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基于物理引导的RBF神经网络逆模型在ZTT运动平台前馈控制中的应用: 1; 作者吴聪懿徐云浪 +2 位作者陈椿元金煜杨晓峰《动力学与控制学报》 2025年第1期78-85,共8页; 精密运动平台是半导体设备的核心部件,其运动性能直接决定了整个系统的基础性能.在工程应用中,运动平台的非线性特性对精密运动控制产生显著影响,例如柔性导向、线缆力和磁浮补偿等因素引入的非线性力.前馈控制器能够有效补偿非线性扰... 展开更多; 关键词 RBF神经网络前馈非线性精密运动台解耦控制; 在线阅读下载PDF 职称材料

SCARA型晶圆传输机器手结构设计与减振优化被引量：1: 2; 作者李嘉俊周海波 +1 位作者徐云浪余少强《动力学与控制学报》 2024年第12期70-78,共9页; 晶圆传输机器手是晶圆在搬运过程中实现高精度和高效率自动化的重要组成设备.工作过程中其结构模态固有频率直接影响了晶圆传输中运动控制过程中的精度和稳定性,基于平面3关节直驱旋转运动和垂直升降运动原理,设计了一款SCARA(Selective... 展开更多; 关键词晶圆传输机器手模态分析共振结构优化; 在线阅读下载PDF 职称材料

伯努利晶圆传输机械手指的结构优化与吸附力研究被引量：1: 3; 作者余少强周海波 +1 位作者徐云浪李嘉俊《动力学与控制学报》 2024年第12期29-36,共8页; 晶圆传输机器人是晶圆传输过程中的重要设备,主要承担晶圆的高精度、高速、稳定传输任务.而作为直接接触晶圆的传输机械手指,很大程度上会决定着晶圆传输的可靠性.针对晶圆搬运过程中的无损高刚度要求和轻量化设计目标,本文提出了一种... 展开更多; 关键词伯努利原理晶圆机器人机械手指超薄晶圆; 在线阅读下载PDF 职称材料

半导体装备系统动力学与控制专刊序: 4; 作者孙煜宋法质 +1 位作者徐云浪李雪平《动力学与控制学报》 2024年第12期1-4,共4页; 围绕集成电路半导体装备的LPV动力学建模与控制、精密运动系统的建模与高精度运动控制、精密设备的主动隔振与抑振、晶圆机械手结构设计与减振、高精度传感装置研制、精密系统温度控制等方面,本专刊介绍了集成电路半导体装备系统动力学... 展开更多; 关键词半导体装备动力学精密运动系统主动振动控制晶圆机械手光栅尺精密温度控制; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于物理引导的RBF神经网络逆模型在ZTT运动平台前馈控制中的应用: 1; 作者吴聪懿徐云浪陈椿元金煜杨晓峰; 机构复旦大学工程与应用技术研究院中南大学机电工程学院上海隐冠半导体技术有限公司; 出处《动力学与控制学报》 2025年第1期78-85,共8页; 文摘精密运动平台是半导体设备的核心部件,其运动性能直接决定了整个系统的基础性能.在工程应用中,运动平台的非线性特性对精密运动控制产生显著影响,例如柔性导向、线缆力和磁浮补偿等因素引入的非线性力.前馈控制器能够有效补偿非线性扰动和轨迹偏差.然而,传统的逆模型前馈方法需要耗费大量精力来准确建立被控对象的逆模型,而流行的迭代学习前馈方法则对运动工况的重复性要求较高.此外,自适应前馈控制在参数调整过程中可能导致系统暂态响应的不稳定性.为了解决这些问题,本文提出了一种基于物理引导的径向基函数(RBF)神经网络逆模型前馈控制器.该方法利用RBF神经网络优秀的非线性函数逼近能力,并通过梯度下降法自动优化模型,显著减少了建模的工作量.此外,我们在RBF神经网络逆模型中嵌入了加速度前馈的先验经验,从而大幅降低了跟踪误差,提高了系统的响应速度.; 关键词 RBF神经网络前馈非线性精密运动台解耦控制; Keywords RBF neural networks feedforward nonlinear precision motion stage decoupled control; 分类号 TP13 [自动化与计算机技术—控制理论与控制工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名SCARA型晶圆传输机器手结构设计与减振优化被引量：1: 2; 作者李嘉俊周海波徐云浪余少强; 机构中南大学极端服役性能精准制造全国重点实验室中南大学机电工程学院; 出处《动力学与控制学报》 2024年第12期70-78,共9页; 基金湖南省科技创新计划项目(2021JC0005)。; 文摘晶圆传输机器手是晶圆在搬运过程中实现高精度和高效率自动化的重要组成设备.工作过程中其结构模态固有频率直接影响了晶圆传输中运动控制过程中的精度和稳定性,基于平面3关节直驱旋转运动和垂直升降运动原理,设计了一款SCARA(Selective Compliance Assembly Robot Arm)型四自由度晶圆传输机器手.首先,采用Ansys Workbench软件对SCARA型晶圆传输机器手的超薄机械手指进行了模态分析,采用均匀轮形筋结构对手指进行了结构尺寸优化,优化后的一阶模态提高了42.79%;然后,采用Ansys Workbench对晶圆传输的整体结构进行了优化,研究发现底座部分刚度较弱,是造成机器手整体低阶模态频率较低的主要原因,对此特别针对底座进行了结构优化,优化后的一阶和二阶模态频率分别提高了52.03%和30.55%.通过结构优化,提高了晶圆传输机器手的整体低阶模态频率,改善了晶圆传输机器手的运动控制过程中的精度和稳定性,避免了共振,进而降低了振动的影响,有效保证了晶圆传输机器手在实际工作中的稳定性和可靠性.; 关键词晶圆传输机器手模态分析共振结构优化; Keywords wafer transfer robot hand modal analysis resonance structural optimization; 分类号 TP241.2 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名伯努利晶圆传输机械手指的结构优化与吸附力研究被引量：1: 3; 作者余少强周海波徐云浪李嘉俊; 机构中南大学机电工程学院中南大学极端服役性能精准制造全国重点实验室; 出处《动力学与控制学报》 2024年第12期29-36,共8页; 基金湖南省科技创新计划项目(2021JC0005)。; 文摘晶圆传输机器人是晶圆传输过程中的重要设备,主要承担晶圆的高精度、高速、稳定传输任务.而作为直接接触晶圆的传输机械手指,很大程度上会决定着晶圆传输的可靠性.针对晶圆搬运过程中的无损高刚度要求和轻量化设计目标,本文提出了一种基于伯努利排气负压原理的超薄机械手指结构.该机械手指整体厚度5 mm,装有6个吸盘,供给气体从吸盘圆筒侧面喷口高速喷出,在筒内形成旋转气流致负压,吸附晶圆,随后经机械手指与晶圆间隙释放至外界.此气流在吸盘与晶圆之间形成稳定层流,造成晶圆上下压力差,最终实现晶圆向上吸附力.仿真结果表明,晶圆吸附力与吸盘供气压力呈近似线性关系,与吸盘和晶圆的间隙遵循指数函数关系.当间隙为0.6 mm时,吸附力效果达到最优.; 关键词伯努利原理晶圆机器人机械手指超薄晶圆; Keywords Bernoulli principle wafer robot mechanical finger ultra-thin wafer; 分类号 TP241.2 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名半导体装备系统动力学与控制专刊序: 4; 作者孙煜宋法质徐云浪李雪平; 机构复旦大学工程与应用技术研究院哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所中南大学机电工程学院重庆大学机械与运载工程学院; 出处《动力学与控制学报》 2024年第12期1-4,共4页; 基金国家自然科学基金资助项目(62304045) 上海市扬帆计划资助项目(23YF1401600)。; 文摘围绕集成电路半导体装备的LPV动力学建模与控制、精密运动系统的建模与高精度运动控制、精密设备的主动隔振与抑振、晶圆机械手结构设计与减振、高精度传感装置研制、精密系统温度控制等方面,本专刊介绍了集成电路半导体装备系统动力学与控制领域一些研究成果.; 关键词半导体装备动力学精密运动系统主动振动控制晶圆机械手光栅尺精密温度控制; Keywords dynamic of semiconductor equipment precision motion system active vibration control wafer manipulators granting ruler precision temperature control; 分类号 TP23 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	基于物理引导的RBF神经网络逆模型在ZTT运动平台前馈控制中的应用	吴聪懿徐云浪陈椿元金煜杨晓峰	《动力学与控制学报》	2025	0	在线阅读下载PDF 职称材料
2	SCARA型晶圆传输机器手结构设计与减振优化	李嘉俊周海波徐云浪余少强	《动力学与控制学报》	2024	1	在线阅读下载PDF 职称材料
3	伯努利晶圆传输机械手指的结构优化与吸附力研究	余少强周海波徐云浪李嘉俊	《动力学与控制学报》	2024	1	在线阅读下载PDF 职称材料
4	半导体装备系统动力学与控制专刊序	孙煜宋法质徐云浪李雪平	《动力学与控制学报》	2024	0	在线阅读下载PDF 职称材料