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纳米长度溯源链融合计量研究: 1; 作者张玉杰雷李华 +7 位作者管钰晴刘丽琴郭创为谢张宁徐瑞书梁利杰李强凌刚《红外与激光工程》北大核心 2025年第5期236-242,共7页; 为了更好地研究量子扁平化的溯源体系,提出一种纳米长度溯源链融合计量的方法。溯源性是纳米测量中的基础性问题,多种溯源途径与测量方法的融合测量已经成为未来微纳结构测量的趋势。建立“自上而下”型和“自下而上”型溯源相融合测量... 展开更多; 关键词融合计量自溯源光栅纳米溯源链硅晶格常数; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于激光干涉仪的微纳光栅姿态校准方法研究: 2; 作者邹文哲管钰晴 +5 位作者郭创为张玉杰刘丽琴徐瑞书雷李华凌刚《红外与激光工程》北大核心 2025年第5期263-271,共9页; 微纳光栅作为光栅位移测量系统的核心部件,其安装姿态误差直接影响系统的测量准确性与长期稳定性。针对微纳光栅多维度安装误差导致衍射场相位畸变这一纳米测量领域共性难题,为了减小其因为位置解算而产生的纳米级误差,提出基于矢量衍... 展开更多; 关键词微纳光栅位姿校准激光干涉仪不确定度分析; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于改进U-Net网络的相位解包裹技术研究被引量：2: 3; 作者徐瑞书罗笑南 +5 位作者沈瑶琼郭创为张文涛管钰晴傅云霞雷李华《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2024年第2期120-133,共14页; 提出了一种结合深度学习的空间相位解包裹方法,采用基于改进U-Net网络的编码器-解码器架构,同时加入包含双向长短期记忆网络(BILSTM)的CBiLSTM模块,并且结合注意力机制,避免了典型卷积神经网络学习全局空间依赖关系的固有缺陷的同时增... 展开更多; 关键词相位解包裹深度学习注意力机制长短期记忆网络卷积神经网络; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于曲面拟合的光学偏折系统显示屏标定方法: 4; 作者郭创为管钰晴 +6 位作者沈瑶琼徐瑞书朱言瑧刘丽琴张玉杰雷李华傅云霞《计量学报》 2024年第3期419-424,共6页; 针对透射式光学偏折系统中最关键的标定环节,提出使用曲面拟合方式拟合显示屏幕面形分布。建立基于透射式光学偏折术的波前检测仿真模型,分析两种不同的显示屏面形拟合方法对波前测量的影响。仿真结果显示:平面屏幕模型波前像差均方根误... 展开更多; 关键词光学计量透射式光学偏折术显示屏标定波前测量曲面拟合; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名纳米长度溯源链融合计量研究: 1; 作者张玉杰雷李华管钰晴刘丽琴郭创为谢张宁徐瑞书梁利杰李强凌刚; 机构上海市计量测试技术研究院上海市在线检测与控制技术重点实验室航空工业北京长城计量测试技术研究所计量与校准技术重点实验室; 出处《红外与激光工程》北大核心 2025年第5期236-242,共7页; 基金国家重点研发计划项目(2024YFF0619901) 国家自然科学基金项目(52475563) +1 种基金计量与校准技术重点实验室基金项目(JLKG2024001B001)。; 文摘为了更好地研究量子扁平化的溯源体系,提出一种纳米长度溯源链融合计量的方法。溯源性是纳米测量中的基础性问题,多种溯源途径与测量方法的融合测量已经成为未来微纳结构测量的趋势。建立“自上而下”型和“自下而上”型溯源相融合测量体系,需要确保两种溯源体系之间的测量准确性、等效性与可比性。利用激光会聚原子沉积技术与软X射线干涉光刻技术相结合的方式,制作直接溯源至原子跃迁频率的光栅,理论准确性可达到0.001nm量级,在保证准确性极高的同时也在其整体结构面积内均能保持良好均匀性。通过制作高精度的小尺寸光栅作为两条溯源链的比对载体,有效规避以线宽为载体时产生的误差来源。文中利用基于原子光刻-软X射线干涉光刻制备的53.2nm硅光栅作为有效载体,提升自上而下的计量型原子力显微镜测量水平以及自下而上的基于硅晶格常数测量的准确性,提升国内“自上而下”型和“自下而上”型溯源的测量准确性、等效性与可比性水平。; 关键词融合计量自溯源光栅纳米溯源链硅晶格常数; Keywords fusion metering self-traceable gratings nano traceability chain silicon lattice constant; 分类号 TB96 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于激光干涉仪的微纳光栅姿态校准方法研究: 2; 作者邹文哲管钰晴郭创为张玉杰刘丽琴徐瑞书雷李华凌刚; 机构上海市计量测试技术研究院上海市在线检测与控制技术重点实验室; 出处《红外与激光工程》北大核心 2025年第5期263-271,共9页; 基金国家重点研发计划项目(2024YFF0619901) 上海市创新行动计划项目(24ZR1492200) 计量与校准技术重点实验室基金项目(JLKG2024001B001)。; 文摘微纳光栅作为光栅位移测量系统的核心部件,其安装姿态误差直接影响系统的测量准确性与长期稳定性。针对微纳光栅多维度安装误差导致衍射场相位畸变这一纳米测量领域共性难题,为了减小其因为位置解算而产生的纳米级误差,提出基于矢量衍射场相位调制特性的位姿协同校准新方法。分析了微纳光栅位姿误差产生的原因,利用一维光栅的横滚、俯仰和偏航角共同描述一维光栅相对于位移台的装配状态,并基于矢量衍射理论对其误差值进行量化分析。创新性地构建了基于激光干涉仪基准的可溯源校准链,通过极值追踪与干涉仪示值闭环反馈的复合调控策略,实现光栅-位移台多自由度协同校准。同时,通过在装置搭建环节中,对于核心部件的校准,减小了系统搭建时的不确定度引入,使实验数据更可靠。最后经由实验验证了该方法在500μm行程范围内的安装误差量为13.2 nm,整体装置引入的合成测量不确定度为2.17 nm,设计的校准方案稳定可靠,因激光干涉仪的引入,具有可溯源性。; 关键词微纳光栅位姿校准激光干涉仪不确定度分析; Keywords micro nano grating pose calibration laser interferometer uncertainty analysis; 分类号 TB921 [机械工程—测试计量技术及仪器]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于改进U-Net网络的相位解包裹技术研究被引量：2: 3; 作者徐瑞书罗笑南沈瑶琼郭创为张文涛管钰晴傅云霞雷李华; 机构上海市计量测试技术研究院上海在线检测与控制技术重点实验室桂林电子科技大学计算机与信息安全学院; 出处《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2024年第2期120-133,共14页; 基金国家重点研发计划项目(2021YFF0603300) 上海市市场监督管理局项目(D00RJ2310) 上海市在线检测与控制技术重点实验室基金项目(A04202223003)。; 文摘提出了一种结合深度学习的空间相位解包裹方法,采用基于改进U-Net网络的编码器-解码器架构,同时加入包含双向长短期记忆网络(BILSTM)的CBiLSTM模块,并且结合注意力机制,避免了典型卷积神经网络学习全局空间依赖关系的固有缺陷的同时增强了深度学习模型对相位解包裹任务中的关键信息的关注能力。通过大量的模拟数据,验证了文中方法在严重噪声(SNR=0)、不连续条件和混叠条件下的鲁棒性,在以上三种情况下,同其他深度学习网络模型进行对比,文中所提出的网络模型的归一化均方根误差(NRMSE)分别为0.75%、1.81%和1.68%;结构相似性指数(SSIM)分别为0.98、0.92和0.94;峰值信噪比(PSNR)分别为40.87、32.56、37.38;同时计算时间显著减少,适合应用到需要快速准确的空间相位解包裹任务中去。通过实际测量数据,验证了文中提出网络模型的可行性。该研究将双向长短期记忆网络(BILSTM)和注意力机制同时引入光学相位解包裹问题中,为解决复杂相位场的解包裹提供了新的思路和方案。; 关键词相位解包裹深度学习注意力机制长短期记忆网络卷积神经网络; Keywords phase unwrapping deep learning attention mechanism long short-term memory network convolutional neural network; 分类号 TH741 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于曲面拟合的光学偏折系统显示屏标定方法: 4; 作者郭创为管钰晴沈瑶琼徐瑞书朱言瑧刘丽琴张玉杰雷李华傅云霞; 机构上海市计量测试技术研究院; 出处《计量学报》 2024年第3期419-424,共6页; 基金上海市自然科学基金(21ZR1483100)。; 文摘针对透射式光学偏折系统中最关键的标定环节,提出使用曲面拟合方式拟合显示屏幕面形分布。建立基于透射式光学偏折术的波前检测仿真模型,分析两种不同的显示屏面形拟合方法对波前测量的影响。仿真结果显示:平面屏幕模型波前像差均方根误差(RMS)值为0.8375μm,而曲面屏幕模型仿真波前像差RMS值仅为0.0596μm。采用透射式光学偏折系统对球面透镜进行波前测量,曲面屏幕模型中波前像差RMS值为0.1371μm,平面屏幕模型中波前像差RMS值为1.4326μm。实验结果表明:使用曲面拟合效果明显优于平面拟合效果,证明了曲面拟合屏幕模型的可行性。; 关键词光学计量透射式光学偏折术显示屏标定波前测量曲面拟合; Keywords optical metrology transmission optical deflection technique screen calibration wavefront measurement surface fitting; 分类号 TB96 [机械工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	纳米长度溯源链融合计量研究	张玉杰雷李华管钰晴刘丽琴郭创为谢张宁徐瑞书梁利杰李强凌刚	《红外与激光工程》北大核心	2025	0	在线阅读下载PDF 职称材料
2	基于激光干涉仪的微纳光栅姿态校准方法研究	邹文哲管钰晴郭创为张玉杰刘丽琴徐瑞书雷李华凌刚	《红外与激光工程》北大核心	2025	0	在线阅读下载PDF 职称材料
3	基于改进U-Net网络的相位解包裹技术研究	徐瑞书罗笑南沈瑶琼郭创为张文涛管钰晴傅云霞雷李华	《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心	2024	2	在线阅读下载PDF 职称材料
4	基于曲面拟合的光学偏折系统显示屏标定方法	郭创为管钰晴沈瑶琼徐瑞书朱言瑧刘丽琴张玉杰雷李华傅云霞	《计量学报》	2024		在线阅读下载PDF 职称材料