高,先增大后减小;薄膜的电阻率随着衬底温度的升高而显著降低. 展开更多
关键词 氮化钛薄膜 磁控溅射 反射率 电阻率
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光谱仪CCD数据采集中SoPC系统设计及USB2.0 IP核的实现 被引量:4
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作者 席忠红 李海翼 《电子器件》 CAS 2011年第6期700-704,共5页
提出针对光谱仪器的CCD数据采集SoPC系统,采用并行A/D及异步FIFO转换和缓冲数据。利用Verilog HDL硬件描述语言编写驱动模块,把CCD、A/D和FIFO输入的驱动控制集成与一体,得到严格的时序保证;建立Avalon StreamingSource接口部件,为FIFO... 提出针对光谱仪器的CCD数据采集SoPC系统,采用并行A/D及异步FIFO转换和缓冲数据。利用Verilog HDL硬件描述语言编写驱动模块,把CCD、A/D和FIFO输入的驱动控制集成与一体,得到严格的时序保证;建立Avalon StreamingSource接口部件,为FIFO输入提供流数据;调用SLS USB20HR软核实现USB2.0接口;实现NIOSⅡ数据采集软件设计、编译和调试。 展开更多
关键词 CCD FPGA SOPC NIOS IP核 USB2.0
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用辅助常微分方程求解复合KdV方程的行波解(英文)
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作者 席忠红 李海翼 《应用数学》 CSCD 北大核心 2013年第4期876-880,共5页
利用辅助常微分方程得到复合KdV方程的精确行波解.辅助常微分方程法的核心思路是:部分复杂非线性波动方程的行波解可以通过求解一些简单的、可解的微分方程——辅助常微分方程的方法得到解决.
关键词 复合KdV方程 非线性偏微分方程 辅助微分方程 行波解 非线性微分方程
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氮气含量对硅基AlN薄膜结构及性能的影响
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作者 刘永智 李海翼 《物理实验》 2012年第2期10-13,共4页
研究了直流磁控溅射法沉积AlN薄膜过程中氮气含量对AlN薄膜结构及性能的影响.实验结果表明:当真空腔的氩气含量较低时,薄膜呈非晶态,在红外波段的傅里叶变换光谱中没有明显的吸收峰,当氮气流量为75%时薄膜中出现明显的六方AlN(100)和AlN... 研究了直流磁控溅射法沉积AlN薄膜过程中氮气含量对AlN薄膜结构及性能的影响.实验结果表明:当真空腔的氩气含量较低时,薄膜呈非晶态,在红外波段的傅里叶变换光谱中没有明显的吸收峰,当氮气流量为75%时薄膜中出现明显的六方AlN(100)和AlN(110)衍射峰,在波数为670~700cm-1处有强烈的吸收峰;增加氮气含量,薄膜又呈现出非晶状态.薄膜的表面粗糙度和颗粒大小都随氮气含量的增加先增大后减小.. 展开更多
关键词 ALN薄膜 氮气含量 直流磁控溅射 非晶态 吸收
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