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14种市售麻椒鸡的品质及风味分析
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作者 刘聪 刘欣 +3 位作者 王鹏 徐幸莲 王寅 李建超 《食品工业科技》 CAS 北大核心 2025年第1期302-316,共15页
为明确麻椒鸡产品的品质特性及风味特征,本研究以14种不同品牌的市售麻椒鸡(以A~N字母表示)作为研究对象,测定了其色泽、质构、剪切力、电子鼻、挥发性风味物质和电子舌,并结合感官评价进一步探究感官评价指标与仪器分析指标之间的相关... 为明确麻椒鸡产品的品质特性及风味特征,本研究以14种不同品牌的市售麻椒鸡(以A~N字母表示)作为研究对象,测定了其色泽、质构、剪切力、电子鼻、挥发性风味物质和电子舌,并结合感官评价进一步探究感官评价指标与仪器分析指标之间的相关性。结果表明:14种麻椒鸡鸡胸的硬度范围为1742.81~4587.54 g,剪切力范围为14.41~35.07 N;鸡腿的硬度范围为797.09~3389.61 g,剪切力范围为7.70~26.34 N。电子鼻评价结果显示,14种麻椒鸡的主要挥发性气味成分为氮氧化合物、无机硫化物、有机硫化物和短链烷烃。气相色谱-离子迁移谱(GCIMS)显示,麻椒鸡风味的形成是鸡肉本身带有的香气和香辛料赋予香气整体协调的结果,14种麻椒鸡中共鉴定出77种挥发性化合物,结合正交偏最小二乘判别分析(OPLS-DA)发现,丁醛、芳樟醇、α-蒎烯、丙烯酸乙酯、α-松油醇、2-庚酮、1-辛烯-3-醇等26种物质为麻椒鸡产品的特征风味物质。电子舌评价结果显示,鲜味和咸味对麻椒鸡的滋味贡献较突出。相关性分析结果表明,感官评价中的总体喜爱度与丁醛、芳樟醇、α-蒎烯、丙烯酸乙酯、α-松油醇、2-庚酮、1-辛烯-3-醇、W5S、W1W、W2W、W1S、咸味、L^(*)和b^(*)值等指标呈现极显著正相关(P<0.01)。本研究可以为麻椒鸡产品风味品质的研究与调控、原辅料的选择、麻椒鸡产品工业化水平的提升提供参考。 展开更多
关键词 麻椒鸡 风味特征 气相色谱-离子迁移谱 品质特性 相关性
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基于多频鱼探仪的黑潮延伸体锋面区域声散射层分布模式及其指示意义研究
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作者 王海玲 李建超 +3 位作者 聂凌云 陈朝晖 张洪海 田永军 《海洋渔业》 北大核心 2025年第2期292-309,共18页
黑潮延伸体锋面(Kuroshio extension front,KEF)海流环境复杂,初级生产力水平较高,是重要的海洋生态研究区域。为分析KEF与海洋生物、碎屑颗粒的生物物理相互作用,结合遥感数据、站位调查和多频鱼探仪走航调查,分析了4次穿越KEF南北两... 黑潮延伸体锋面(Kuroshio extension front,KEF)海流环境复杂,初级生产力水平较高,是重要的海洋生态研究区域。为分析KEF与海洋生物、碎屑颗粒的生物物理相互作用,结合遥感数据、站位调查和多频鱼探仪走航调查,分析了4次穿越KEF南北两侧多频散射层的垂向变化特征,以及其指示的生物、碎屑颗粒、水体结构特征。结果显示,KEF附近的声散射层主要存在3层结构,分别是上层(0~200 m)、中层(300~500 m)、深层(400~800 m)。其中,中层散射层在锋面处呈现出明显的断层特征,南侧的散射层强度显著高于北侧,分布深度相对较深,表明锋面两侧的生物和碎屑颗粒分布与组成存在明显区别。38 kHz声散射层斜率比18 kHz更大,表明KEF对中层生物与碎屑颗粒的影响存在不同。同时,研究构建并验证了利用典型声散射层深度与海水密度的显著回归关系。声学调查技术在高效、高精度地反映海洋生态系统复杂过程方面具有重要应用前景,可为海洋生态环境研究提供新的视角。 展开更多
关键词 声散射层 黑潮延伸体锋面 中层鱼 碎屑颗粒 多频分析
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大方坯连铸跨结晶器电磁搅拌的数值模拟 被引量:14
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作者 李建超 崔建忠 +1 位作者 王宝峰 麻永林 《东北大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期497-500,共4页
借助有限元分析软件ANSYS,在电流为600A,频率为2Hz条件下,对大方坯跨结晶器电磁搅拌进行了数值分析·实验结果和模拟结果对比表明,试验结果和数值模拟结果基本相符·重点分析了不同的电流和频率下,铸坯中心磁场强度和节点电磁... 借助有限元分析软件ANSYS,在电流为600A,频率为2Hz条件下,对大方坯跨结晶器电磁搅拌进行了数值分析·实验结果和模拟结果对比表明,试验结果和数值模拟结果基本相符·重点分析了不同的电流和频率下,铸坯中心磁场强度和节点电磁力的变化规律,结果表明:铸坯中心磁场强度、节点电磁力随电流增大而增加,也随频率增加而增加,在8Hz时达到最大值· 展开更多
关键词 数值模拟 结晶器 电磁搅拌(M-EMS) 大方坯
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腹腔镜全子宫切除术60例疗效观察 被引量:6
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作者 李建超 吕秀萍 +2 位作者 刘玉珍 封硕 刘华 《山东医药》 CAS 北大核心 2009年第15期116-116,共1页
关键词 腹腔镜全子宫切除术 疗效观察 宫颈细胞学检查 子宫肌瘤 子宫内膜癌 生育妇女 CIN 对照组
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可调节缝线在持续高眼压状态下原发性闭角型青光眼手术中的应用 被引量:13
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作者 李建超 邝国平 +2 位作者 武正清 谭湘莲 刘娉 《眼科新进展》 CAS 2008年第2期141-142,144,共3页
目的研究可调节缝线在原发性闭角型青光眼持续高眼压状态下小梁切除术中应用的临床效果。方法将眼压控制不良的原发性闭角型青光眼患者随机分为治疗组和对照组,分别行可调节缝线联合小梁切除术和单纯小梁切除术,并进行临床疗效观察。结... 目的研究可调节缝线在原发性闭角型青光眼持续高眼压状态下小梁切除术中应用的临床效果。方法将眼压控制不良的原发性闭角型青光眼患者随机分为治疗组和对照组,分别行可调节缝线联合小梁切除术和单纯小梁切除术,并进行临床疗效观察。结果2组术后1个月视力改善无显著性差异;术后2周内眼压控制有显著性差异,治疗组眼压波动相对平稳,术后3个月时2组眼压变化无显著性差异;治疗组术后浅前房、脉络膜脱离、黄斑水肿等并发症明显低于对照组,术后3个月2组滤过泡比较无明显差异。结论持续性高眼压状态下行可调节缝线联合小梁切除术能更好的控制患者术后眼压,减少术后浅前房、黄斑水肿及脉络膜脱离等并发症的发生。 展开更多
关键词 小梁切除术 可调节缝线 原发性闭角型青光眼 高眼压
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低倍镜补偿景深超声乳化手术和小切口白内障手术对比观察 被引量:6
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作者 李建超 彭清华 +3 位作者 谭涵宇 王运 谢文军 文小娟 《国际眼科杂志》 CAS 2016年第1期84-86,共3页
目的:观察低倍镜补偿景深下超声乳化白内障摘除术和小切口白内障囊外摘除术的临床疗效。方法:回顾性分析869例1258眼白内障患者手术治疗的情况,其中采用超声乳化白内障摘除手术者共计247例432眼;采用小切口白内障摘除术者共计622例826眼... 目的:观察低倍镜补偿景深下超声乳化白内障摘除术和小切口白内障囊外摘除术的临床疗效。方法:回顾性分析869例1258眼白内障患者手术治疗的情况,其中采用超声乳化白内障摘除手术者共计247例432眼;采用小切口白内障摘除术者共计622例826眼,对患者的术后视力、角膜内皮计数、角膜水肿情况及并发症进行统计学分析。结果:两组患者术后1wk,1mo视力恢复情况和术后1d角膜水肿情况无统计学差异(P>0.05);角膜内皮计数损失小切口白内障摘除手术组较超声乳化白内障摘除组略好(P<0.05)。结论:基层医院手术显微镜景深不够清晰的情况下,仍可采用低倍镜补偿景深开展小切口白内障囊外摘除术和超声乳化白内障摘除术。 展开更多
关键词 小切口白内障囊外摘除术 白内障超声乳化术 白内障
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(CS)AMT法在深埋长隧洞勘察中的应用效果评价
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作者 李刚 李建超 《水利水电工程设计》 2025年第2期54-57,共4页
新疆一项跨流域调水工程全长40余千米,最大埋深超过2200 m,属深埋长隧洞。工作区内山区最高海拔超过4500 m,高差大,切割严重,自然条件险恶,勘察工作条件恶劣,不利于钻探、洞探等勘探手段开展。(可控源)音频大地电磁法(以下称(CS)AMT法)... 新疆一项跨流域调水工程全长40余千米,最大埋深超过2200 m,属深埋长隧洞。工作区内山区最高海拔超过4500 m,高差大,切割严重,自然条件险恶,勘察工作条件恶劣,不利于钻探、洞探等勘探手段开展。(可控源)音频大地电磁法(以下称(CS)AMT法)具有探测深度大、受地形影响较小、对低阻分辨率高、适用性较强等优点,在工程、资源等勘察领域得到了广泛的应用。本工程隧洞Ⅳ标段主洞段自2015年开始开展(CS)AMT法探测工作,经不断调整、优化,于2018年结束相关探测工作,累计探测10.98 km,依据探测成果对洞身附近不良地质体及围岩类别做出了推测。截止2022年11月,已完成7.85 km的开挖工作。现将已开挖洞段的实际地质状况与(CS)AMT法成果进行对比评价,得出(CS)AMT法探测准确率,并分析了影响(CS)AMT法电阻率变化的相关因素。 展开更多
关键词 深埋长隧洞 (CS)AMT法 不良地质体 围岩类别 对比评价
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浅谈挂网喷播技术在露天矿山边坡治理中的应用
8
作者 张斌 李建超 《新疆有色金属》 2025年第1期63-64,共2页
河北钢铁集团滦县司家营铁矿有限公司在采矿场边坡治理中,采用了挂网喷播技术进行治理,这一技术的应用,实现了露天采矿场高陡边坡的有效治理和矿区边坡的快速绿化,完成了矿山边坡生态修复治理工程,改善了矿山整体生态环境条件,实现了露... 河北钢铁集团滦县司家营铁矿有限公司在采矿场边坡治理中,采用了挂网喷播技术进行治理,这一技术的应用,实现了露天采矿场高陡边坡的有效治理和矿区边坡的快速绿化,完成了矿山边坡生态修复治理工程,改善了矿山整体生态环境条件,实现了露天矿山的绿色发展,以及经济效益、生态效益和社会效益的协调发展。 展开更多
关键词 挂网喷播 矿山 边坡 治理
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综合物探方法在电站坝址隐伏断层探测上的应用
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作者 姜超 李建超 《海河水利》 2025年第5期123-128,共6页
抽水蓄能电站作为一种储能容量大、成本低、可持续发展的清洁能源,使得其成为现代电力系统中不可或缺的一部分。大跃峰抽蓄电站下坝址区地质条件较为复杂,存在范围较大的隐伏断层,对大坝蓄水及坝基稳定性造成一定威胁。采用高密度电法... 抽水蓄能电站作为一种储能容量大、成本低、可持续发展的清洁能源,使得其成为现代电力系统中不可或缺的一部分。大跃峰抽蓄电站下坝址区地质条件较为复杂,存在范围较大的隐伏断层,对大坝蓄水及坝基稳定性造成一定威胁。采用高密度电法、地震映像法等综合物探方法对隐伏断层的的空间分布进行探查,对断层破碎带的推测与临近钻孔物探资料(单孔声波测试及钻孔全景数字成像)相吻合。依据物探成果形成预可研阶段成果报告,并于2023年8月通过水利水电规划设计总院评审。 展开更多
关键词 隐伏断层 高密度电法 地震映像法 钻探验证
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K9玻璃激光损伤的组合测试实验 被引量:4
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作者 李建超 苏俊宏 +1 位作者 徐均琪 杨利红 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2017年第8期963-967,共5页
光学玻璃作为高功率激光器重要的光学元件,准确测量它的损伤阈值对系统性能研究有重要意义。本文采用同批次K9玻璃进行了激光损伤测试实验,分别采用等离子体闪光法、图像法以及光谱法测试样品损伤阈值,实验结果表明:单纯等离子体闪光法... 光学玻璃作为高功率激光器重要的光学元件,准确测量它的损伤阈值对系统性能研究有重要意义。本文采用同批次K9玻璃进行了激光损伤测试实验,分别采用等离子体闪光法、图像法以及光谱法测试样品损伤阈值,实验结果表明:单纯等离子体闪光法、图像法、光谱法都可能出现判别不准确情况,无法准确确定样品损伤阈值。采用光谱法和图像法组合测试方法能够更可靠地得到损伤阈值。得到的K9在1064μm波长下损伤阈值结果为22.47 J/cm^2。验证了组合测试方法的可靠性。 展开更多
关键词 激光损伤 K9 测试实验
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高端逻辑测试系统电路测试数据处理软件的设计
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作者 裴仁国 李建超 蔺鹏程 《集成电路应用》 2025年第1期38-39,共2页
阐述高端逻辑测试系统电路测试数据处理软件的设计,软件具有界面友好、操作简便、实用的特点,软件编制过程中充分考虑了计算机的优越性,非计算机专业的操作人员也可以方便地使用该软件。
关键词 VISUAL BASIC 软件工程 测试数据
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平视显示器视差自动测量系统的设计与实现 被引量:2
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作者 李建超 高明 +2 位作者 张维光 王战胜 李岳峰 《电光与控制》 北大核心 2011年第8期68-71,共4页
针对平视显示器现场调试过程中视差检测存在主观性大、不易给出定量结果的问题,研制了一套用于平视显示器视差自动检测装置。本装置采用传统光学系统,利用CCD光电耦合器件将大视场平行光管分划像清晰成像,放入被测平显,再次将分划成像,... 针对平视显示器现场调试过程中视差检测存在主观性大、不易给出定量结果的问题,研制了一套用于平视显示器视差自动检测装置。本装置采用传统光学系统,利用CCD光电耦合器件将大视场平行光管分划像清晰成像,放入被测平显,再次将分划成像,并对此图像进行处理。通过自制计算软件,计算给出视差调节量,从而进行自动检测。利用这一装置与未采用自动对焦视差检测系统及摆头法3种方法进行测试对比。结果表明自动视差测量装置的检测精度最高,并具有良好的可重复性。整个系统的测量精度为28″。 展开更多
关键词 平视显示器 视差 自动对焦 自动检测
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散血明目片联合复方樟柳碱治疗眼缺血综合症 被引量:3
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作者 李建超 彭清华 李植源 《国际眼科杂志》 CAS 2013年第9期1778-1781,共4页
目的:研究散血明目片联合复方樟柳碱对眼缺血综合症的治疗效果。方法:采用随机病例对照的方式,根据入组患者既往是否使用活血祛瘀药物治疗情况分层,再分组,并予以相应治疗干预3周期后,通过视力、视野、眼部彩超等改善情况观察药物的临... 目的:研究散血明目片联合复方樟柳碱对眼缺血综合症的治疗效果。方法:采用随机病例对照的方式,根据入组患者既往是否使用活血祛瘀药物治疗情况分层,再分组,并予以相应治疗干预3周期后,通过视力、视野、眼部彩超等改善情况观察药物的临床疗效及不良反应的发生率。结果:各实验组在综合疗效、视力、平均视敏度下降、FFA动、静脉充盈时间、CDI各项指标比较,均有所改善,心血管不良反应发生率低,有显著统计学差异。结论:散血明目片联合复方樟柳碱对眼缺血综合症均有良好的临床疗效,并能减少心血管不良反应的发生率,且联合用药的疗效对既往未接受相关药物的患者更为确切。 展开更多
关键词 眼缺血综合症 散血明目片 复发樟柳碱
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外场激光可见光光轴检测装置 被引量:2
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作者 李建超 高明 苏俊宏 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2011年第3期293-297,共5页
设计了一套大气环境下外场可见光、激光两光轴瞄准系统瞄准偏差测试装置,通过外场实验测得不同距离处测试装置的基准光轴的偏差。结果表明,2000 m距离上基准光轴偏差为4.5,″满足了多光谱多光轴动态瞄准偏差测试误差0.1 m rad(20.6″)... 设计了一套大气环境下外场可见光、激光两光轴瞄准系统瞄准偏差测试装置,通过外场实验测得不同距离处测试装置的基准光轴的偏差。结果表明,2000 m距离上基准光轴偏差为4.5,″满足了多光谱多光轴动态瞄准偏差测试误差0.1 m rad(20.6″)的精度要求。并据此基准光轴在外场环境下对激光光轴相对于可见光光轴的瞄准偏差进行测试,实现了对光电瞄准系统外场瞄准偏差参数进行精确测量。 展开更多
关键词 多光谱多光轴 瞄准系统 光轴偏差 测试装置
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体外抑制Piwi基因对鸡原始生殖细胞相关基因表达的影响 被引量:1
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作者 李建超 张颖 +6 位作者 戴爱琴 王洪志 翟飞 华登科 夏明秀 常国斌 陈国宏 《畜牧兽医学报》 CAS CSCD 北大核心 2014年第6期871-878,共8页
本研究以鸡原始生殖细胞(Primordial germ cells,PGCs)为材料进行Piwi基因的干扰,并探究Piwi和生殖特异性标记基因CVH、Dazl和CDH及调控干细胞多能性转录因子基因Sox2、Nanog和PouV间的关系。由孵化至19期的鸡胚分离出PGCs,经鉴定后,利... 本研究以鸡原始生殖细胞(Primordial germ cells,PGCs)为材料进行Piwi基因的干扰,并探究Piwi和生殖特异性标记基因CVH、Dazl和CDH及调控干细胞多能性转录因子基因Sox2、Nanog和PouV间的关系。由孵化至19期的鸡胚分离出PGCs,经鉴定后,利用RNA干扰技术抑制Piwi基因表达,相对实时荧光定量PCR检测目的基因的表达。结果发现,体外抑制Piwi后,CVH、Dazl和Nanog表达量显著增加(P<0.05),PouV和Sox2表达量显著下降(P<0.05),CDH表达量变化不显著(P>0.05)。本研究在家禽PGCs中建立Piwi基因干扰模型,并发现其干扰后影响生殖特异性标记基因和干性转录因子的表达,为其在生殖生物学中的功能研究提供了新的依据。 展开更多
关键词 原始生殖细胞 PIWI RNA干扰
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冷超声乳化联合玻璃体切除术治疗白内障合并眼后节病变临床疗效观察 被引量:1
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作者 李建超 邝国平 +3 位作者 武正清 谭湘莲 曾志成 李婷怡 《国际眼科杂志》 CAS 2010年第10期1971-1973,共3页
目的:探讨冷超声乳化联合玻璃体切除术的临床应用疗效。方法:对98例106眼白内障合并眼后节病变的患者进行冷超声乳化联合玻璃体切除手术。术后观察视力、人工晶状体植入率和手术并发症。结果:术后1wk;3mo绝大多数患者的视力均有不同程... 目的:探讨冷超声乳化联合玻璃体切除术的临床应用疗效。方法:对98例106眼白内障合并眼后节病变的患者进行冷超声乳化联合玻璃体切除手术。术后观察视力、人工晶状体植入率和手术并发症。结果:术后1wk;3mo绝大多数患者的视力均有不同程度提高,人工晶状体植入率为75.5%,术后可出现继发性青光眼、后发性白内障、葡萄膜炎、玻璃体再出血及视网膜脱离等不良并发症。结论:冷超声乳化联合玻璃体切除术是治疗白内障合并眼后节病变的有效治疗手段,他可替代超声粉碎技术进行晶状体摘除。 展开更多
关键词 白内障 眼后节病变 冷超声乳化 玻璃体切除术
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激光损伤测试系统衰减片参数的改进遗传算法优化 被引量:2
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作者 李建超 苏俊宏 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2020年第9期1109-1113,共5页
光学元件激光损伤测试系统中的轮盘式衰减器衰减片参数的选取直接影响测试精度。本文采用遗传算法,采用实数编码的参数编码方式,适应度值排序和随机选取结合选择算子,杂交算子中选择随机交叉两个必然产生交叉的个体的部分基因,变异算子... 光学元件激光损伤测试系统中的轮盘式衰减器衰减片参数的选取直接影响测试精度。本文采用遗传算法,采用实数编码的参数编码方式,适应度值排序和随机选取结合选择算子,杂交算子中选择随机交叉两个必然产生交叉的个体的部分基因,变异算子根据交叉概率的大小对个体进行位操作,经此改进的算法对激光损伤测试系统中的机械式激光能量衰减器的3组15片衰减片进行了参数优化。优化结果表明:15片衰减片中选取8种不同衰减率,经优化后输出的能量衰减率间隔小于测试激光能量的3%,线性度误差为12.4%。 展开更多
关键词 遗传算法 激光损伤 衰减片 参数优化
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高能束增材制造铝合金及其复合材料缺陷形成与控制机理 被引量:1
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作者 李建超 鲁晓楠 +1 位作者 王欢 高翔 《航空制造技术》 CSCD 北大核心 2024年第1期87-96,共10页
增材制造技术的快速发展为高性能铝合金及其复合材料的设计制备与应用带来了机遇。本文介绍了增材制造技术在铝合金及其复合材料中的应用现状与未来趋势,并分析了增材制造工艺参数对铝合金及其复合材料显微组织及力学性能的影响。在此... 增材制造技术的快速发展为高性能铝合金及其复合材料的设计制备与应用带来了机遇。本文介绍了增材制造技术在铝合金及其复合材料中的应用现状与未来趋势,并分析了增材制造工艺参数对铝合金及其复合材料显微组织及力学性能的影响。在此基础上,以激光增材制造技术为主,综述了铝合金及其复合材料在增材制造过程中的缺陷形成机理与缺陷控制策略。其中,铝合金的宽半固态区间、高热导率、对激光的高反射率、激光增材制造本身特有的大升降温速率,以及高温度梯度等特性共同导致了打印复合材料组织粗大、孔洞、微裂纹缺陷的产生。通过引入纳米颗粒以提高形核率、稳定熔池或提高铝合金对激光的吸收率,可显著减少增材制造铝合金及其复合材料缺陷数量。未来,应对新型增材制造技术的缺陷形成与控制机理、增材制造专用铝合金粉体研发及增强体分布调控方法等开展相关研究。本文将为高性能铝合金及其复合材料的增材制造开发与应用提供参考。 展开更多
关键词 增材制造(AM) 铝合金 铝基复合材料(AMCs) 缺陷控制 缺陷形成机理
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决策中的不可控因素风险分析 被引量:1
19
作者 李建超 《领导科学》 北大核心 2008年第8期44-45,共2页
影响决策及其实施的社会因素,分为可以控制和不可控制两种。决策的风险,归根结底是由影响决策结果的不可控因素决定的。正是这些不可控因素,使得人们所希望的决策结果不能出现,使决策可能失败,出现意外的风险。其实,决策中的不可... 影响决策及其实施的社会因素,分为可以控制和不可控制两种。决策的风险,归根结底是由影响决策结果的不可控因素决定的。正是这些不可控因素,使得人们所希望的决策结果不能出现,使决策可能失败,出现意外的风险。其实,决策中的不可控因素的真正风险不在于它的不可控制,而在于它的不可预测。因此,准确预测不可控因素可能导致的种种结果,积极预设应对方案,从方案的可行性、可靠性、可接受性等方面对不可控因素进行识别与处理,是规避决策风险的最佳途径。 展开更多
关键词 不可控因素 决策风险 风险分析 社会因素 应对方案 可接受性 可靠性 预测
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升温模式对热处理TiN薄膜结构及性能的影响
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作者 李建超 惠迎雪 +1 位作者 刘政 王超 《西安工业大学学报》 CAS 2011年第5期418-423,共6页
为了比较不同热处理方式及工艺对TiN薄膜结构和性能的影响,在真空条件下、300~900℃范围内,对采用非平衡磁控溅射方法在单晶硅基底上沉积TiN薄膜后进行了热处理实验,考查了热处理模式(不同升温速率)和温度对薄膜结构和性能的影响.利用... 为了比较不同热处理方式及工艺对TiN薄膜结构和性能的影响,在真空条件下、300~900℃范围内,对采用非平衡磁控溅射方法在单晶硅基底上沉积TiN薄膜后进行了热处理实验,考查了热处理模式(不同升温速率)和温度对薄膜结构和性能的影响.利用X射线衍射仪(XRD)对薄膜微结构进行表征,并利用扫描电镜观察了不同热处理模式下薄膜的表面形貌.同时,对不同工艺下薄膜的硬度、表面粗糙度和电阻率进行了表征.结果表明,薄膜经过热处理后,其晶体结构、择优取向、硬度、粗糙度和电阻率发生明显变化,并且随着热处理模式和温度的不同而产生较大差异.无论哪种模式,真空热处理后TiN薄膜的硬度均有所下降,其表面粗糙度亦有相似的变化趋势.两种模式下,经过450℃热处理后薄膜的硬度和粗糙度均达到最大值,与其高度择优取向的晶体结构有明显的相关性. 展开更多
关键词 非平衡磁控溅射 TIN薄膜 热处理 晶体结构
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