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CVD金刚石薄膜涂层轴承支撑器的制备和应用
1
作者
曹阳珍
孙方宏
《机械科学与技术》
CSCD
北大核心
2007年第4期524-527,共4页
轴承支撑器是轴承精密加工中的关键部件。本文采用热丝化学气相沉积(简称CVD)法,以丙酮和氢气为碳源,在WC-Co硬质合金轴承支撑器衬底上沉积金刚石薄膜,制备CVD金刚石薄膜涂层轴承支撑器,并应用于轴承的精密磨削加工。结果表明,合理控制...
轴承支撑器是轴承精密加工中的关键部件。本文采用热丝化学气相沉积(简称CVD)法,以丙酮和氢气为碳源,在WC-Co硬质合金轴承支撑器衬底上沉积金刚石薄膜,制备CVD金刚石薄膜涂层轴承支撑器,并应用于轴承的精密磨削加工。结果表明,合理控制衬底材料的预处理和CVD沉积工艺对金刚石薄膜质量、形貌、粗糙度和薄膜与衬底间的附着力有显著影响。与传统硬质合金轴承支撑器相比,CVD金刚石涂层轴承支撑器的耐用度和使用性能显著提高。
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关键词
轴承支撑器
金刚石薄膜
化学气相沉积
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职称材料
题名
CVD金刚石薄膜涂层轴承支撑器的制备和应用
1
作者
曹阳珍
孙方宏
机构
上海交通大学机械与动力工程学院
出处
《机械科学与技术》
CSCD
北大核心
2007年第4期524-527,共4页
基金
国家自然科学基金项目(50575135)资助
文摘
轴承支撑器是轴承精密加工中的关键部件。本文采用热丝化学气相沉积(简称CVD)法,以丙酮和氢气为碳源,在WC-Co硬质合金轴承支撑器衬底上沉积金刚石薄膜,制备CVD金刚石薄膜涂层轴承支撑器,并应用于轴承的精密磨削加工。结果表明,合理控制衬底材料的预处理和CVD沉积工艺对金刚石薄膜质量、形貌、粗糙度和薄膜与衬底间的附着力有显著影响。与传统硬质合金轴承支撑器相比,CVD金刚石涂层轴承支撑器的耐用度和使用性能显著提高。
关键词
轴承支撑器
金刚石薄膜
化学气相沉积
Keywords
bearing support implement
diamond film
chemical vapor deposition
分类号
TG156 [金属学及工艺—热处理]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
CVD金刚石薄膜涂层轴承支撑器的制备和应用
曹阳珍
孙方宏
《机械科学与技术》
CSCD
北大核心
2007
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