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题名薄膜应力激光测量的新装置
被引量：6
- 1
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作者
方小坤
安毓英
林晓春
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机构
西安电子科技大学技术物理学院
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出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2007年第5期693-695,共3页
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基金
西安电子科技大学青年研究基金(03003)
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文摘
介绍了一种基于多光束原理的薄膜应力测试方法,通过对反射光光点间距变化的检测,可以实时得到应力的信息。其灵敏度优于2.5×106 Pa,精度优于5%。该方案具有结构简单、测量速度快、适应性强等特点,与计算机自动控制系统相结合,可以应用于生产线的薄膜生长过程控制检测。
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关键词
薄膜
实时应力测试
多光束传感器
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Keywords
Thin film
Real-time stress measurement
Multi-beam optical sensing
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分类号
TN216
[电子电信—物理电子学]
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题名薄膜应力激光测量的新装置
被引量：1
- 2
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作者
方小坤
林晓春
安毓英
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机构
西安电子科技大学技术物理学院
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出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2006年第z1期282-,共1页
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文摘
薄膜生长过程中薄膜应力的检测已引起国内外广泛的关注和重视.文中介绍了一种光学和电子学结合的方法,建立了基于多光束光学传感器和光电检测电路以检测薄膜应力的装置,通过对反射光光点间距变化的检测,可以实时得到应力的信息.它可进行各种单晶、多晶和非晶结构材料沉积过程的现场应力测量,灵敏度优于2.5×106 Pa,精度优于5%.该方案具有结构简单、测量速度快、适应性强等特点,与计算机自动控制系统相结合,可以应用于生产线的薄膜生长过程控制检测.
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关键词
实时检测技术
多光束光学传感器
光电检测电路
CCD
应力
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分类号
TN21
[电子电信—物理电子学]
TN24
[电子电信—物理电子学]
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题名基于智慧教室的教学环境构建
被引量：3
- 3
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作者
方小坤
杨安新
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机构
扬州市职业大学
扬州市梅岭中学教育集团竹西中学
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出处
《数字技术与应用》
2023年第1期162-164,共3页
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基金
江苏省教育科学“十三五”规划2020年度重点课题(B-b/2020/03/25)
2018年扬州市职业大学中青年学术带头人项目资助
2019年扬州市职业大学校级教改课题。
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文摘
本文通过对智慧教室应用实践的分析研究,分析现有多媒体教室、信息化教室的应用情况,提出集“物理空间+资源空间+社区空间”一体的新型学习环境,构建智慧教室的“三位一体”模型,结合高校的实际情况,提出构建“建构-交流-协作-联接-创造”5维度学习环境系统的建设思想,将学习环境与信息技术深度融合到教育教学中,实现信息化教学、智慧教学的有效融合,促进教育教学的改革创新,以期为智慧教室的研究、建设和应用提供借鉴。
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关键词
多媒体教室
信息技术
物理空间
信息化教学
社区空间
智慧教室
深度融合
有效融合
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分类号
TP399
[自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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题名基于89C51单片机光电玩具汽车电路系统设计
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作者
方小坤
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机构
扬州市职业大学
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出处
《无线互联科技》
2014年第6期107-107,共1页
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文摘
本文结合实际,提出运用89C51单片机开发光电玩具汽车电路系统的方案,整个系统的电路结构简单,可靠性能高,具有较强的实用价值。
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关键词
智能
80C51单片机
光电检测器
PWM调速
电动小车
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分类号
TS958.02
[轻工技术与工程]
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题名铝基复合材料基底镀厚膜TiN的附着力研究
被引量：2
- 5
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作者
严一心
叶伟
王东祥
方小坤
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机构
西安工业大学薄膜技术与光学检测重点实验室
轻工业钟表研究所精密机电研究室
西安电子科技大学技术物理学院
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出处
《西安工业大学学报》
CAS
2007年第2期110-113,共4页
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基金
国防科工委基金项目(74)
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文摘
利用直流磁过滤多弧离子镀技术在铝基复合材料基片上镀制大于25μm的TiN厚膜.对厚膜TiN的附着力及其与各种工艺条件的关系.采用扫描电镜对厚膜TiN的微观结构及划痕形貌进行了分析.研究结果表明:基片的清洗、基片的温度、孤电流、脉冲偏压和镀层界面组织结构等都影响厚膜TiN的附着力;弧电流为70A、脉冲偏压为100V、占空比为70%、温度为200℃时,厚膜TiN的临界载荷达到4.5kg/mm^2,远大于指标要求4kg/mm^2;镀层界面的融合有利于提高厚膜TiN的附着力.
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关键词
厚膜TiN
附着力
脉冲偏压
弧电流
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Keywords
thick-film TiN
adhesive strength
pulsed bias
arc current
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分类号
TB43
[一般工业技术]
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