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热丝法低温生长硅上单晶碳化硅薄膜 被引量:5
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作者 张荣 施洪涛 +3 位作者 郑有 于是东 何宇亮 刘湘娜 《高技术通讯》 CAS CSCD 1994年第11期10-13,共4页
提出了热丝化学气相淀积法,在低温(600-750℃)下成功地生长出硅上单晶碳化硅薄膜,X光衍射谱、喇曼光谱证实了外延膜的单晶结构,光致发光测量证明外延SiC材料室温下可稳定发射可见光。
关键词 热丝法 低温生长 碳化硅 单晶
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GaN基蓝光器件的研究进展 被引量:1
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作者 郑有炓 沈波 +4 位作者 施洪涛 张荣 杨凯 陈鹏 李熹霖 《光电子技术》 CAS 1996年第4期286-292,共7页
本文对近几年GaN基蓝光器件,包括GaN基发光二极管(LED)和激光二极管(LD)的发展历程进行了全面介绍和评价。指出GaN基蓝光LED的研究开卡拉卡将在1~2年内走向成熟,从而实现大规模商业化生产。
关键词 氮化镓 发光二极管 激光二极管 发光器件
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α-Al_(2)O_(3)衬底上生长的GaN膜的光学性质
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作者 杨凯 张荣 +5 位作者 秦林洪 沈波 施洪涛 郑有炓 黄振春 Chen J C 《高技术通讯》 CAS CSCD 1996年第10期29-31,共3页
采用金属有机化学气相淀积(MOCVD)方法生长了α-Al2O3衬底上外延的高质量的单晶GaN薄膜。X射线衍射光谱与喇曼散射光谱表征了GaN外延薄膜的单晶结构和单晶质量。透射光谱和光调制反射光谱定出了六角单晶GaN薄膜... 采用金属有机化学气相淀积(MOCVD)方法生长了α-Al2O3衬底上外延的高质量的单晶GaN薄膜。X射线衍射光谱与喇曼散射光谱表征了GaN外延薄膜的单晶结构和单晶质量。透射光谱和光调制反射光谱定出了六角单晶GaN薄膜的直接带隙宽度和光学参数。 展开更多
关键词 α-Al_(2)O_(3)衬底 GAN薄膜 金属有机化学气相淀积 单晶 光学性质
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蓝光半导体碳化硅──材料、器件和工艺
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作者 张荣 施洪涛 +3 位作者 余是东 杨凯 沈波 郑有 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 1996年第2期94-102,共9页
碳化硅(SiC)是目前主要的蓝光半导体材料之一,国际上已初步实现了SiC蓝光发光二极管的产业化。目前商品器件工作电压3.0V,工作电流20mA时,发射波长470nm,功率18μW,工作电流50mA时,辐射功率可达36... 碳化硅(SiC)是目前主要的蓝光半导体材料之一,国际上已初步实现了SiC蓝光发光二极管的产业化。目前商品器件工作电压3.0V,工作电流20mA时,发射波长470nm,功率18μW,工作电流50mA时,辐射功率可达36μW。最近的实验研究发现,采用SiC和氮化镓的合金制成的LED可大幅度提高发光效率,其发射功率的实验室水平已达850mW。文中从SiC材料特性、SiC发光器件及SiC材料、器件工艺等几方面入手,综述了SiC作为蓝光半导体材料及其器件和工艺的研究进展。 展开更多
关键词 碳化硅 蓝光发光二极管 器件 工艺
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MOCVD生长GaN膜的光调制反射谱研究
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作者 杨凯 张荣 +6 位作者 臧岚 秦林洪 沈波 施洪涛 郑有炓 Z.C.Huang J.C.Chen 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 1997年第2期188-192,共5页
采用光调制反射光谱(PR)研究了(0001)晶向蓝宝石村底上MOCVD方法生长的单晶六角GaN薄膜的室温光学性质。测得六角GaN薄膜的禁带宽度为3.400eV,对PR谱的调制机理进行了分析,发现信号来自缺陷作用下的表面电场调制。光吸收增和光... 采用光调制反射光谱(PR)研究了(0001)晶向蓝宝石村底上MOCVD方法生长的单晶六角GaN薄膜的室温光学性质。测得六角GaN薄膜的禁带宽度为3.400eV,对PR谱的调制机理进行了分析,发现信号来自缺陷作用下的表面电场调制。光吸收增和光反射谱的测量,得到3.39eV的光学吸收边和3.3eV的反射峰,证实了光调制反射光谱的结果。 展开更多
关键词 氮化镓 光调制反射光谱 MOCVD生长
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多孔硅的电致发光
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作者 施洪涛 郑有炓 +1 位作者 王永宾 袁仁宽 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 1993年第3期201-204,共4页
采用横向阳极氧化技术在n型单晶硅衬底上制备多孔硅,室温下光荧光谱峰值位于688nm;表面蒸铝形成铝/多孔硅/硅的类肖特基结构,并观察到采用这种方法生长的多孔硅样品的室温电致发光。铝/多孔硅结具有良好的整流特性,在-10V内反向漏电流小... 采用横向阳极氧化技术在n型单晶硅衬底上制备多孔硅,室温下光荧光谱峰值位于688nm;表面蒸铝形成铝/多孔硅/硅的类肖特基结构,并观察到采用这种方法生长的多孔硅样品的室温电致发光。铝/多孔硅结具有良好的整流特性,在-10V内反向漏电流小于50nA,理想因子为7。室温电致发光的阈值电流为8.5mA,发光强度随正向电流的增加而加强。 展开更多
关键词 多孔硅 肖特基结 电致发光
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Electrical and Optical Properties of InGaN/AlGaN Double Heterostructure Blue Light-Emitting Diodes
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作者 SHEN Bo SHI Hong-Tao +2 位作者 ZHANG Rong CHEN Zhi-Zhong ZHENG You-Dou 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2001年第2期283-285,共3页
Electrical and optical properties of InGaN/AlGaN double heterostructure blue light-emitting diodes were investigated.Measurement of the forward bias current-voltage behaviour of the device demonstrated a departure fro... Electrical and optical properties of InGaN/AlGaN double heterostructure blue light-emitting diodes were investigated.Measurement of the forward bias current-voltage behaviour of the device demonstrated a departure from the Shockley model of a p-n diode,and it was observed that the dominant mechanism of carrier transport across the junction is associated with carrier tunnelling.Electroluminescence experiments indicated that there was a main emission band around 2.80 eV and a relatively weaker peak at 3.2 eV.A significant blueshift of the optical emission band was observed,which was consistent with the tunnelling character of electrical characteristics.Furthermore,the degradation in I-V characteristics and the low resistance ohmic short of the device were observed. 展开更多
关键词 GaN/AlGaN Shockley ohmic
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