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题名一种高灵敏度低噪声硅微谐振式加速度计
被引量：9
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作者
邹旭东
熊兴崟
汪政
王坤锋
杨伍昊
李志天
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机构
传感技术国家重点实验室
齐鲁空天信息研究院
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出处
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
北大核心
2021年第3期281-287,共7页
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基金
国家重点研发计划(2018YFB2002300)
中国科学院前沿科学重点研究计划(ZDBS-LY-JSC028)。
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文摘
MEMS加速度计经过近四十年的发展,是目前产业化最为成功、应用最为广泛的MEMS器件之一。以硅微机械谐振器作为敏感元件的谐振式MEMS加速度计因具有检测精度高、线性度好、量程大、抗环境噪声能力强等优点,成为新一代高性能MEMS加速度计的重要发展方向。针对微小型无人平台的长时惯性导航、姿态测量等需求,设计了一种具有增敏结构的硅微谐振式加速度计,通过改进微杠杆转轴与惯性质量块支撑梁的几何形状并利用有限元仿真方法进行参数优化,在不增加芯片面积的前提下有效提升了器件灵敏度。器件设计量程±50 g,采用集成圆片级真空封装的SOI-MEMS工艺制造并配套设计了基于0.35 mm工艺的接口ASIC电路用于实现加速度计的闭环工作。所研制的原理样机测试表明,加速度计敏感谐振器品质因数为29300,灵敏度630.81 Hz/g,噪声≤1.7μg/√Hz,零偏不稳定性(Allan方差)≤2.3μg。
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关键词
MEMS加速度计
谐振式加速度计
圆片级真空封装
低噪声加速度计
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Keywords
MEMS accelerometer
resonant accelerometer
wafer-level vacuum package
low noise accelerometer
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分类号
U666.1
[交通运输工程—船舶及航道工程]
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题名基于载波双向频率传递的时钟同步系统
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作者
王媖姿
闫冰
李志天
邹旭东
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机构
中国科学院空天信息创新研究院传感技术国家重点实验室
中国科学院大学电子电气与通信工程学院
齐鲁空天信息研究院
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出处
《微电子学与计算机》
2022年第8期97-106,共10页
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基金
国家自然科学基金项目(61971399)
中国科学院前沿科学重点研究项目(ZDBS-LY-JSC028)。
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文摘
随着无线传感网络和技术的快速发展,高精度无线时频同步技术在分布式系统协同工作中的需求愈加迫切.针对卫星拒止条件下,视距范围分布式网络内高精度无线时频同步需求,本文提出了一种基于载波双向频率传递的时钟同步系统方案,该方案创新地通过部署全双工双向时频同步协议的方式,经由毫米波信道实现时频信息互传,并引入Xilinx MMCM IP动态移相功能核心对时频信号进行相位控制,实现频差测控以及动态调相,有效地提高了时频同步架构的调相性能,最终实现一套完整的亚纳秒级超高精度无线时频同步方案.文中对整个系统的技术架构、射频前端、无线信道传输以及抗干扰能力进行了建模与仿真,验证了整个技术方案的有效性以及最优的调相精度;同时本文还使用60 GHz射频前端及Xilinx 7系列FPGA完成了原理样机设计,实验结果表明,该时频同步系统能够为节点间提供高至322.2 ps同步精度的无线时频互校准服务,从而实现频率同步与相位对齐,支持各项分布式协同工作的开展.与传统的无线同步方法相比,本方案精度高,受无线信道的影响小,抗干扰能力强,易于扩展到高动态等复杂环境,更适合无线分布式网络.
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关键词
无线时频同步
载波
MMCM
动态调相
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Keywords
wireless time-frequency synchronization
carrier
MMCM
dynamic phase shift
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分类号
TN92
[电子电信—通信与信息系统]
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