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GaAs上Ge薄膜的性能研究
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作者 杨茹 任永玲 +2 位作者 李国辉 阎凤章 朱红清 《北京师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2001年第2期180-182,共3页
用超高真空镀膜机在半绝缘GaAs衬底上蒸镀 80 0nmGe ,Ge薄膜在 50 0℃以上退火有再结晶过程 ,退火后由非晶变成多晶 .在Ge和GaAs界面处有互扩散 ,电特性研究表明退火后Ge薄膜呈高浓度 p型 ,可能是由于Ga扩散到Ge中的掺杂或是Ge的缺陷行... 用超高真空镀膜机在半绝缘GaAs衬底上蒸镀 80 0nmGe ,Ge薄膜在 50 0℃以上退火有再结晶过程 ,退火后由非晶变成多晶 .在Ge和GaAs界面处有互扩散 ,电特性研究表明退火后Ge薄膜呈高浓度 p型 ,可能是由于Ga扩散到Ge中的掺杂或是Ge的缺陷行为所致 . 展开更多
关键词 Ge/GaAs 白光快速退火 再结晶 界面扩散 光纤通信 光电材料
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BF^+对^(29)Si^+注入GaAs层的影响
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作者 李国辉 韩德俊 +5 位作者 陈如意 罗晏 刘伊犁 姬成周 朱红清 王策寰 《北京师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 1992年第4期478-482,共5页
研究了硅离子注入LEC生长的SI-Ga'As材料时BF^+对离子注入层特性的影响。认为BF^+的影响主要反应在B的影响,由于B的掺入使B替Ga位从而促使大量Si去替As位,形成B_(Ga)-Si_(As)和Si_(As)受主,从而减少了Si_(Ga)的施主浓度并且补偿了n... 研究了硅离子注入LEC生长的SI-Ga'As材料时BF^+对离子注入层特性的影响。认为BF^+的影响主要反应在B的影响,由于B的掺入使B替Ga位从而促使大量Si去替As位,形成B_(Ga)-Si_(As)和Si_(As)受主,从而减少了Si_(Ga)的施主浓度并且补偿了n型载流子浓度。因此B的掺入减小了注入层的电激活率。又因为B的掺入产生了一些空位和间隙原子等点缺陷,从而使注入层迁移率下降。实验说明避免BF^+对离子注入层的影响是提高注入层质量的重要关键。 展开更多
关键词 砷化镓 离子注入 硅离子
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氢氧注入在GaAs器件中的应用 被引量:1
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作者 韩卫 罗晏 +2 位作者 朱红清 司丽荣 李国辉 《北京师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 1995年第4期456-460,共5页
从3个器件说明氢、氧注入在不同方面的应用:(1)用氧注入制备高质量N-SI-N+埋层,应用于源栅面对MESFET中,克服源、栅、漏引线在同一平面交错带来的工艺及寄生效应;(2)用氢注入隔离P+-N--N+层的N-层,... 从3个器件说明氢、氧注入在不同方面的应用:(1)用氧注入制备高质量N-SI-N+埋层,应用于源栅面对MESFET中,克服源、栅、漏引线在同一平面交错带来的工艺及寄生效应;(2)用氢注入隔离P+-N--N+层的N-层,减小HBT的BC结电容,以提高其高频特性;(3)用氢、氧注入制作平面结构的HPT,以减小复合电流,提高光电增益。其中尤其强调了选择离子注入的能量、注量及退火温度。 展开更多
关键词 离子注入 砷化镓器件
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普通火灾初期应用通路法控制风流
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作者 朱红清 谢洪 黄元平 《煤炭工程师》 北大核心 1996年第4期1-2,共2页
作者在对大量风向判别式进行研究分析后,从追求火灾时期控制风流的实用性出发,总结出一个较有规律的定性分析方法──通路法,以此解决矿井火灾时的风流控制问题。
关键词 火灾 控制 风流 通路法 矿井火灾
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