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基于PZT的500MHz超声传感器设计和MEMS制作
被引量：
1
1
作者
刘嘉
王续博
+1 位作者
徐卫疆
周嘉
《传感器与微系统》
CSCD
2018年第7期63-65,69,共4页
利用KLM等效电路模型设计了一种中心频率为478 MHz的超声传感器。采用溶胶—凝胶法在硅衬底上制备了厚度为4μm的锆钛酸铅(PZT)厚膜压电材料,对压电材料的晶体结构、表面剖面形貌、压电性进行了测试,材料均匀致密,具有较好的压电性。研...
利用KLM等效电路模型设计了一种中心频率为478 MHz的超声传感器。采用溶胶—凝胶法在硅衬底上制备了厚度为4μm的锆钛酸铅(PZT)厚膜压电材料,对压电材料的晶体结构、表面剖面形貌、压电性进行了测试,材料均匀致密,具有较好的压电性。研究了超声传感器的制作工艺,制作出实际工作频率为459 MHz的高频超声传感器,搭建测试平台测试其电阻抗,实验值与理论值相匹配,电阻抗误差为1.8%,中心频率误差为3.9%。
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关键词
超声传感器
高频
锆钛酸铅厚膜
压电材料
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职称材料
题名
基于PZT的500MHz超声传感器设计和MEMS制作
被引量：
1
1
作者
刘嘉
王续博
徐卫疆
周嘉
机构
复旦大学微电子学院专用集成电路与系统国家重点实验室
法国国家科研中心电子微电子与纳米技术研究所UMR CNRS
埃诺-坎布雷斯大学声光电子学部
出处
《传感器与微系统》
CSCD
2018年第7期63-65,69,共4页
基金
国家自然科学基金面上资助项目(61674043)
文摘
利用KLM等效电路模型设计了一种中心频率为478 MHz的超声传感器。采用溶胶—凝胶法在硅衬底上制备了厚度为4μm的锆钛酸铅(PZT)厚膜压电材料,对压电材料的晶体结构、表面剖面形貌、压电性进行了测试,材料均匀致密,具有较好的压电性。研究了超声传感器的制作工艺,制作出实际工作频率为459 MHz的高频超声传感器,搭建测试平台测试其电阻抗,实验值与理论值相匹配,电阻抗误差为1.8%,中心频率误差为3.9%。
关键词
超声传感器
高频
锆钛酸铅厚膜
压电材料
Keywords
uhrasonic sensor
high frequency
PZT thick film
piezoelectric material
分类号
TN384 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于PZT的500MHz超声传感器设计和MEMS制作
刘嘉
王续博
徐卫疆
周嘉
《传感器与微系统》
CSCD
2018
1
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