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B^+注入沾污与Fe^+·B^-离子对的增强扩散效应
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作者 曾庆城 王水风 罗房芳 《厦门大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 1993年第S2期79-81,共3页
显微观测LSI硼注入硅形成的PN结,发现横向结深大于纵向结深,用紫外荧光法检测了B^+注入样品的Fe杂质沾污,研究了Fe^+·B^-离子“对”在SiO_2边缘的横向增强扩散效应.
关键词 离子注入 铁硼离子对 横向增强扩散
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LED-GaP外延晶片洁净优化技术的研究 被引量:1
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作者 王水凤 胡力民 +1 位作者 曾宇昕 曾庆城 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1999年第5期12-15,共4页
介绍了绿色、红色发光GaP外延晶片不同发光强度的无损检测方法。分别用短紫外光 (≤300nm ) 和蓝光 (488nm ) 激发方式, 在室温下, 有效地观测了LEDGaPvN (掺氮GaP晶片) 的多峰PL谱。根据对上述两... 介绍了绿色、红色发光GaP外延晶片不同发光强度的无损检测方法。分别用短紫外光 (≤300nm ) 和蓝光 (488nm ) 激发方式, 在室温下, 有效地观测了LEDGaPvN (掺氮GaP晶片) 的多峰PL谱。根据对上述两种发光GaP外延晶片的相对光强与金属杂质Fe、Cu、Ni和Cr (以Fe 为主) 紫外荧光 (UVF) 谱的实测数据的相关性, 展开更多
关键词 外延晶片 洁净度优化 LED-GaP 发光二极管
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GaAs表面光强反射率的温度敏感特性
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作者 肖韶荣 曾庆城 +1 位作者 管永红 熊黎明 《传感器技术》 CSCD 1996年第6期16-17,20,共3页
对GaAs表面光强反射率随温度的变化特性进行了分析,实验结果表明,在一定的温度范围内,其表面光强反射率R随温度变化的曲线具有开关特性。
关键词 光强反射率 温度 敏感 砷化镓
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多孔硅薄膜的红光激发上转换荧光特性
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作者 王兼善 王水凤 +1 位作者 王平 曾庆城 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1997年第4期31-33,共3页
测量了用电化学腐蚀法制备的多孔硅(PS)薄膜红光(600~800nm)激发下的光致发光(PL)谱和光致发光激发(PLE)谱,结果表明PS膜具有良好的上转换荧光特性,并随着存放时间的延长在一定期限内峰值强度有明显的增强... 测量了用电化学腐蚀法制备的多孔硅(PS)薄膜红光(600~800nm)激发下的光致发光(PL)谱和光致发光激发(PLE)谱,结果表明PS膜具有良好的上转换荧光特性,并随着存放时间的延长在一定期限内峰值强度有明显的增强。这种非线性光学响应的增强被认为与空间量子限制效应作用下局域束缚激子被激发有关。 展开更多
关键词 多孔硅 上转换荧光 蓝光发射
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