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题名高功率MPCVD谐振腔体的优化设计和数值模拟
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作者
高子博
戚俊成
马博翔
孙馨月
程秀云
张惠芳
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机构
中北大学机电工程学院高端装备可靠性技术山西省重点实验室
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出处
《真空与低温》
2025年第2期140-147,共8页
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基金
中北大学高端装备可靠性技术重点实验室研究基金(446-110103)。
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文摘
微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置能够非常高效地产出高质量的金刚石薄膜,由于波长和腔体结构的限制,传统2.45 GHz MPCVD装置所沉积出的薄膜面积直径通常维持在50~70 mm之间。以增大金刚石膜沉积面积为目标,通过对微波电场进行仿真分析,优化设计腔体尺寸,并对电子密度和温度的分布特性进行数值模拟,以保证等离子体能够均匀分布于沉积片上,将沉积直径扩增至90 mm。模拟结果表明,当腔内微波源功率为6 000 W,压力为14.7 kPa时,沉积片上可以产生电子密度和温度分别为1.76×10^(18) m^(-3)和4.7×10^(4) K的高密度且均匀的等离子体。
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关键词
微波等离子体
MPCVD
金刚石膜
数值模拟
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Keywords
microwave plasma
MPCVD
diamond film
numerical simulation
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分类号
TB79
[一般工业技术—真空技术]
TQ163
[化学工程—高温制品工业]
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题名强电磁干扰下引信体屏蔽效能特性
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作者
戚俊成
高子博
马博翔
范宏辉
刘登峰
张惠芳
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机构
中北大学信息与通信工程学院
中北大学机电工程学院
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出处
《装备环境工程》
CAS
2024年第8期9-16,共8页
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基金
国家自然科学基金(62201522)
山西省基础研究计划资助项目(202203021212157).
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文摘
目的针对引信系统外壳上的开孔和贯通线引起的电磁兼容问题,分析外部强电磁干扰对引信内部的耦合规律,研究开孔参数对引信屏蔽效能的影响。方法根据麦克斯韦方程组和边界条件等经典电磁理论,利用有限元仿真分析软件,研究外部强电磁干扰下,引信上不同的尺寸的通孔对引信内部电场分布的影响,进一步提出相应的屏蔽措施。结果当引信上开20 mm孔洞时,当外界电磁波频率大于圆孔的截止频率时,引信内部电场强度最强可以达到4000 V/m,减小引信上的孔洞后,引信内部的电场强度整体下降3000 V/m左右。在使用导电橡胶填充通信孔洞后,引信内部电场强度急剧下降,增加了套管之后,腔体内部的电场强度显著降低,屏蔽效果非常显著。结论引信上的开孔的形状和大小等因素均对屏蔽效果有较大影响,在引信生产和设计中,均需采用导电橡胶填充、增加套管和多个小孔代替一个大孔等措施提高引信的电磁兼容能力。
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关键词
引信
电磁防护
电磁干扰
电磁屏蔽
屏蔽效能
麦克斯韦方程组
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Keywords
fuze
electromagnetic protection
electromagnetic interference
electromagnetic shielding
shielding efficiency
Maxwell equations
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分类号
TJ430.1
[兵器科学与技术—火炮、自动武器与弹药工程]
O441.4
[理学—电磁学]
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题名基于双谱线吸收光谱的温度测试技术及校正方法研究
被引量：1
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作者
戚俊成
白建胜
牛瑞兴
张扬
张丕壮
张惠芳
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机构
中北大学信息与通信工程学院
中北大学信机电工程学院
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出处
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第7期1004-1010,共7页
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基金
山西省高等学校科技创新项目(No.2020L0274)资助。
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文摘
基于双谱线的激光吸收光谱技术具有测试精度较高、响应速度快等优点,常被应用于燃烧场和爆炸场的温度测量中,但在测试中,容易受到环境等因素的影响,带来较大的测试误差。本文基于双谱线吸收光谱技术,选择波数分别为7182.94962 cm^(-1)和7179.7524 cm^(-1)的两条水分子吸收谱线,研发了温度快速测试系统,测试周期为500μs,并对高温炉内的温度测试技术开展了相关研究。实验结果表明,通过双谱线直接计算得到的温度误差较大,在综合考虑了环境因素和邻近谱线干扰因素情况下,对温度计算结果进行了相应的修正,经过修正之后,温度测试精度得到极大的提高,误差约为5%。因此,测试方案和测温系统具有较高的准确性,为后续燃烧和爆炸等瞬态温度场测试技术研究奠定基础。
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关键词
TDLAS
双谱线吸收光谱技术
温度测试
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Keywords
TDLAS
double-line absorption spectrum spectroscopy technology
temperature measurement
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分类号
TN219
[电子电信—物理电子学]
TN216
[电子电信—物理电子学]
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题名一种基于光场成像的数字对焦算法
被引量：2
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作者
梁欣
陈平
刘宾
戚俊成
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机构
中北大学电子测试技术国家重点实验室
中国科学院自动化研究所
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出处
《核电子学与探测技术》
北大核心
2015年第5期434-438,共5页
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基金
TP3912015-03-13国家自然科学基金(61171179)
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文摘
光场成像在频率域中利用傅里叶切片定理实现数字对焦,得到一组数字对焦数据。针对在景深相同的条件下光场成像与传统成像相比分辨率明显降低这一缺陷,本文采用基于稳健的正则化超分辨率算法将低分辨率图像每一点的像素值分别对应到高分辨率网格中,然后进行插值对所得图像进行重建,实现低分辨率向高分辨率的转换。与其他几种传统超分辨率算法相比,该算法的优势在于取得了更高的识别精度。通过MATLAB平台进行了仿真,实验结果表明该算法与传统的迭代反投影超分辨率算法相比其峰值信噪比有很大的改善,从而验证了本文模型与数值算法的有效性。
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关键词
光场成像
数字对焦
微透镜阵列
正则化
超分辨率
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Keywords
light field photography
digital refocusing
micro - lens array
regularization
super - resolution
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分类号
TP391
[自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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