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MEMS加速度计全温性能优化方法 被引量:3
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作者 刘国文 刘宇 +3 位作者 李兆涵 王学锋 金仲和 王巍 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2024年第1期64-70,共7页
针对微机电系统(MEMS)加速度计全温性能低的问题,提出锚区应力对消方法、低应力粘接工艺和温度补偿方法。首先,通过调整两个键合的锚区面积大小实现锚区应力对消,使得加速度计的温度性能得到改善;然后,建立加速度计堆叠封装模型并对专... 针对微机电系统(MEMS)加速度计全温性能低的问题,提出锚区应力对消方法、低应力粘接工艺和温度补偿方法。首先,通过调整两个键合的锚区面积大小实现锚区应力对消,使得加速度计的温度性能得到改善;然后,建立加速度计堆叠封装模型并对专用集成电路(ASIC)粘接参数、加速度计敏感结构点胶方式与点胶参数进行仿真分析,从而确定了加速度计的低应力粘接形式和粘接工艺;最后,对加速度计零偏和标度因数设计了三阶温度补偿方法并进行了实验测试。实验结果表明,加速度计全温零偏稳定性达到47.3μg(1σ)、全温标度因数稳定性达到43.6 ppm(1σ),提高了加速度计的全温性能。 展开更多
关键词 MEMS加速度计 应力对消 低应力粘接 温度补偿
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Analysis of Responsivity and Signal-to-Noise Ratio in PEPT
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作者 ZHOU Quan GUO Shu-Xu +2 位作者 LI Zhao-Han SONG Jing-Yi CHANG Yu-Chun 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2012年第11期70-73,共4页
We analyze the responsivity and signal-to-noise ratio(SNR)of a punchthrough enhanced phototransistor(PEPT).Measurement results show that the PEPT exhibits a good response to light over a wide range of intensity.Becaus... We analyze the responsivity and signal-to-noise ratio(SNR)of a punchthrough enhanced phototransistor(PEPT).Measurement results show that the PEPT exhibits a good response to light over a wide range of intensity.Because the responsivity is still as high as 106 A/W when the bias voltage is as low as 0.2 V,the device is suitable for ultra-low voltage applications.Meanwhile,with 1–10μA bias current,the PEPT shows the best performance for the responsivity and SNR.When incident light is as low as 3.8×10^(-8) W/cm^(2),the responsivity reaches approximately 108 A/W.The super high responsivity of PEPTs makes it possible to fabricate small sized photodetector. 展开更多
关键词 RESPONSIVITY TRANSISTOR SIGNAL
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日用品防污除垢窍门40则
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作者 沙格达 李兆涵 《农村新技术》 1996年第11期50-52,共3页
关键词 日用品 洗衣粉 机油壶 油漆 蜂窝煤 刮刀 活性炭吸附 玻璃瓶 小苏打 白瓷砖
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日用品防污除垢窍40则
4
作者 沙格达 李兆涵 《农村新技术》 1996年第12期52-54,共3页
关键词 日用品 洗衣粉 铁锅 丝瓜络 苹果皮 小苏打 餐具消毒 消毒剂 马铃薯片 去油污
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