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题名一种微小型磁矢量传感器设计
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作者
孙立凯
宋尔冬
徐兴烨
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机构
中国电子科技集团公司第
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出处
《科技创新与应用》
2020年第16期34-36,共3页
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文摘
文章介绍了一种微小型磁矢量传感器设计。该传感器的检测单元包括两个磁敏感单元和一套信号处理系统。磁敏感单元采用MEMS技术制作,具有体积小、集成度高等特点。信号处理系统通过对两个磁敏感单元对空间地磁信号进行采集,并通过对磁敏感单元的信号数据处理,有效地改善了传感器的非线性和噪声,提高了传感器的灵敏度和线性度。对采用MEMS技术制作的微小型磁矢量传感器进行性能测试,测试结果表明:该传感器的灵敏度优于100pT/Hz1/2,线性误差≤0.1%。
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关键词
微小型磁矢量传感器
设计
信号处理
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Keywords
miniature magnetic vector sensor
design
signal processing
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分类号
TN911.7
[电子电信—通信与信息系统]
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题名混合集成型压阻式矢量水听器设计
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作者
陈丽洁
贾琳
张鹏
徐兴烨
李时光
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机构
哈尔滨工程大学
中国电子科技集团公司第
陕西华经微电子股份有限公司
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出处
《中国电子科学研究院学报》
2009年第2期132-136,共5页
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基金
863计划(2006AA09Z112)
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文摘
提出一种小型化新型压阻式矢量水听器的设计、制作工艺方法。详细分析通过混合集成工艺技术制作的压阻式矢量水听器的性能指标:灵敏度、频率响应。实际设计、制作混合集成型压阻式矢量水听器并进行测试。得出采用本工艺制作出外形尺寸只有φ22mm×40mm的三维矢量水听器具有良好的三轴正交性,每轴向具有良好的"8"字型指向性,且具有良好的低频特性,声压灵敏度可达到-190dB。
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关键词
混合集成
矢量水听器
压阻式
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Keywords
mixed integration
vector hydrophone
piezoresistive
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名新型氮化铝AlN晶体高温压电振动传感器
被引量：7
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作者
陈丽洁
徐兴烨
雷亚辉
杨月
朴胜春
张丽
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机构
中国电子科技集团公司第四十九研究所
哈尔滨工程大学水声技术重点实验室
中国电子科技集团公司第四十六研究所
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出处
《中国电子科学研究院学报》
北大核心
2020年第12期1212-1218,共7页
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文摘
AlN的禁带宽度可达6.2 eV,并具有直接带隙,是重要的蓝光和紫外发光材料;同时AlN具有热导率高,熔点高,电阻率高,击穿场强大,介电系数小等多种优异性能,是优异的高温、高频和大功率器件用电子材料;沿c轴取向的AlN还具有非常好的压电性和声表面波高速传播性能,是一种优异的压电材料。由于AlN属于宽禁带材料,因此具有很好的稳定性。据此本文提出采用AlN晶体作为压电传感器新型敏感元件设计制作耐高温传感器新的技术路线与方法。为证明AlN晶体可以在传感器技术方面发挥独特的作用,文中以振动传感器为例开展AlN新型振动传感器设计研究,并与常规压电陶瓷振动传感器进行比对测试试验验证研究工作。分别采用AlN晶体和压电陶瓷敏感材料设计制作振动传感器比对样品,通过在振动台上进行比对标定测试,验证了用AlN晶体设计制作的振动传感器可以获得很好的灵敏度特性和频率响应特性;通过在150℃范围内进行的升、降温过程中对传感器的灵敏度频率特性标定测试试验,可初步确认采用AlN晶体作为压电敏感材料设计制作的振动传感器具有优于压电陶瓷振动传感器的温度灵敏度稳定性。因此,AlN晶体有望成为支撑更高温度振动测量传感器的核心关键敏感材料和研发其它可耐受高温环境压电传感器可行的技术路线之一,值得后续深入开展相关技术与工艺的研究工作。
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关键词
AlN晶体
压电陶瓷
高温
振动
灵敏度
频率响应
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Keywords
Al N crystal
piezoelectric ceramics
high temperature
vibration
sensitivity
frequency response
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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