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形状记忆合金薄膜微驱动器过程准可控研究 被引量:3
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作者 曲炳郡 李路明 +1 位作者 张玉玲 王立鼎 《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期64-66,共3页
研究了形状记忆合金(SMA)驱动器的过程不可控及过程准可控输出特性,给出了此类驱动器实 现过程准可控的设计思想——单元互联,及其可控输出位移值与互联单元的一般性关系:对于 n个具有双程形状记忆效应的单元互联而成的SMA驱动器,有2n... 研究了形状记忆合金(SMA)驱动器的过程不可控及过程准可控输出特性,给出了此类驱动器实 现过程准可控的设计思想——单元互联,及其可控输出位移值与互联单元的一般性关系:对于 n个具有双程形状记忆效应的单元互联而成的SMA驱动器,有2n个可控位移输出. 对一类基于单元互联实现变力夹持的SMA薄膜微夹持器进行了理论探讨. 展开更多
关键词 形状记忆合金薄膜 微夹持器 过程不可控 过程准可控 单元互联 微驱动材料
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基于GMR效应的新型生物传感器研究 被引量:4
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作者 张超奇 周非 +2 位作者 曲炳郡 任天令 刘理天 《微纳电子技术》 CAS 2007年第7期373-375,共3页
制备出了结构为Ta/NiFe/CoFe/Cu/CoFe/MnIr/Ta,磁阻变化达9.2%的GMR自旋阀传感器,并用该种传感器对浓度为200μg/mL、直径2μm的生物免疫磁球溶液进行了检测。实验结果表明,该生物传感器可以对被测生物免疫磁球溶液产生平均350μV的电... 制备出了结构为Ta/NiFe/CoFe/Cu/CoFe/MnIr/Ta,磁阻变化达9.2%的GMR自旋阀传感器,并用该种传感器对浓度为200μg/mL、直径2μm的生物免疫磁球溶液进行了检测。实验结果表明,该生物传感器可以对被测生物免疫磁球溶液产生平均350μV的电压输出信号,随着磁球溶液的继续增加,电压输出信号可以达到最大值450μV。除去背景干扰信号的影响,由磁球产生的有效电压输出信号为300μV。此外,交流励磁场的频率的增加也会使输出电压信号减小。 展开更多
关键词 生物传感器 巨磁电阻 免疫磁球
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一种新型磁芯螺线管微电感的设计与优化 被引量:1
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作者 耿玉洁 曲炳郡 叶启 《电子器件》 CAS 北大核心 2015年第1期49-53,共5页
利用HFSS仿真软件对一种基于电感耦合的新型磁芯螺线管微电感进行设计,并优化得出其结构参数,该电感尺寸为7 mm×6.6 mm×0.44 mm。利用Agilent E4294A射频阻抗/材料分析仪对微机电系统(MEMS)工艺实现的该新型螺线管微电感进行... 利用HFSS仿真软件对一种基于电感耦合的新型磁芯螺线管微电感进行设计,并优化得出其结构参数,该电感尺寸为7 mm×6.6 mm×0.44 mm。利用Agilent E4294A射频阻抗/材料分析仪对微机电系统(MEMS)工艺实现的该新型螺线管微电感进行了性能测试分析。测试结果表明:该电感在1 MHz^20 MHz频率范围内保持较高的电感值和品质因数Q,测试结果与仿真结果较好的吻合,电感值是相同几何结构参数下空心电感的16倍以上,在10 MHz频率时,微电感的电感值为1.17μH,Q值达到50。 展开更多
关键词 MEMS 磁芯 螺线管微电感 Q值 HFSS
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Ag/La_(0.67)Sr_(0.33)MnO_3薄膜电阻开关特性的研究 被引量:1
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作者 黄丽娜 曲炳郡 刘理天 《微纳电子技术》 CAS 2007年第7期80-82,共3页
采用脉冲激光沉积技术在SrTiO3(001)单晶衬底上制备出钙钛矿结构La0.67Sr0.33MnO3薄膜,利用X射线衍射仪与原子力显微镜表征其晶体结构与微观形貌,并对Ag/La0.67Sr0.33MnO3/SrTiO3结构的室温电脉冲诱发可逆变阻效应进行了分析讨论。该效... 采用脉冲激光沉积技术在SrTiO3(001)单晶衬底上制备出钙钛矿结构La0.67Sr0.33MnO3薄膜,利用X射线衍射仪与原子力显微镜表征其晶体结构与微观形貌,并对Ag/La0.67Sr0.33MnO3/SrTiO3结构的室温电脉冲诱发可逆变阻效应进行了分析讨论。该效应表现出良好的非挥发多值存储特性,有望应用于新型存储器、传感器、可变电阻等电子元器件的研制。 展开更多
关键词 钙钛矿结构氧化物 脉冲激光沉积 电脉冲诱发电阻转变 LA0.67SR0.33MNO3
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GMR薄膜抗辐照性能研究
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作者 郑洋 曲炳郡 +2 位作者 赵复龙 任天令 刘理天 《辐射研究与辐射工艺学报》 CAS CSCD 2010年第5期302-306,共5页
研究了两种不同材料构成自旋阀结构的巨磁电阻(Giant magneto resistance,GMR)多层膜受质子辐照、电子辐照和γ射线辐照的影响。实验结果表明,辐照会引起磁电阻率的略微下降,但降幅均低于10%,并且GMR薄膜的矫顽力和交换场并不受辐照的... 研究了两种不同材料构成自旋阀结构的巨磁电阻(Giant magneto resistance,GMR)多层膜受质子辐照、电子辐照和γ射线辐照的影响。实验结果表明,辐照会引起磁电阻率的略微下降,但降幅均低于10%,并且GMR薄膜的矫顽力和交换场并不受辐照的影响。对比发现,GMR元件受太空环境中以质子辐射为主的影响非常小,这表明GMR元件在空间应用中具有广阔的前景。 展开更多
关键词 巨磁电阻 质子辐照 电子辐照 Γ辐照
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热稳定自旋阀磁传感器及其性能优化研究
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作者 郑洋 曲炳郡 +3 位作者 叶双莉 李伟 任天令 刘理天 《微纳电子技术》 CAS 2007年第7期228-230,共3页
对一种Ta/NiFeCr/CoFe/Cu/CoFe/MnIr/Ta结构的顶钉扎自旋阀进行了优化。对自旋阀各层材料在整个结构中所起的作用进行了分析,并通过实验,研究自旋阀中每一层的厚度对磁电阻变化率(MR)的影响。最终得到了在80℃下磁电阻变化率高达10.5%的... 对一种Ta/NiFeCr/CoFe/Cu/CoFe/MnIr/Ta结构的顶钉扎自旋阀进行了优化。对自旋阀各层材料在整个结构中所起的作用进行了分析,并通过实验,研究自旋阀中每一层的厚度对磁电阻变化率(MR)的影响。最终得到了在80℃下磁电阻变化率高达10.5%的GMR自旋阀。 展开更多
关键词 巨磁电阻 自旋阀 磁传感器
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Micromagnetic Simulation of Transfer Curve in Giant-Magnetoresistive Head
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作者 佘圣贤 韦丹 +4 位作者 刘洋 曲炳郡 任天令 刘曦 魏福林 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2009年第12期221-224,共4页
The transfer curve of the giant-magnetoresistive (GMR) magnetic head represents its most important property in applications, and it is calculated by the micromagnetic modeling of the free layer and the pinned layer ... The transfer curve of the giant-magnetoresistive (GMR) magnetic head represents its most important property in applications, and it is calculated by the micromagnetic modeling of the free layer and the pinned layer in the heart of the GMR head. Affections of the bias hard magnetic layer and the anti-ferromagnetic pinning layer are modeled by effective magnetic fields. The simulated transfer curve agrees with experiment quite well, therefore the values of these effective magnetic fields can be determined by the model. A synthetic antiferromagnetic spin valve structure GMR head is also analyzed for comparison. 展开更多
关键词 Electronics and devices Condensed matter: electrical magnetic and optical Surfaces interfaces and thin films
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