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长波红外平板透镜:材料、大尺寸制备及挑战
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作者 高一骁 汪楗伟 +3 位作者 徐雷 曾礼昌 马耀光 沈祥 《光电工程》 北大核心 2025年第8期1-21,共21页
长波红外(8~12μm)热成像技术在安防监控、医疗诊断、智慧交通等领域中具有广阔的应用前景,而光学系统的小型化与轻量化是其发展的关键。基于微纳结构的平板透镜(如超构透镜、多级衍射透镜等)为实现光学系统轻量化提供了有效技术方案。... 长波红外(8~12μm)热成像技术在安防监控、医疗诊断、智慧交通等领域中具有广阔的应用前景,而光学系统的小型化与轻量化是其发展的关键。基于微纳结构的平板透镜(如超构透镜、多级衍射透镜等)为实现光学系统轻量化提供了有效技术方案。系统介绍衍射透镜与超构透镜的成像原理、关键性能指标及其差异,总结常用长波红外光学材料的性能特点及其微纳加工方法,详细阐述近年来在大面积图案转移与高深宽比微结构刻蚀等关键制备技术方面的研究进展,最后探讨长波红外平板透镜未来发展面临的主要挑战。 展开更多
关键词 超构透镜 衍射透镜 长波红外 热成像 微纳加工
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