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硅荷重传感器
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作者 曾广润 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1990年第2期21-25,共5页
本文提出了一种新型的扩散硅荷重传感器。介绍了一种微计算机软件补偿技术,以消除或减小由扩散硅器件的输出温度影响、零点温度影响、零点漂移和非线性带来的误差,从而提高了硅荷重传感器的精度。
关键词 传感器 扩散硅 力敏器件 软件
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