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基于标准CMOS工艺的新型pH值传感器
1
作者
施朝霞
朱大中
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第1期152-155,共4页
基于0.6μmCMOS工艺设计了一种新型的pH值传感器。多晶硅和双层金属电极形成复合的悬浮栅结构,Si3N4钝化层作为敏感层。传感单元为W/L=500μm/20μm的PMOS管,其阈值电压随溶液pH值线性变化,并通过恒定PMOS管源漏电压和源漏电流控制电路...
基于0.6μmCMOS工艺设计了一种新型的pH值传感器。多晶硅和双层金属电极形成复合的悬浮栅结构,Si3N4钝化层作为敏感层。传感单元为W/L=500μm/20μm的PMOS管,其阈值电压随溶液pH值线性变化,并通过恒定PMOS管源漏电压和源漏电流控制电路转换成PMOS管源电压线性输出。PMOS管源电压线性输出范围达到4.6V,很好满足在不同pH值溶液中测试的要求。采用波长396nm紫外灯管照射来消除浮栅上电荷,增大阈值电压并有效调整溶液栅电压线性区工作范围。紫外照射后溶液栅电压可偏置在0V,减少溶液中噪声影响。CMOSpH值传感器的平均灵敏度为35.8mV/pH。
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关键词
互补金属氧化物半导体pH值传感器
氮化硅钝化层
悬浮栅
阈值电压
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职称材料
关于提高政府机关档案管理人员素质问题的思考
被引量：
8
2
作者
施朝霞
《黑龙江科技信息》
2008年第30期204-204,共1页
政府机关档案工作是机关工作的组成部分,是提高机关工作效率和工作质量的必要条件,是维护机关历史真实面貌的一项重要工作。档案营理人员必须具备良好的政治素质、文化素质、创新能力、现代营理素质和身体素质等,这是进行档案营理活动...
政府机关档案工作是机关工作的组成部分,是提高机关工作效率和工作质量的必要条件,是维护机关历史真实面貌的一项重要工作。档案营理人员必须具备良好的政治素质、文化素质、创新能力、现代营理素质和身体素质等,这是进行档案营理活动的基本条件和重要保证。
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关键词
档案管理
素质
培养
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职称材料
阵列式CMOS细胞电信号传感芯片
被引量：
3
3
作者
朱婷
朱大中
施朝霞
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第4期507-512,共6页
介绍了一种采用0.6μm标准CMOS工艺实现的阵列式细胞电生理信号传感芯片。该芯片集成了6×6单元有源传感阵列、模拟多路选择器、输出缓冲器、参考源和数字控制电路,实现了传感电路和后端信号处理电路的单片化集成。传感单元面积为60...
介绍了一种采用0.6μm标准CMOS工艺实现的阵列式细胞电生理信号传感芯片。该芯片集成了6×6单元有源传感阵列、模拟多路选择器、输出缓冲器、参考源和数字控制电路,实现了传感电路和后端信号处理电路的单片化集成。传感单元面积为60μm×60μm,包含15μm×15μm的传感电极和有源预处理电路,线性放大幅值范围100μV～25mV的微小信号,电压增益为40dB。同时单元电路采用相关二次采样工作模式,采样信号可经后续差分电路除去固定模式噪声,提高传感器的精度。在标准CMOS工艺基础上,应用lift-off工艺对电极进行后续加工,提高其生物测量适应性。并通过封装技术的改进,使芯片适合在电解液环境下工作。在溶液中的模拟生物电学测试验证了芯片的功能。
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关键词
互补金属氧化物半导体集成电路
生物传感器
阵列
细胞
电生理信号
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职称材料
题名
基于标准CMOS工艺的新型pH值传感器
1
作者
施朝霞
朱大中
机构
浙江大学信息与电子工程学系微电子与光电子研究所
出处
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第1期152-155,共4页
基金
国家自然科学基金会(NSFC)资助项目(60576050)
文摘
基于0.6μmCMOS工艺设计了一种新型的pH值传感器。多晶硅和双层金属电极形成复合的悬浮栅结构,Si3N4钝化层作为敏感层。传感单元为W/L=500μm/20μm的PMOS管,其阈值电压随溶液pH值线性变化,并通过恒定PMOS管源漏电压和源漏电流控制电路转换成PMOS管源电压线性输出。PMOS管源电压线性输出范围达到4.6V,很好满足在不同pH值溶液中测试的要求。采用波长396nm紫外灯管照射来消除浮栅上电荷,增大阈值电压并有效调整溶液栅电压线性区工作范围。紫外照射后溶液栅电压可偏置在0V,减少溶液中噪声影响。CMOSpH值传感器的平均灵敏度为35.8mV/pH。
关键词
互补金属氧化物半导体pH值传感器
氮化硅钝化层
悬浮栅
阈值电压
Keywords
CMOS pH sensor
silicon nitride passivation layer
floating gate
threshold voltage
分类号
TN43 [电子电信—微电子学与固体电子学]
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
关于提高政府机关档案管理人员素质问题的思考
被引量：
8
2
作者
施朝霞
机构
泉州市国土资源局
出处
《黑龙江科技信息》
2008年第30期204-204,共1页
文摘
政府机关档案工作是机关工作的组成部分,是提高机关工作效率和工作质量的必要条件,是维护机关历史真实面貌的一项重要工作。档案营理人员必须具备良好的政治素质、文化素质、创新能力、现代营理素质和身体素质等,这是进行档案营理活动的基本条件和重要保证。
关键词
档案管理
素质
培养
分类号
D630.1 [政治法律—中外政治制度]
G271 [文化科学—档案学]
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职称材料
题名
阵列式CMOS细胞电信号传感芯片
被引量：
3
3
作者
朱婷
朱大中
施朝霞
机构
浙江大学信息与电子工程学系
出处
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第4期507-512,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目(60576050)
文摘
介绍了一种采用0.6μm标准CMOS工艺实现的阵列式细胞电生理信号传感芯片。该芯片集成了6×6单元有源传感阵列、模拟多路选择器、输出缓冲器、参考源和数字控制电路,实现了传感电路和后端信号处理电路的单片化集成。传感单元面积为60μm×60μm,包含15μm×15μm的传感电极和有源预处理电路,线性放大幅值范围100μV～25mV的微小信号,电压增益为40dB。同时单元电路采用相关二次采样工作模式,采样信号可经后续差分电路除去固定模式噪声,提高传感器的精度。在标准CMOS工艺基础上,应用lift-off工艺对电极进行后续加工,提高其生物测量适应性。并通过封装技术的改进,使芯片适合在电解液环境下工作。在溶液中的模拟生物电学测试验证了芯片的功能。
关键词
互补金属氧化物半导体集成电路
生物传感器
阵列
细胞
电生理信号
Keywords
CMOS
biosensor
array
cell
electrophysiological activity
分类号
TN432 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于标准CMOS工艺的新型pH值传感器
施朝霞
朱大中
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2009
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
关于提高政府机关档案管理人员素质问题的思考
施朝霞
《黑龙江科技信息》
2008
8
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
阵列式CMOS细胞电信号传感芯片
朱婷
朱大中
施朝霞
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2005
3
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职称材料
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