期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
2
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
高数值孔径投影光刻物镜的光学设计
被引量：
10
1
作者
徐明飞
庞武斌
+2 位作者
徐象如
王新华
黄玮
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第4期740-746,共7页
针对45nm节点投影光刻物镜的应用,开展了工作波长为193nm的深紫外浸没式高数值孔径（NA）投影光刻物镜的研究和研制。设计了数值孔径（NA）为1.30的离轴三反射镜投影光刻物镜和NA为1.35的同轴两反射镜投影光刻物镜,并对两个设计方案的...
针对45nm节点投影光刻物镜的应用,开展了工作波长为193nm的深紫外浸没式高数值孔径（NA）投影光刻物镜的研究和研制。设计了数值孔径（NA）为1.30的离轴三反射镜投影光刻物镜和NA为1.35的同轴两反射镜投影光刻物镜,并对两个设计方案的优劣进行对比分析,选择了同轴式结构作为最终的设计方案。分析了系统在不同NA情况下可变光阑与其远心度之间的关系,提出了用双可变曲面光阑的设计方案来优化系统的远心度。实验表明,应用本文设计方案,光刻物镜的波像差小于1nm,畸变小于1nm;新型的可变光阑使系统NA在0.85～1.35变化时的最大远心度由5.83～17.57mrad降低至0.26～3.21mrad。本文提出的设计方案为45nm节点高数值孔径投影光刻物镜的研制提供了有益的理论依据和指导。
展开更多
关键词
光学设计
高数值孔径(NA)投影光刻物镜
深紫外投影光刻物镜
远心度
曲面光阑
在线阅读
下载PDF
职称材料
差分五棱镜扫描法在波前检测中的应用
被引量：
11
2
作者
汤兆鑫
黄玮
+2 位作者
许伟才
刘立峰
徐象如
《中国光学》
EI
CAS
2014年第6期1003-1011,共9页
为了实现高精度大口径平行光管波前检测,评价平行光管出射波前质量,提出了采用差分五棱镜扫描波前检测方法检测平行光管。该方法为五棱镜扫描法的优化方法,通过测量波前斜率的改变得到波前曲率的信息来重构波前,从而消除由于五棱镜扫描...
为了实现高精度大口径平行光管波前检测,评价平行光管出射波前质量,提出了采用差分五棱镜扫描波前检测方法检测平行光管。该方法为五棱镜扫描法的优化方法,通过测量波前斜率的改变得到波前曲率的信息来重构波前,从而消除由于五棱镜扫描法波前检测中质心标定不准确而引入的倾斜和离焦的误差量。通过搭建差分五棱镜扫描法波前检测系统验证了此方法的可行性,并给出差分五棱镜扫描法误差分析说明此方法可靠性。误差分析表明,该方法检测精度可以达到10.54 nm;实验结果表明,该方法相比于五棱镜扫描法分别在波面峰谷值(PV)和均方根值(RMS)的重复性精度上提高了74.41%和125.81%。该方法基本满足平行光管波前检测精度高、稳定性好的要求,可以客观准确地评价平行光管出射波前质量。
展开更多
关键词
波前检测
差分五棱镜扫描法
平行光管
误差分析
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
高数值孔径投影光刻物镜的光学设计
被引量：
10
1
作者
徐明飞
庞武斌
徐象如
王新华
黄玮
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
中国科学院大学
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第4期740-746,共7页
基金
国家科技重大专项基金资助项目(No.2012ZX02701001-007)
文摘
针对45nm节点投影光刻物镜的应用,开展了工作波长为193nm的深紫外浸没式高数值孔径（NA）投影光刻物镜的研究和研制。设计了数值孔径（NA）为1.30的离轴三反射镜投影光刻物镜和NA为1.35的同轴两反射镜投影光刻物镜,并对两个设计方案的优劣进行对比分析,选择了同轴式结构作为最终的设计方案。分析了系统在不同NA情况下可变光阑与其远心度之间的关系,提出了用双可变曲面光阑的设计方案来优化系统的远心度。实验表明,应用本文设计方案,光刻物镜的波像差小于1nm,畸变小于1nm;新型的可变光阑使系统NA在0.85～1.35变化时的最大远心度由5.83～17.57mrad降低至0.26～3.21mrad。本文提出的设计方案为45nm节点高数值孔径投影光刻物镜的研制提供了有益的理论依据和指导。
关键词
光学设计
高数值孔径(NA)投影光刻物镜
深紫外投影光刻物镜
远心度
曲面光阑
Keywords
optical system design
high Numerical Aperture（NA）lithographic lens
Deep Ultraviolet（DUV）lithographic lens
telecentricity
curved stop aperture
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
TH703 [机械工程—精密仪器及机械]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
差分五棱镜扫描法在波前检测中的应用
被引量：
11
2
作者
汤兆鑫
黄玮
许伟才
刘立峰
徐象如
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国科学院大学
应用光学国家重点实验室
出处
《中国光学》
EI
CAS
2014年第6期1003-1011,共9页
基金
国家重大科学专项资助项目(No.2012ZX02701001)
文摘
为了实现高精度大口径平行光管波前检测,评价平行光管出射波前质量,提出了采用差分五棱镜扫描波前检测方法检测平行光管。该方法为五棱镜扫描法的优化方法,通过测量波前斜率的改变得到波前曲率的信息来重构波前,从而消除由于五棱镜扫描法波前检测中质心标定不准确而引入的倾斜和离焦的误差量。通过搭建差分五棱镜扫描法波前检测系统验证了此方法的可行性,并给出差分五棱镜扫描法误差分析说明此方法可靠性。误差分析表明,该方法检测精度可以达到10.54 nm;实验结果表明,该方法相比于五棱镜扫描法分别在波面峰谷值(PV)和均方根值(RMS)的重复性精度上提高了74.41%和125.81%。该方法基本满足平行光管波前检测精度高、稳定性好的要求,可以客观准确地评价平行光管出射波前质量。
关键词
波前检测
差分五棱镜扫描法
平行光管
误差分析
Keywords
wavefront detection
differential pentaprism scanning
collimator
error analysis
分类号
TN247 [电子电信—物理电子学]
TP212.14 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
高数值孔径投影光刻物镜的光学设计
徐明飞
庞武斌
徐象如
王新华
黄玮
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
10
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
差分五棱镜扫描法在波前检测中的应用
汤兆鑫
黄玮
许伟才
刘立峰
徐象如
《中国光学》
EI
CAS
2014
11
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
