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激光参数对陶瓷微孔加工质量的影响
被引量：
2
1
作者
谢明锋
吴勇华
+2 位作者
闫永君
简运祺
徐俊飞
《现代制造工程》
CSCD
北大核心
2023年第6期78-84,共7页
为研究激光加工氧化铝陶瓷高质量微孔的成型工艺,采用皮秒激光自旋切割模式在0.3 mm厚的氧化铝陶瓷上加工直径为0.2 mm的微通孔。研究了激光加工参数(激光功率、离焦量、重复频率、打孔次数及扫描速度)对微孔质量的影响。试验结果表明,...
为研究激光加工氧化铝陶瓷高质量微孔的成型工艺,采用皮秒激光自旋切割模式在0.3 mm厚的氧化铝陶瓷上加工直径为0.2 mm的微通孔。研究了激光加工参数(激光功率、离焦量、重复频率、打孔次数及扫描速度)对微孔质量的影响。试验结果表明,随着激光功率的增加,孔的入口、出口直径增大,入口、出口圆度和锥度呈现减小的趋势;随着扫描速度的降低,孔的锥度呈下降趋势;随着负离焦量的增大微孔锥度逐渐减小;重复频率的变化对微孔质量各性能指标影响不大。试验发现激光功率和离焦量是影响微孔质量主要因素。最终在功率为27 W、离焦量为-0.7 mm、扫描速度为400 mm/s、重复频率为100 kHz及打孔次数为10次时获得入口圆度为2.995μm、出口圆度为3.509μm及锥度为5.96°的高质量微孔。
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关键词
皮秒激光
氧化铝陶瓷
微孔
激光功率
离焦量
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职称材料
题名
激光参数对陶瓷微孔加工质量的影响
被引量：
2
1
作者
谢明锋
吴勇华
闫永君
简运祺
徐俊飞
机构
五邑大学智能制造学部
广东省江门智能激光技术研究院
出处
《现代制造工程》
CSCD
北大核心
2023年第6期78-84,共7页
基金
广东省重大科技专项计划资助项目(2020A080201009)
广东省自然科学基金资助项目(S2018010008735)。
文摘
为研究激光加工氧化铝陶瓷高质量微孔的成型工艺,采用皮秒激光自旋切割模式在0.3 mm厚的氧化铝陶瓷上加工直径为0.2 mm的微通孔。研究了激光加工参数(激光功率、离焦量、重复频率、打孔次数及扫描速度)对微孔质量的影响。试验结果表明,随着激光功率的增加,孔的入口、出口直径增大,入口、出口圆度和锥度呈现减小的趋势;随着扫描速度的降低,孔的锥度呈下降趋势;随着负离焦量的增大微孔锥度逐渐减小;重复频率的变化对微孔质量各性能指标影响不大。试验发现激光功率和离焦量是影响微孔质量主要因素。最终在功率为27 W、离焦量为-0.7 mm、扫描速度为400 mm/s、重复频率为100 kHz及打孔次数为10次时获得入口圆度为2.995μm、出口圆度为3.509μm及锥度为5.96°的高质量微孔。
关键词
皮秒激光
氧化铝陶瓷
微孔
激光功率
离焦量
Keywords
picosecond laser
alumina ceramic
micropore
laser power
defocus distance
分类号
TN249 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
激光参数对陶瓷微孔加工质量的影响
谢明锋
吴勇华
闫永君
简运祺
徐俊飞
《现代制造工程》
CSCD
北大核心
2023
2
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