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In/Nb共掺杂TiO_(2)薄膜结构特性的电子显微学研究
1
作者
路璐
李博宸
+1 位作者
成绍鸫
米少波
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2023年第6期740-747,共8页
本文研究了In/Nb共掺杂TiO_(2)(TINO)薄膜在LaAlO_(3)(001)和m面α⁃Al_(2)O_(3)衬底上的生长行为和显微结构特征。研究发现TINO薄膜在LaAlO_(3)衬底上呈现锐钛矿结构(A⁃TINO),在m面α⁃Al_(2)O_(3)衬底上呈现金红石结构(R⁃TINO)。薄膜与...
本文研究了In/Nb共掺杂TiO_(2)(TINO)薄膜在LaAlO_(3)(001)和m面α⁃Al_(2)O_(3)衬底上的生长行为和显微结构特征。研究发现TINO薄膜在LaAlO_(3)衬底上呈现锐钛矿结构(A⁃TINO),在m面α⁃Al_(2)O_(3)衬底上呈现金红石结构(R⁃TINO)。薄膜与衬底的晶体学取向关系分别为:(001)[100]A⁃TINO//(001)[100]LaAlO_(3)和(001)[100]R⁃TINO//(1100)[0001]α⁃Al_(2)O_(3)。通过原子分辨率扫描透射高角环形暗场像技术确定了A⁃TINO/LaAlO_(3)和R⁃TINO/α⁃Al_(2)O_(3)异质界面以及薄膜中孪晶和晶界的精细结构。本工作有助于理解TiO_(2)基薄膜的外延生长行为以及掺杂元素在材料中的偏聚特征。
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关键词
二氧化钛
薄膜材料
掺杂
缺陷
界面结构
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职称材料
题名
In/Nb共掺杂TiO_(2)薄膜结构特性的电子显微学研究
1
作者
路璐
李博宸
成绍鸫
米少波
机构
季华实验室
材料科学与工程学院
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2023年第6期740-747,共8页
基金
广东省基础与应用基础研究重大项目(No.2021B0301030003).
文摘
本文研究了In/Nb共掺杂TiO_(2)(TINO)薄膜在LaAlO_(3)(001)和m面α⁃Al_(2)O_(3)衬底上的生长行为和显微结构特征。研究发现TINO薄膜在LaAlO_(3)衬底上呈现锐钛矿结构(A⁃TINO),在m面α⁃Al_(2)O_(3)衬底上呈现金红石结构(R⁃TINO)。薄膜与衬底的晶体学取向关系分别为:(001)[100]A⁃TINO//(001)[100]LaAlO_(3)和(001)[100]R⁃TINO//(1100)[0001]α⁃Al_(2)O_(3)。通过原子分辨率扫描透射高角环形暗场像技术确定了A⁃TINO/LaAlO_(3)和R⁃TINO/α⁃Al_(2)O_(3)异质界面以及薄膜中孪晶和晶界的精细结构。本工作有助于理解TiO_(2)基薄膜的外延生长行为以及掺杂元素在材料中的偏聚特征。
关键词
二氧化钛
薄膜材料
掺杂
缺陷
界面结构
Keywords
TiO_(2)
thin film
doping
defects
interface structure
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
O766.1 [理学—晶体学]
O771 [理学—晶体学]
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作者
出处
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被引量
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1
In/Nb共掺杂TiO_(2)薄膜结构特性的电子显微学研究
路璐
李博宸
成绍鸫
米少波
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2023
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